湖北油墨光刻膠

來源：發(fā)布時間：2025-05-27

定義與特性

正性光刻膠是一種在曝光后，曝光區(qū)域會溶解于顯影液的光敏材料,，形成與掩膜版（Mask）圖案一致的圖形。與負性光刻膠（未曝光區(qū)域溶解）相比,，其優(yōu)勢是分辨率高、圖案邊緣清晰,，是半導(dǎo)體制造（尤其是制程）的主流選擇,。

化學(xué)組成與工作原理

主要成分

? 樹脂（成膜劑）：

? 傳統(tǒng)正性膠：采用**酚醛樹脂（Novolak）與重氮萘醌（DNQ,，光敏劑）**的復(fù)合體系（PAC體系）,，占比約80%-90%。

? 化學(xué)增幅型（用于DUV/EUV）：含環(huán)化烯烴樹脂或含氟聚合物,，搭配光酸發(fā)生器（PAG）,，通過酸催化反應(yīng)提高感光度和分辨率。

? 溶劑：溶解樹脂和感光劑,，常用丙二醇甲醚醋酸酯（PGMEA）或乳酸乙酯,。

? 添加劑：表面活性劑（改善涂布均勻性）、穩(wěn)定劑（防止暗反應(yīng)）,、堿溶解度調(diào)節(jié)劑等,。

工作原理

? 曝光前：光敏劑（如DNQ）與樹脂結(jié)合,，形成不溶于堿性顯影液的復(fù)合物,。

? 曝光時：

? 傳統(tǒng)PAC體系：DNQ在紫外光（G線436nm、I線365nm）照射下發(fā)生光分解,，生成羧酸，使曝光區(qū)域樹脂在堿性顯影液中溶解性增強,。

? 化學(xué)增幅型：PAG在DUV/EUV光下產(chǎn)生活性酸，催化樹脂發(fā)生脫保護反應(yīng),，大幅提高顯影速率（靈敏度提升10倍以上）,。

? 顯影后：曝光區(qū)域溶解去除,，未曝光區(qū)域保留,，形成正性圖案,。

光刻膠新興及擴展應(yīng)用,。湖北油墨光刻膠

國家戰(zhàn)略支持

《國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金三期規(guī)劃》將光刻膠列為重點投資領(lǐng)域,，計劃投入超500億元支持研發(fā)。工信部對通過驗證的企業(yè)給予稅收減免和設(shè)備采購補貼,，單家企業(yè)比較高補貼可達研發(fā)投入的30%,。

地方產(chǎn)業(yè)協(xié)同

濟南設(shè)立寬禁帶半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)專項基金,，深圳國際半導(dǎo)體光刻膠產(chǎn)業(yè)展覽會（2025年4月）吸引全球300余家企業(yè)參展，推動技術(shù)交流,。

資本助力產(chǎn)能擴張

恒坤新材通過科創(chuàng)板IPO募資15億元,，擴大KrF光刻膠產(chǎn)能并布局集成電路前驅(qū)體項目,。彤程新材半導(dǎo)體光刻膠業(yè)務(wù)2024年上半年營收增長54.43%,，ArF光刻膠開始形成銷售,。

北京低溫光刻膠工廠光刻膠：半導(dǎo)體之路上的挑戰(zhàn)與突破,。

國產(chǎn)替代進程加速

日本信越化學(xué)因地震導(dǎo)致KrF光刻膠產(chǎn)能受限后,，國內(nèi)企業(yè)加速驗證本土產(chǎn)品,。鼎龍股份潛江工廠的KrF/ArF產(chǎn)線2024年12月獲兩家大廠百萬大單,，二期300噸生產(chǎn)線在建。武漢太紫微的T150A光刻膠性能參數(shù)接近日本UV1610,，已通過中芯國際14nm工藝驗證。預(yù)計到2025年,，國內(nèi)KrF/ArF光刻膠國產(chǎn)化率將從不足5%提升至10%。

原材料國產(chǎn)化突破

光刻膠樹脂占成本50%-60%,，八億時空的光刻膠樹脂產(chǎn)線預(yù)計2025年實現(xiàn)百噸級量產(chǎn)，其產(chǎn)品純度達到99.999%,，金屬雜質(zhì)含量低于1ppb,。怡達股份作為全球電子級PM溶劑前段（市占率超40%）,，與南大光電合作開發(fā)配套溶劑，打破了日本關(guān)東化學(xué)的壟斷,。這些進展使光刻膠生產(chǎn)成本降低約20%。

