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北京光刻膠工廠

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2025-06-17

國(guó)家大基金三期:注冊(cè)資本3440億元,,明確將光刻膠列為重點(diǎn)投資領(lǐng)域,,計(jì)劃投入超500億元支持樹脂、光引發(fā)劑等原料研發(fā),,相當(dāng)于前兩期投入總和的3倍,。

地方專項(xiàng)政策:湖北省對(duì)通過驗(yàn)證的光刻膠企業(yè)給予設(shè)備采購(gòu)補(bǔ)貼+稅收減免,武漢太紫微憑借全流程國(guó)產(chǎn)化技術(shù)獲中芯國(guó)際百萬(wàn)級(jí)訂單,;福建省提出2030年化工新材料自給率達(dá)90%,,光刻膠是重點(diǎn)突破方向。

研發(fā)專項(xiàng):科技部“雙十計(jì)劃”設(shè)立20億元經(jīng)費(fèi),,要求2025年KrF/ArF光刻膠國(guó)產(chǎn)化率突破10%,,并啟動(dòng)EUV光刻膠預(yù)研。
聚焦封裝需求,,吉田公司提供從光刻膠到配套材料的一站式服務(wù),。北京光刻膠工廠

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市場(chǎng)拓展

? 短期目標(biāo):2025年前實(shí)現(xiàn)LCD光刻膠國(guó)內(nèi)市占率10%,半導(dǎo)體負(fù)性膠進(jìn)入中芯國(guó)際,、華虹供應(yīng)鏈,,納米壓印膠完成臺(tái)積電驗(yàn)證。

? 長(zhǎng)期愿景:成為全球的半導(dǎo)體材料方案提供商,,2030年芯片光刻膠營(yíng)收占比超40%,,布局EUV光刻膠和第三代半導(dǎo)體材料,。

. 政策與產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同

? 受益于廣東省“強(qiáng)芯工程”和東莞市10億元半導(dǎo)體材料基金,獲設(shè)備采購(gòu)補(bǔ)貼(30%)和稅收減免,,加速KrF/ArF光刻膠研發(fā),。

? 與松山湖材料實(shí)驗(yàn)室、華為終端建立聯(lián)合研發(fā)中心,,共同攻關(guān)光刻膠關(guān)鍵技術(shù),,縮短客戶驗(yàn)證周期(目前平均12-18個(gè)月)。

. 挑戰(zhàn)與應(yīng)對(duì)

? 技術(shù)壁壘:ArF/EUV光刻膠仍依賴進(jìn)口,,計(jì)劃2026年建成中試線,,突破分辨率和靈敏度瓶頸(目標(biāo)曝光劑量<10mJ/cm2)。

? 供應(yīng)鏈風(fēng)險(xiǎn):部分原材料(如樹脂)進(jìn)口占比超60%,,正推進(jìn)“國(guó)產(chǎn)替代計(jì)劃”,,與鼎龍股份、久日新材建立戰(zhàn)略合作為原材料供應(yīng),。
沈陽(yáng)阻焊光刻膠供應(yīng)商吉田半導(dǎo)體全系列產(chǎn)品覆蓋,,滿足多元化需求。

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光刻膠的主要應(yīng)用領(lǐng)域

光刻膠是微電子制造的主要材料,,廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域:

 半導(dǎo)體制造

? 功能:在晶圓表面形成微細(xì)電路圖案,,作為蝕刻或離子注入的掩膜,。

? 分類:

? 正性光刻膠:曝光區(qū)域溶解于顯影液,形成與掩膜版一致的圖案(主流,分辨率高),。

? 負(fù)性光刻膠:未曝光區(qū)域溶解,,形成反向圖案(用于早期工藝,,耐蝕刻性強(qiáng)),。

? 技術(shù)演進(jìn):隨制程精度提升,需匹配不同曝光波長(zhǎng)(紫外UV,、深紫外DUV,、極紫外EUV),例如EUV光刻膠用于7nm以下制程,。

 平板顯示(LCD/OLED)

? 彩色濾光片(CF):在玻璃基板上制作紅/綠/藍(lán)像素單元,,光刻膠用于圖案化黑矩陣(BM)、彩色層(R/G/B)和保護(hù)層,。

? 電極圖案:制作TFT-LCD的電極線路或OLED的陰極/陽(yáng)極,,需高透光率和精細(xì)邊緣控制。

 印刷電路板(PCB)

? 線路蝕刻:在覆銅板上涂膠,,曝光顯影后保留線路區(qū)域,,蝕刻去除未保護(hù)的銅箔,形成導(dǎo)電線路,。

? 阻焊與字符層:阻焊膠覆蓋非線路區(qū)域,,防止短路,;字符膠用于印刷電路板標(biāo)識(shí)。

 LED與功率器件

? 芯片制造:在藍(lán)寶石/硅基板上制作電極和量子阱結(jié)構(gòu),,需耐高功率環(huán)境的耐高溫光刻膠,。

? Micro-LED:微米級(jí)芯片轉(zhuǎn)移和陣列化,依賴超高分辨率光刻膠(分辨率≤5μm),。

 企業(yè)定位與資質(zhì)

