吉田半導(dǎo)體 SU-3 負(fù)性光刻膠:國產(chǎn)技術(shù)賦能 5G 芯片封裝
自主研發(fā) SU-3 負(fù)性光刻膠支持 3 微米厚膜加工,,成為 5G 芯片高密度封裝材料。
針對 5G 芯片封裝需求,,吉田半導(dǎo)體自主研發(fā) SU-3 負(fù)性光刻膠,,分辨率達(dá) 1.5μm,,抗深蝕刻速率 > 500nm/min,。其超高感光度與耐化學(xué)性確保復(fù)雜圖形的完整性,,已應(yīng)用于高通 5G 基帶芯片量產(chǎn)。產(chǎn)品采用國產(chǎn)原材料與工藝,,不采用國外材料,,成本較進(jìn)口產(chǎn)品降低 40%,幫助客戶提升封裝良率至 98.5%,,為國產(chǎn) 5G 芯片制造提供關(guān)鍵材料支撐,。
納米壓印光刻膠哪家強?吉田半導(dǎo)體附著力提升 30%!深圳阻焊光刻膠
作為東莞松山湖的企業(yè),吉田半導(dǎo)體深耕光刻膠領(lǐng)域 23 年,,成功研發(fā)出 YK-300 半導(dǎo)體正性光刻膠與 JT-2000 納米壓印光刻膠,。YK-300 適用于 45nm 及以上制程,線寬粗糙度(LWR)≤3nm,,良率達(dá) 98% 以上,已通過中芯國際等晶圓廠驗證,;JT-2000 突破耐高溫極限,,在 250℃復(fù)雜環(huán)境下仍保持圖形穩(wěn)定性,適用于 EUV 光刻前道工藝,。依托進(jìn)口原材料與全自動化生產(chǎn)工藝,,產(chǎn)品通過 ISO9001 認(rèn)證及歐盟 RoHS 標(biāo)準(zhǔn),,遠(yuǎn)銷全球并與跨國企業(yè)建立長期合作,加速國產(chǎn)替代進(jìn)程,。濟南水性光刻膠國產(chǎn)廠家吉田半導(dǎo)體助力區(qū)域經(jīng)濟發(fā)展,,推動產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同創(chuàng)新。
吉田半導(dǎo)體 JT-3001 厚板光刻膠:歐盟 RoHS 認(rèn)證,,PCB 電路板制造
憑借抗深蝕刻性能與環(huán)保特性,,吉田 JT-3001 厚板光刻膠成為 PCB 行業(yè)材料。
吉田半導(dǎo)體推出的 JT-3001 厚板光刻膠,,分辨率達(dá) 1.5μm,,抗深蝕刻速率 > 500nm/min,適用于高密度電路板制造,。產(chǎn)品通過歐盟 RoHS 認(rèn)證,,采用無鹵無鉛配方,符合環(huán)保要求,。其優(yōu)異的感光度與留膜率,,確保復(fù)雜線路圖形的成型,已應(yīng)用于華為 5G 基站主板量產(chǎn),。公司提供從材料選型到工藝優(yōu)化的全流程支持,,助力客戶提升生產(chǎn)效率與良率。
光刻膠的納米級性能要求
超高分辨率:需承受電子束(10keV以上)或EUV(13.5nm波長)的轟擊,,避免散射導(dǎo)致的邊緣模糊,,目前商用EUV膠分辨率已達(dá)13nm(3nm制程)。
低缺陷率:納米級結(jié)構(gòu)對膠層中的顆?;蚧瘜W(xué)不均性極其敏感,,需通過化學(xué)增幅型配方(如酸催化交聯(lián))提升對比度和抗刻蝕性。
多功能性:兼容多種基底(柔性聚合物,、陶瓷)和后處理工藝(干法刻蝕,、原子層沉積),例如用于柔性電子的可拉伸光刻膠,。
技術(shù)挑戰(zhàn)與前沿方向
? EUV光刻膠優(yōu)化:解決曝光后酸擴散導(dǎo)致的線寬波動,,開發(fā)含氟聚合物或金屬有機材料以提高靈敏度。
? 無掩膜光刻:結(jié)合機器學(xué)習(xí)優(yōu)化電子束掃描路徑,,直接寫入復(fù)雜納米圖案(如神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)芯片的突觸陣列),,縮短制備周期。
? 生物基光刻膠:開發(fā)可降解,、低毒性的天然高分子光刻膠,,用于生物芯片或環(huán)保型納米制造。
吉田半導(dǎo)體:以技術(shù)革新驅(qū)動光刻膠產(chǎn)業(yè)升級。
技術(shù)優(yōu)勢:23年研發(fā)沉淀與細(xì)分領(lǐng)域突破
全流程自主化能力
吉田在光刻膠研發(fā)中實現(xiàn)了從樹脂合成,、光引發(fā)劑制備到配方優(yōu)化的全流程自主化,。例如,其納米壓印光刻膠通過自主開發(fā)的樹脂體系,,實現(xiàn)了3μm的分辨率,,適用于MEMS傳感器、光學(xué)器件等領(lǐng)域,。
技術(shù)壁壘:公司擁有23年光刻膠研發(fā)經(jīng)驗,,掌握光刻膠主要原材料(如樹脂、光酸)的合成技術(shù),,部分原材料純度達(dá)PPT級,。
細(xì)分領(lǐng)域技術(shù)先進(jìn)
? 納米壓印光刻膠:在納米級圖案化領(lǐng)域(如量子點顯示、生物芯片)實現(xiàn)技術(shù)突破,,分辨率達(dá)3μm,,填補國內(nèi)空缺。
? LCD光刻膠:針對顯示面板行業(yè)需求,,開發(fā)出高感光度,、高對比度的光刻膠,適配AMOLED,、Micro LED等新型顯示技術(shù),。
研發(fā)投入與合作
公司2018年獲高新技術(shù)性企業(yè)認(rèn)證,與新材料領(lǐng)域同伴們合作開發(fā)半導(dǎo)體光刻膠,,計劃2025年啟動半導(dǎo)體用KrF光刻膠研發(fā),。
負(fù)性光刻膠的工藝和應(yīng)用場景。廣東UV納米光刻膠國產(chǎn)廠商
光刻膠解決方案找吉田,,ISO 認(rèn)證 +8S 管理,,良率達(dá) 98%!深圳阻焊光刻膠
晶圓制造(前道工藝)
? 功能:在硅片表面形成高精度電路圖形,是光刻工藝的主要材料,。
? 細(xì)分場景:
? 邏輯/存儲芯片:用于28nm及以上成熟制程的KrF光刻膠(分辨率0.25-1μm),、14nm以下先進(jìn)制程的ArF浸沒式光刻膠(分辨率≤45nm),以及極紫外(EUV)光刻膠(目標(biāo)7nm以下,,研發(fā)中),。
? 功率半導(dǎo)體(如IGBT):使用厚膜光刻膠(膜厚5-50μm),滿足深溝槽刻蝕需求,。
? MEMS傳感器:通過高深寬比光刻膠(如SU-8)實現(xiàn)微米級結(jié)構(gòu)(如加速度計,、陀螺儀的懸臂梁)。
芯片封裝(后道工藝)
? 先進(jìn)封裝技術(shù):
? Flip Chip(倒裝芯片):用光刻膠形成凸點(Bump)下的 Redistribution Layer(RDL),,線寬精度要求≤10μm,。
? 2.5D/3D封裝:在硅通孔(TSV)工藝中,,光刻膠用于定義通孔開口(直徑5-50μm),。
深圳阻焊光刻膠