國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)程加速
日本信越化學(xué)因地震導(dǎo)致KrF光刻膠產(chǎn)能受限后,國(guó)內(nèi)企業(yè)加速驗(yàn)證本土產(chǎn)品,。鼎龍股份潛江工廠的KrF/ArF產(chǎn)線2024年12月獲兩家大廠百萬(wàn)大單,,二期300噸生產(chǎn)線在建,。武漢太紫微的T150A光刻膠性能參數(shù)接近日本UV1610,已通過(guò)中芯國(guó)際14nm工藝驗(yàn)證。預(yù)計(jì)到2025年,國(guó)內(nèi)KrF/ArF光刻膠國(guó)產(chǎn)化率將從不足5%提升至10%,。
原材料國(guó)產(chǎn)化突破
光刻膠樹脂占成本50%-60%,八億時(shí)空的光刻膠樹脂產(chǎn)線預(yù)計(jì)2025年實(shí)現(xiàn)百噸級(jí)量產(chǎn),,其產(chǎn)品純度達(dá)到99.999%,,金屬雜質(zhì)含量低于1ppb。怡達(dá)股份作為全球電子級(jí)PM溶劑前段(市占率超40%),,與南大光電合作開發(fā)配套溶劑,,打破了日本關(guān)東化學(xué)的壟斷。這些進(jìn)展使光刻膠生產(chǎn)成本降低約20%,。
供應(yīng)鏈風(fēng)險(xiǎn)緩解
合肥海關(guān)通過(guò)“空中專線”保障光刻膠運(yùn)輸,,將進(jìn)口周期從28天縮短至17天,,碳排放減少18%,。國(guó)內(nèi)在建12座光刻膠工廠(占全球總數(shù)58%),預(yù)計(jì)2025年產(chǎn)能達(dá)3000噸/年,,較2023年增長(zhǎng)150%,。
光刻膠廠家推薦吉田半導(dǎo)體,23 年研發(fā)經(jīng)驗(yàn),,全自動(dòng)化生產(chǎn)保障品質(zhì),!云南制版光刻膠
廣東吉田半導(dǎo)體材料有限公司成立于 2023 年,總部位于東莞松山湖經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū),,注冊(cè)資本 2000 萬(wàn)元,。作為高新企業(yè)和廣東省專精特新企業(yè),公司專注于半導(dǎo)體材料的研發(fā),、生產(chǎn)與銷售,,產(chǎn)品線覆蓋芯片光刻膠、LCD 光刻膠,、納米壓印光刻膠,、半導(dǎo)體錫膏,、焊片及靶材等領(lǐng)域。其光刻膠產(chǎn)品以高分辨率,、耐蝕刻性和環(huán)保特性著稱,,廣泛應(yīng)用于芯片制造、顯示面板及精密電子元件生產(chǎn),。
公司依托 23 年行業(yè)經(jīng)驗(yàn)積累,,構(gòu)建了完整的技術(shù)研發(fā)體系,擁有全自動(dòng)化生產(chǎn)設(shè)備及多項(xiàng)技術(shù),。原材料均選用美國(guó),、德國(guó)、日本進(jìn)口的材料,,并通過(guò) ISO9001:2008 質(zhì)量管理體系認(rèn)證,,生產(chǎn)流程嚴(yán)格執(zhí)行 8S 現(xiàn)場(chǎng)管理標(biāo)準(zhǔn),確保產(chǎn)品穩(wěn)定性與一致性,。目前,,吉田半導(dǎo)體已與多家世界 500 強(qiáng)企業(yè)及電子加工企業(yè)建立長(zhǎng)期合作,產(chǎn)品遠(yuǎn)銷全球市場(chǎng),,致力于成為半導(dǎo)體材料領(lǐng)域的企業(yè),。
四川正性光刻膠納米壓印光刻膠哪家強(qiáng)?吉田半導(dǎo)體附著力提升 30%!