? 成立背景:深耕半導(dǎo)體材料行業(yè)23年,,位于松山湖經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū),注冊(cè)資本2000萬(wàn)元,,是國(guó)家高新技術(shù)企業(yè),、廣東省專精特新企業(yè)及廣東省創(chuàng)新型中小企業(yè)。

? 質(zhì)量體系:通過ISO9001:2008認(rèn)證,,嚴(yán)格執(zhí)行8S現(xiàn)場(chǎng)管理,原材料源自美國(guó),、德國(guó),、日本等國(guó),確保產(chǎn)品穩(wěn)定性,。

? 市場(chǎng)布局:產(chǎn)品遠(yuǎn)銷全球,,與世界500強(qiáng)企業(yè)及多家電子加工企業(yè)建立長(zhǎng)期合作關(guān)系,覆蓋集成電路,、顯示面板,、先進(jìn)封裝等領(lǐng)域。


吉田產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同與政策紅利,。

 企業(yè)優(yōu)勢(shì)

? 研發(fā)能力:擁有多項(xiàng)專利證書,,自主研發(fā)芯片光刻膠、納米壓印光刻膠等產(chǎn)品,,配備全自動(dòng)化生產(chǎn)設(shè)備,,具備從材料合成到成品制造的全流程能力。

? 產(chǎn)能與品控:采用進(jìn)口原材料和嚴(yán)格制程管控,,確保金屬雜質(zhì)含量低于行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)(如半導(dǎo)體光刻膠金屬雜質(zhì)<5ppb),,良率達(dá)99%以上。

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關(guān)鍵工藝流程

 涂布:

? 在晶圓/基板表面旋涂光刻膠,,厚度控制在0.1-5μm(依制程精度調(diào)整),,需均勻無(wú)氣泡(旋涂轉(zhuǎn)速500-5000rpm)。

 前烘(Soft Bake):

? 加熱(80-120℃)去除溶劑,,固化膠膜,,增強(qiáng)附著力(避免顯影時(shí)邊緣剝離)。

 曝光:

? 光源匹配:

? G/I線膠:汞燈(適用于≥1μm線寬,,如PCB,、LCD),。

? DUV膠(248nm/193nm):KrF/ArF準(zhǔn)分子激光(用于28nm-14nm制程,如存儲(chǔ)芯片),。

? EUV膠(13.5nm):極紫外光源(用于7nm以下制程,,需控制納米級(jí)缺陷)。

? 曝光能量:需精確控制(如ArF膠約50mJ/cm2),,避免過曝或欠曝導(dǎo)致圖案失真,。

 顯影:

? 采用堿性溶液(如0.262N四甲基氫氧化銨,TMAH),,曝光區(qū)域膠膜溶解,,未曝光區(qū)域保留,形成三維立體圖案,。

 后烘(Post-Exposure Bake, PEB):

? 化學(xué)增幅型膠需此步驟,,通過加熱(90-130℃)激發(fā)光酸催化反應(yīng),提高分辨率和耐蝕刻性,。
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無(wú)鹵無(wú)鉛錫育廠家吉田,RoHS 認(rèn)證,,為新能源領(lǐng)域提供服務(wù)!北京光刻膠工廠

光刻膠系列

厚板光刻膠 JT - 3001,,具備優(yōu)異分辨率、感光度和抗深蝕刻性能,,符合歐盟 ROHS 標(biāo)準(zhǔn),,保質(zhì)期 1 年;

水油光刻膠 SR - 3308,,容量 5L,;SU - 3 負(fù)性光刻膠,分辨率優(yōu)異,,對(duì)比度良好,,曝光靈敏度高,光源適應(yīng),,重量 100g,;

液晶平板顯示器負(fù)性光刻膠 JT - 1000,有 1L 裝和 100g 裝兩種規(guī)格,,分辨率高,,準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性好;

JT - 2000 UV 納米壓印光刻膠,,耐強(qiáng)酸強(qiáng)堿,,耐高溫達(dá) 250°C,長(zhǎng)期可靠性高,,粘接強(qiáng)度高,,重量 100g,;

LCD 正性光刻膠 YK - 200,具有較大曝光,、高分辨率,、良好涂布和附著力,重量 100g,;

半導(dǎo)體正性光刻膠 YK - 300,,具備耐熱耐酸、耐溶劑性,、絕緣阻抗和緊密性,,重量 100g;

耐腐蝕負(fù)性光刻膠 JT - NF100,,重量 1L,。 北京光刻膠工廠

標(biāo)簽: 光刻膠 錫膏 錫片