正性光刻膠
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半導(dǎo)體分立器件制造:對于二極管,、三極管等半導(dǎo)體分立器件,正性光刻膠可實現(xiàn)精細的圖形化加工,,滿足不同功能需求,。比如在制作高精度的小尺寸分立器件時,正性光刻膠憑借其高分辨率和良好對比度,,能精確刻畫器件的結(jié)構(gòu),,提高器件性能。
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微機電系統(tǒng)(MEMS)制造:MEMS 器件如加速度計,、陀螺儀等,,結(jié)構(gòu)復(fù)雜且尺寸微小。正性光刻膠用于 MEMS 制造過程中的光刻步驟,,可在硅片等材料上制作出高精度的微結(jié)構(gòu),,確保 MEMS 器件的功能實現(xiàn)。
松山湖半導(dǎo)體材料廠家吉田,,全系列產(chǎn)品支持小批量試產(chǎn)!廣州PCB光刻膠
廣東吉田半導(dǎo)體材料有限公司多種光刻膠產(chǎn)品,,主要涵蓋厚板,、負性、正性,、納米壓印及光刻膠等類別,,以滿足不同領(lǐng)域的需求。
厚板光刻膠:JT-3001 型號,,具有優(yōu)異的分辨率和感光度,,抗深蝕刻性能良好,符合歐盟 ROHS 標(biāo)準(zhǔn),,保質(zhì)期 1 年,。適用于對精度和抗蝕刻要求高的厚板光刻工藝,如特定電路板制造,。
負性光刻膠
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SU-3 負性光刻膠:分辨率優(yōu)異,,對比度良好,曝光靈敏度高,,光源適應(yīng),,重量 100g,。常用于對曝光精度和光源適應(yīng)性要求較高的微納加工、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域,。
正性光刻膠
東莞厚膜光刻膠供應(yīng)商光刻膠的顯示面板領(lǐng)域,。
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LCD 正性光刻膠 YK-200:具有較大曝光、高分辨率,、良好涂布和附著力,,重量 100g。適用于液晶顯示領(lǐng)域的光刻工藝,,確保 LCD 生產(chǎn)中圖形精確轉(zhuǎn)移和良好涂布效果,。
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半導(dǎo)體正性光刻膠 YK-300:具備耐熱耐酸、耐溶劑性,、絕緣阻抗和緊密性,,重量 100g。主要用于半導(dǎo)體制造工藝,,滿足半導(dǎo)體器件對光刻膠在化學(xué)穩(wěn)定性和電氣性能方面的要求,。
納米壓印光刻膠
微納光學(xué)器件制造:制作衍射光學(xué)元件、微透鏡陣列等微納光學(xué)器件時,,納米壓印光刻膠可實現(xiàn)高精度的微納結(jié)構(gòu)復(fù)制,。通過納米壓印技術(shù),將模板上的微納圖案轉(zhuǎn)移到光刻膠上,,再經(jīng)過后續(xù)處理,,可制造出具有特定光學(xué)性能的微納光學(xué)器件,應(yīng)用于光通信,、光學(xué)成像等領(lǐng)域,。
生物芯片制造:在 DNA 芯片、蛋白質(zhì)芯片等生物芯片的制造中,,需要在芯片表面構(gòu)建高精度的微納結(jié)構(gòu),,用于生物分子的固定和檢測。納米壓印光刻膠可幫助實現(xiàn)這些精細結(jié)構(gòu)的制作,,提高生物芯片的檢測靈敏度和準(zhǔn)確性,。
技術(shù)挑戰(zhàn):
? 技術(shù)壁壘:EUV光刻膠、3nm以下制程材料仍處研發(fā)階段,,光刻膠分辨率,、靈敏度與國際水平存在差距(如東京應(yīng)化ArF膠分辨率達14nm)。
? 供應(yīng)鏈風(fēng)險:樹脂,、光引發(fā)劑等原材料自給率不足8%,,部分依賴進口(如日本信越化學(xué));美國對華技術(shù)封鎖可能影響設(shè)備采購。
? 客戶驗證:光刻膠需通過晶圓廠全流程測試,,驗證周期長(1-2年),,國內(nèi)企業(yè)在頭部客戶滲透率較低。
未來展望:
? 短期(2025-2027年):KrF/ArF光刻膠國產(chǎn)化率預(yù)計提升至10%-15%,,南大光電,、上海新陽等企業(yè)實現(xiàn)28nm-7nm制程產(chǎn)品量產(chǎn),部分替代日本進口,。
? 中期(2028-2030年):EUV光刻膠進入中試驗證階段,,原材料自給率提升至30%,國內(nèi)企業(yè)在全球市場份額突破15%,。
? 長期(2030年后):實現(xiàn)光刻膠全產(chǎn)業(yè)鏈自主可控,,技術(shù)指標(biāo)對標(biāo)國際前列,成為全球半導(dǎo)體材料重要供應(yīng)商,。
光刻膠國產(chǎn)替代的主要難點有哪些,?
