工藝流程
? 目的:去除基板表面油污、顆粒,,增強(qiáng)感光膠附著力。
? 方法:
? 化學(xué)清洗(硫酸/雙氧水,、去離子水);
? 表面處理(硅基板用六甲基二硅氮烷HMDS疏水化,,PCB基板用粗化處理),。
涂布(Coating)
? 方式:
? 旋涂:半導(dǎo)體/顯示領(lǐng)域,厚度控制精確(納米至微米級(jí)),,轉(zhuǎn)速500-5000rpm,;
? 噴涂/輥涂:PCB/MEMS領(lǐng)域,適合大面積或厚膠(微米至百微米級(jí),如負(fù)性膠可達(dá)100μm),。
? 關(guān)鍵參數(shù):膠液黏度,、涂布速度、基板溫度(影響厚度均勻性),。
前烘(Soft Bake)
? 目的:揮發(fā)溶劑,,固化膠膜,增強(qiáng)附著力和穩(wěn)定性,。
? 條件:
? 溫度:60-120℃(正性膠通常更低,,如90℃;負(fù)性膠可至100℃以上),;
? 時(shí)間:5-30分鐘(根據(jù)膠厚調(diào)整,,厚膠需更長時(shí)間)。
曝光(Exposure)
? 光源:
? 紫外光(UV):G線(436nm),、I線(365nm)用于傳統(tǒng)光刻(分辨率≥1μm),;
? 深紫外(DUV):248nm(KrF)、193nm(ArF)用于半導(dǎo)體先進(jìn)制程(分辨率至20nm),;
? 極紫外(EUV):13.5nm,,用于7nm以下制程(只能正性膠適用)。
? 曝光方式:
? 接觸式/接近式:掩膜版與膠膜直接接觸(PCB,、MEMS,,低成本但精度低);
? 投影式:通過物鏡聚焦(半導(dǎo)體,,分辨率高,,如ArF光刻機(jī)精度達(dá)22nm)。
光刻膠廠家推薦吉田半導(dǎo)體,。天津LED光刻膠供應(yīng)商
吉田半導(dǎo)體的光刻膠產(chǎn)品覆蓋芯片制造、顯示面板,、PCB 及微納加工等領(lǐng)域,,通過差異化技術(shù)(如納米壓印、厚膜工藝)和環(huán)保特性(水性配方),,滿足從傳統(tǒng)電子到新興領(lǐng)域(如第三代半導(dǎo)體,、Mini LED)的多樣化需求。其產(chǎn)品不僅支持高精度,、高可靠性的制造工藝,,還通過材料創(chuàng)新推動(dòng)行業(yè)向綠色化、低成本化方向發(fā)展,。吉田半導(dǎo)體光刻膠的優(yōu)勢(shì)在于技術(shù)全面性,、環(huán)保創(chuàng)新、質(zhì)量穩(wěn)定性及本土化服務(wù),尤其在納米壓印,、厚膜工藝及水性膠領(lǐng)域形成差異化競爭力,。
廈門紫外光刻膠報(bào)價(jià)耐高溫光刻膠 JT-2000,250℃環(huán)境穩(wěn)定運(yùn)行,,圖形保真度超 95%,,用于納米結(jié)構(gòu)制造!
公司遵循國際質(zhì)量管理標(biāo)準(zhǔn),,通過 ISO9001:2008 認(rèn)證,,并在生產(chǎn)過程中執(zhí)行 8S 現(xiàn)場管理,從原料入庫到成品出庫實(shí)現(xiàn)全流程監(jiān)控,。以錫膏產(chǎn)品為例,,其無鹵無鉛配方符合環(huán)保要求,同時(shí)具備低飛濺,、高潤濕性等特點(diǎn),,適用于電子產(chǎn)品組裝。此外,,公司建立了行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化實(shí)驗(yàn)室,,配備先進(jìn)檢測(cè)設(shè)備,確保產(chǎn)品性能達(dá)到國際同類水平,。
憑借多年研發(fā)積累,,公司形成了覆蓋光刻膠、焊接材料,、電子膠等領(lǐng)域的豐富產(chǎn)品線,。在焊接材料方面,不僅提供常規(guī)錫膏,、助焊膏,,還針對(duì)特殊場景開發(fā)了 BGA 助焊膏、針筒錫膏等定制化產(chǎn)品,,滿足精密電子組裝的多樣化需求,。同時(shí),感光膠系列產(chǎn)品分為水性與油性兩類,,兼具耐潮性與易操作性,,廣泛應(yīng)用于印刷電路板制造。
主要應(yīng)用場景
印刷電路板(PCB):
? 通孔/線路加工:負(fù)性膠厚度可達(dá)20-50μm,,耐堿性蝕刻液(如氯化鐵,、堿性氯化銅),適合制作大尺寸線路(線寬/線距≥50μm),,如雙面板,、多層板的外層電路,。
