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沈陽油性光刻膠價格

來源: 發(fā)布時間:2025-05-02

依托自主研發(fā)與國產供應鏈,,吉田半導體 LCD 光刻膠市占率達 15%,,躋身國內前段企業(yè)。吉田半導體 YK-200 LCD 正性光刻膠采用國產樹脂與單體,,實現(xiàn) 100% 國產化替代,。其分辨率 0.35μm,附著力 > 3N/cm,,性能優(yōu)于 JSR 的 AR-P310 系列,。通過與國內多家大型企業(yè)的深度合作,產品覆蓋智能手機,、電視等顯示終端,,年供貨量超 200 噸。公司建立國產原材料溯源體系,,確保每批次產品穩(wěn)定性,,推動 LCD 面板材料國產化進程。

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國家大基金三期:注冊資本3440億元,,明確將光刻膠列為重點投資領域,計劃投入超500億元支持樹脂,、光引發(fā)劑等原料研發(fā),,相當于前兩期投入總和的3倍。

地方專項政策:湖北省對通過驗證的光刻膠企業(yè)給予設備采購補貼+稅收減免,,武漢太紫微憑借全流程國產化技術獲中芯國際百萬級訂單,;福建省提出2030年化工新材料自給率達90%,光刻膠是重點突破方向。

研發(fā)專項:科技部“雙十計劃”設立20億元經(jīng)費,,要求2025年KrF/ArF光刻膠國產化率突破10%,,并啟動EUV光刻膠預研。
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廣東吉田半導體材料有限公司多種光刻膠產品,主要涵蓋厚板,、負性,、正性、納米壓印及光刻膠等類別,,以滿足不同領域的需求,。

厚板光刻膠:JT-3001 型號,具有優(yōu)異的分辨率和感光度,,抗深蝕刻性能良好,,符合歐盟 ROHS 標準,保質期 1 年,。適用于對精度和抗蝕刻要求高的厚板光刻工藝,,如特定電路板制造。

負性光刻膠

  • SU-3 負性光刻膠:分辨率優(yōu)異,,對比度良好,,曝光靈敏度高,光源適應,,重量 100g,。常用于對曝光精度和光源適應性要求較高的微納加工、半導體制造等領域,。


正性光刻膠

  • LCD 正性光刻膠 YK-200:具有較大曝光,、高分辨率、良好涂布和附著力,,重量 100g,。適用于液晶顯示領域的光刻工藝,確保 LCD 生產中圖形精確轉移和良好涂布效果,。
  • 半導體正性光刻膠 YK-300:具備耐熱耐酸,、耐溶劑性、絕緣阻抗和緊密性,,重量 100g,。主要用于半導體制造工藝,滿足半導體器件對光刻膠在化學穩(wěn)定性和電氣性能方面的要求,。

LCD顯示

? 彩色濾光片(CF):

? 黑色矩陣(BM)光刻膠:隔離像素,,線寬精度±2μm,,透光率<0.1%。

? RGB色阻光刻膠:形成紅/綠/藍像素,,需高色純度(NTSC≥95%)和耐光性,。

? 陣列基板(Array):

? 柵極絕緣層光刻膠:用于TFT-LCD的柵極圖案化,,分辨率≤3μm,。

 OLED顯示(柔性/剛性)

? 像素定義層(PDL)光刻膠:在基板上形成有機發(fā)光材料的 confinement 結構,線寬精度±1μm,,需耐溶劑侵蝕(適應蒸鍍工藝),。

? 觸控電極(如ITO/PET):通過光刻膠圖形化實現(xiàn)透明導電線路,線寬≤5μm,。

 Mini/Micro LED

? 巨量轉移前的芯片制備:使用高分辨率光刻膠(分辨率≤5μm)定義微米級LED陣列,,良率要求>99.99%。
吉田半導體產品矩陣,。

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定義與特性

正性光刻膠是一種在曝光后,,曝光區(qū)域會溶解于顯影液的光敏材料,形成與掩膜版(Mask)圖案一致的圖形,。與負性光刻膠(未曝光區(qū)域溶解)相比,,其優(yōu)勢是分辨率高、圖案邊緣清晰,,是半導體制造(尤其是制程)的主流選擇,。

化學組成與工作原理

 主要成分

? 樹脂(成膜劑):

? 傳統(tǒng)正性膠:采用**酚醛樹脂(Novolak)與重氮萘醌(DNQ,光敏劑)**的復合體系(PAC體系),,占比約80%-90%,。

? 化學增幅型(用于DUV/EUV):含環(huán)化烯烴樹脂或含氟聚合物,搭配光酸發(fā)生器(PAG),,通過酸催化反應提高感光度和分辨率,。

? 溶劑:溶解樹脂和感光劑,常用丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA)或乳酸乙酯,。

? 添加劑:表面活性劑(改善涂布均勻性),、穩(wěn)定劑(防止暗反應)、堿溶解度調節(jié)劑等,。

 工作原理

? 曝光前:光敏劑(如DNQ)與樹脂結合,,形成不溶于堿性顯影液的復合物。

? 曝光時:

? 傳統(tǒng)PAC體系:DNQ在紫外光(G線436nm,、I線365nm)照射下發(fā)生光分解,,生成羧酸,使曝光區(qū)域樹脂在堿性顯影液中溶解性增強,。

? 化學增幅型:PAG在DUV/EUV光下產生活性酸,,催化樹脂發(fā)生脫保護反應,,大幅提高顯影速率(靈敏度提升10倍以上)。

? 顯影后:曝光區(qū)域溶解去除,,未曝光區(qū)域保留,,形成正性圖案。
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感光膠的工藝和應用,。沈陽油性光刻膠價格

產品優(yōu)勢:多元化布局與專業(yè)化延伸

 全品類覆蓋
吉田產品涵蓋芯片光刻膠,、納米壓印光刻膠、LCD光刻膠,、半導體錫膏等,,形成“光刻膠+配套材料”的完整產品線。例如:

? 芯片光刻膠:覆蓋i線,、g線光刻膠,,適用于6英寸、8英寸晶圓制造,。

? 納米壓印光刻膠:用于MEMS,、光學器件等領域,替代傳統(tǒng)光刻工藝,。

 專業(yè)化延伸
公司布局半導體用KrF光刻膠,,計劃2025年啟動研發(fā),目標進入中芯國際,、長江存儲等晶圓廠供應鏈,。

質量與生產優(yōu)勢:嚴格品控與自動化生產

 ISO認證與全流程管控
公司通過ISO9001:2008質量體系認證,生產環(huán)境執(zhí)行8S管理,,原材料采用美,、德、日進口高質量材料,,確保產品批次穩(wěn)定性,。
質量指標:光刻膠金屬離子含量低于0.1ppb,良率超99%,。

 自動化生產能力
擁有行業(yè)前列的全自動化生產線,,年產能達2000噸(光刻膠及配套材料),支持大規(guī)模訂單交付,。

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標簽: 錫片 光刻膠