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全品類覆蓋
吉田半導(dǎo)體產(chǎn)品線涵蓋正性 / 負性光刻膠、納米壓印光刻膠,、LCD 光刻膠,、厚膜光刻膠及水性光刻膠等,覆蓋芯片制造,、顯示面板,、PCB 及微納加工等多領(lǐng)域需求,技術(shù)布局全面性于多數(shù)國內(nèi)廠商,。
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關(guān)鍵技術(shù)突破
納米壓印技術(shù):JT-2000 納米壓印光刻膠耐高溫達 250℃,,支持納米級精度圖案復(fù)制,適用于第三代半導(dǎo)體(GaN/SiC)及 Mini LED 等新興領(lǐng)域,,技術(shù)指標(biāo)接近國際先進水平,。
水性環(huán)保配方:JT-1200 水性感光膠以水為溶劑替代傳統(tǒng)有機溶劑,低 VOC 排放,,符合 RoHS 和 REACH 標(biāo)準(zhǔn),,環(huán)保性能優(yōu)于同類產(chǎn)品,。
厚膜工藝能力:JT-3001 厚板光刻膠膜厚可控(達數(shù)十微米),,滿足高密度像素陣列及 MEMS 器件的制造需求。
半導(dǎo)體光刻膠:技術(shù)領(lǐng)域取得里程碑,。甘肅LED光刻膠廠家
半導(dǎo)體材料選吉田,,歐盟認證,支持定制化解決方案,!廣州PCB光刻膠
關(guān)鍵工藝流程
涂布:
? 在晶圓/基板表面旋涂光刻膠,,厚度控制在0.1-5μm(依制程精度調(diào)整),需均勻無氣泡(旋涂轉(zhuǎn)速500-5000rpm)。
前烘(Soft Bake):
? 加熱(80-120℃)去除溶劑,,固化膠膜,,增強附著力(避免顯影時邊緣剝離)。
曝光:
? 光源匹配:
? G/I線膠:汞燈(適用于≥1μm線寬,,如PCB,、LCD),。
? DUV膠(248nm/193nm):KrF/ArF準(zhǔn)分子激光(用于28nm-14nm制程,,如存儲芯片),。
? EUV膠(13.5nm):極紫外光源(用于7nm以下制程,,需控制納米級缺陷),。
? 曝光能量:需精確控制(如ArF膠約50mJ/cm2),,避免過曝或欠曝導(dǎo)致圖案失真,。
顯影:
? 采用堿性溶液(如0.262N四甲基氫氧化銨,,TMAH),,曝光區(qū)域膠膜溶解,,未曝光區(qū)域保留,形成三維立體圖案,。
后烘(Post-Exposure Bake, PEB):
? 化學(xué)增幅型膠需此步驟,,通過加熱(90-130℃)激發(fā)光酸催化反應(yīng),提高分辨率和耐蝕刻性,。
廣州PCB光刻膠