供應(yīng)鏈風(fēng)險緩解

合肥海關(guān)通過“空中專線”保障光刻膠運輸,，將進口周期從28天縮短至17天,，碳排放減少18%,。國內(nèi)在建12座光刻膠工廠（占全球總數(shù)58%），預(yù)計2025年產(chǎn)能達3000噸/年,，較2023年增長150%。

感光機制

? 重氮型（雙液型）：需混合光敏劑（如二疊氮二苯乙烯二磺酸鈉）,，曝光后通過交聯(lián)反應(yīng)固化,，適用于精細圖案（如PCB電路線寬≤0.15mm）,。

? SBQ型（單液型）：預(yù)混光敏劑,，無需調(diào)配,，感光度高（曝光時間縮短30%）,，適合快速制版（如服裝印花）,。

? 環(huán)保型：采用無鉻配方（如CN10243143A），通過多元固化體系（熱固化+光固化）實現(xiàn)12-15mJ/cm2快速曝光,，分辨率達2μm,，符合歐盟REACH標(biāo)準(zhǔn)。

功能細分

? 耐溶劑型：如日本村上AD20,，耐酒精,、甲苯等溶劑,，適用于電子油墨印刷。

? 耐水型：如瑞士科特1711,，抗水性強，適合紡織品水性漿料,。

? 厚版型：如德國K?ppen厚版膠,，單次涂布可達50μm,，用于立體印刷,。

典型應(yīng)用場景：

? PCB制造：使用360目尼龍網(wǎng)+重氮感光膠,，配合LED曝光（405nm波長），實現(xiàn)0.15mm線寬,，耐酸性蝕刻液。

? 紡織印花：圓網(wǎng)制版采用9806A型感光膠,，涂布厚度20μm，耐堿性染料色漿,，耐印率超10萬次。

? 包裝印刷：柔版制版選用杜邦賽麗® Lightning LFH版材,，UV-LED曝光+無溶劑工藝,，碳排放降低40%。

光刻膠廠家推薦吉田半導(dǎo)體,。

制版光刻膠應(yīng)用場景：印刷電路板（FPC）、觸摸屏（TP）的掩膜版制作,，以及光學(xué)元件（如衍射光柵）的微納加工。特點：高分辨率與耐化學(xué)性,，確保模板的長期使用壽命,。

水性光刻膠（JT-1200）應(yīng)用場景：環(huán)保要求高的電子元件（如醫(yī)療設(shè)備、汽車電子）的制造,，以及柔性電路的生產(chǎn),。特點：以水為溶劑，低 VOC 排放,，符合 RoHS 和 REACH 環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)。

水油兩用光刻膠（JT-2001/SR-3308）適用于混合工藝場景（如部分環(huán)節(jié)需水性顯影,，部分需溶劑顯影），提升生產(chǎn)靈活性,。松山湖半導(dǎo)體材料廠家吉田，全系列產(chǎn)品支持小批量試產(chǎn),！福建光刻膠

發(fā)展戰(zhàn)略與行業(yè)地位,。湖北油墨光刻膠

研發(fā)投入

? 擁有自己實驗室和研發(fā)團隊,，研發(fā)費用占比超15%，聚焦EUV光刻膠前驅(qū)體,、低缺陷納米壓印膠等前沿領(lǐng)域,，與中山大學(xué)、華南理工大學(xué)建立產(chǎn)學(xué)研合作,。

? 專項布局：累計申請光刻膠相關(guān)的項目30余項,，涵蓋樹脂合成、配方優(yōu)化,、涂布工藝等細致環(huán)節(jié),。

生產(chǎn)體系

? 全自動化產(chǎn)線：采用德國曼茨（Manz）涂布設(shè)備,、日本島津（Shimadzu）檢測儀器，年產(chǎn)能超500噸（光刻膠）,，支持小批量定制（小訂單100g）和大規(guī)模量產(chǎn),。

? 潔凈環(huán)境：生產(chǎn)車間達萬級潔凈標(biāo)準(zhǔn)（ISO 8級），避免顆粒污染,，確保光刻膠缺陷密度<5個/cm2。

湖北油墨光刻膠

標(biāo)簽：錫片光刻膠

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