? 阻焊層:作為絕緣保護(hù)層,覆蓋非焊盤區(qū)域,,需厚膠(50-100μm)和高耐焊接溫度(260℃以上),,負(fù)性膠因工藝簡單、成本低而廣泛應(yīng)用,。
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS):
? 深硅蝕刻(DRIE):負(fù)性膠作為蝕刻掩膜,,厚度可達(dá)100μm以上,耐SF?等強(qiáng)腐蝕性氣體,,用于制作加速度計(jì),、陀螺儀的高深寬比結(jié)構(gòu)(深寬比>20:1)。
? 模具制造:在硅或玻璃基板上制作微流控芯片的通道模具,,利用負(fù)性膠的厚膠成型能力,。
平板顯示(LCD):
? 彩色濾光片(CF)基板預(yù)處理:在玻璃基板上制作絕緣層或緩沖層,耐濕法蝕刻(如HF溶液),,確保后續(xù)RGB色阻層的精確涂布,。
功率半導(dǎo)體與分立器件:
? IGBT、MOSFET的隔離區(qū)蝕刻:負(fù)性膠用于制作較寬的隔離溝槽(寬度>10μm),,耐高濃度酸堿蝕刻,,降低工藝成本。
聚焦封裝需求,,吉田公司提供從光刻膠到配套材料的一站式服務(wù),。
? 正性光刻膠
? YK-300:適用于半導(dǎo)體制造,具備高分辨率(線寬≤10μm),、耐高溫(250℃),、耐酸堿腐蝕特性,主要用于28nm及以上制程的晶圓制造,,適配UV光源(365nm/405nm),。
? 技術(shù)優(yōu)勢(shì):采用進(jìn)口樹脂及光引發(fā)劑,絕緣阻抗高(>10^14Ω),,滿足半導(dǎo)體器件對(duì)絕緣性的嚴(yán)苛要求,。
? 負(fù)性光刻膠
? JT-1000:負(fù)性膠,主打優(yōu)異抗深蝕刻性能,,分辨率達(dá)3μm,適用于功率半導(dǎo)體,、MEMS器件制造,,可承受氫氟酸(HF)、磷酸(H3PO4)等強(qiáng)腐蝕液處理,。
? SU-3:經(jīng)濟(jì)型負(fù)性膠,,性價(jià)比高,適用于分立器件及低端邏輯芯片,光源適應(yīng)性廣(248nm-436nm),,曝光靈敏度≤200mJ/cm2,。
2. 顯示面板光刻膠
? LCD正性光刻膠YK-200:專為TFT-LCD制程設(shè)計(jì),具備高涂布均勻性(膜厚誤差±1%),、良好的基板附著力,,用于彩色濾光片(CF)和陣列基板(Array)制造,支持8.5代線以上大規(guī)模生產(chǎn),。
? 水性感光膠JT-1200:環(huán)保型產(chǎn)品,,VOC含量<50g/L,符合歐盟RoHS標(biāo)準(zhǔn),,適用于柔性顯示基板,,可制作20μm以下精細(xì)網(wǎng)點(diǎn),主要供應(yīng)京東方,、TCL等面板廠商,。
吉田半導(dǎo)體:以技術(shù)革新驅(qū)動(dòng)光刻膠產(chǎn)業(yè)升級(jí)。廈門紫外光刻膠報(bào)價(jià)
厚板光刻膠 JT-3001,,抗深蝕刻,,PCB 電路板制造Preferred!天津LED光刻膠供應(yīng)商
作為深耕半導(dǎo)體材料領(lǐng)域二十余年的綜合性企業(yè),廣東吉田半導(dǎo)體材料有限公司始終將環(huán)保理念融入產(chǎn)品研發(fā)與生產(chǎn)全流程,。公司位于東莞松山湖產(chǎn)業(yè)集群,,依托區(qū)域產(chǎn)業(yè)鏈優(yōu)勢(shì),持續(xù)推出符合國際環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體材料解決方案,。
公司在錫膏,、焊片等產(chǎn)品中采用無鹵無鉛配方,嚴(yán)格遵循 RoHS 指令要求,,避免使用有害物質(zhì),。以錫膏為例,其零鹵素配方通過第三方機(jī)構(gòu)認(rèn)證,,不僅減少了電子產(chǎn)品廢棄后的環(huán)境負(fù)擔(dān),,還提升了焊接可靠性,適用于新能源汽車,、精密電子設(shè)備等領(lǐng)域,。同時(shí),納米壓印光刻膠與 LCD 光刻膠的生產(chǎn)過程中,,公司通過優(yōu)化原料配比,,減少揮發(fā)性有機(jī)物(VOCs)排放,確保產(chǎn)品符合歐盟 REACH 法規(guī),。
天津LED光刻膠供應(yīng)商