工藝流程
? 目的:去除基板表面油污、顆粒,,增強(qiáng)感光膠附著力,。
? 方法:
? 化學(xué)清洗(硫酸/雙氧水、去離子水),;
? 表面處理(硅基板用六甲基二硅氮烷HMDS疏水化,,PCB基板用粗化處理)。
涂布(Coating)
? 方式:
? 旋涂:半導(dǎo)體/顯示領(lǐng)域,,厚度控制精確(納米至微米級(jí)),,轉(zhuǎn)速500-5000rpm;
? 噴涂/輥涂:PCB/MEMS領(lǐng)域,,適合大面積或厚膠(微米至百微米級(jí),,如負(fù)性膠可達(dá)100μm)。
? 關(guān)鍵參數(shù):膠液黏度,、涂布速度,、基板溫度(影響厚度均勻性)。
前烘(Soft Bake)
? 目的:揮發(fā)溶劑,,固化膠膜,,增強(qiáng)附著力和穩(wěn)定性。
? 條件:
? 溫度:60-120℃(正性膠通常更低,,如90℃,;負(fù)性膠可至100℃以上),;
? 時(shí)間:5-30分鐘(根據(jù)膠厚調(diào)整,厚膠需更長(zhǎng)時(shí)間),。
曝光(Exposure)
? 光源:
? 紫外光(UV):G線(436nm),、I線(365nm)用于傳統(tǒng)光刻(分辨率≥1μm);
? 深紫外(DUV):248nm(KrF),、193nm(ArF)用于半導(dǎo)體先進(jìn)制程(分辨率至20nm),;
? 極紫外(EUV):13.5nm,用于7nm以下制程(只能正性膠適用),。
? 曝光方式:
? 接觸式/接近式:掩膜版與膠膜直接接觸(PCB,、MEMS,低成本但精度低),;
? 投影式:通過(guò)物鏡聚焦(半導(dǎo)體,,分辨率高,如ArF光刻機(jī)精度達(dá)22nm),。
主要應(yīng)用場(chǎng)景
印刷電路板(PCB):
? 通孔/線路加工:負(fù)性膠厚度可達(dá)20-50μm,,耐堿性蝕刻液(如氯化鐵、堿性氯化銅),,適合制作大尺寸線路(線寬/線距≥50μm),,如雙面板、多層板的外層電路,。
? 阻焊層:作為絕緣保護(hù)層,,覆蓋非焊盤區(qū)域,需厚膠(50-100μm)和高耐焊接溫度(260℃以上),,負(fù)性膠因工藝簡(jiǎn)單,、成本低而廣泛應(yīng)用。
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS):
? 深硅蝕刻(DRIE):負(fù)性膠作為蝕刻掩膜,,厚度可達(dá)100μm以上,,耐SF?等強(qiáng)腐蝕性氣體,,用于制作加速度計(jì),、陀螺儀的高深寬比結(jié)構(gòu)(深寬比>20:1)。
? 模具制造:在硅或玻璃基板上制作微流控芯片的通道模具,,利用負(fù)性膠的厚膠成型能力,。
平板顯示(LCD):
? 彩色濾光片(CF)基板預(yù)處理:在玻璃基板上制作絕緣層或緩沖層,耐濕法蝕刻(如HF溶液),,確保后續(xù)RGB色阻層的精確涂布,。
功率半導(dǎo)體與分立器件:
? IGBT、MOSFET的隔離區(qū)蝕刻:負(fù)性膠用于制作較寬的隔離溝槽(寬度>10μm),,耐高濃度酸堿蝕刻,,降低工藝成本,。
吉田市場(chǎng)定位與未來(lái)布局。
? 正性光刻膠
? YK-300:適用于半導(dǎo)體制造,,具備高分辨率(線寬≤10μm),、耐高溫(250℃)、耐酸堿腐蝕特性,,主要用于28nm及以上制程的晶圓制造,,適配UV光源(365nm/405nm)。
? 技術(shù)優(yōu)勢(shì):采用進(jìn)口樹脂及光引發(fā)劑,,絕緣阻抗高(>10^14Ω),,滿足半導(dǎo)體器件對(duì)絕緣性的嚴(yán)苛要求。
? 負(fù)性光刻膠
? JT-1000:負(fù)性膠,,主打優(yōu)異抗深蝕刻性能,,分辨率達(dá)3μm,適用于功率半導(dǎo)體,、MEMS器件制造,,可承受氫氟酸(HF)、磷酸(H3PO4)等強(qiáng)腐蝕液處理,。
? SU-3:經(jīng)濟(jì)型負(fù)性膠,,性價(jià)比高,適用于分立器件及低端邏輯芯片,,光源適應(yīng)性廣(248nm-436nm),,曝光靈敏度≤200mJ/cm2。
2. 顯示面板光刻膠
? LCD正性光刻膠YK-200:專為TFT-LCD制程設(shè)計(jì),,具備高涂布均勻性(膜厚誤差±1%),、良好的基板附著力,用于彩色濾光片(CF)和陣列基板(Array)制造,,支持8.5代線以上大規(guī)模生產(chǎn),。
? 水性感光膠JT-1200:環(huán)保型產(chǎn)品,VOC含量<50g/L,,符合歐盟RoHS標(biāo)準(zhǔn),,適用于柔性顯示基板,可制作20μm以下精細(xì)網(wǎng)點(diǎn),,主要供應(yīng)京東方,、TCL等面板廠商。
LCD 光刻膠供應(yīng)商哪家好,?吉田半導(dǎo)體高分辨率 + 低 VOC 配方,!青島光刻膠工廠
光刻膠是有什么東西?云南制版光刻膠
吉田半導(dǎo)體 YK-300 正性光刻膠:半導(dǎo)體芯片制造的材料
YK-300 正性光刻膠以高分辨率與耐蝕刻性,,成為 45nm 及以上制程的理想選擇,。
YK-300 正性光刻膠分辨率達(dá) 0.35μm,,線寬粗糙度(LWR)≤3nm,適用于半導(dǎo)體芯片前道工藝,。其耐溶劑性與絕緣阻抗性能突出,,在顯影與蝕刻過(guò)程中保持圖形穩(wěn)定性。產(chǎn)品已通過(guò)中芯國(guó)際量產(chǎn)驗(yàn)證,,良率達(dá) 98% 以上,,生產(chǎn)過(guò)程執(zhí)行 ISO9001 標(biāo)準(zhǔn),幫助客戶降低封裝成本 20% 以上,。支持小批量試產(chǎn)與定制化需求,,為國(guó)產(chǎn)芯片制造提供穩(wěn)定材料支撐。
云南制版光刻膠