磁控濺射生成的薄膜厚度的均勻性是成膜性質(zhì)的一項(xiàng)重要指標(biāo),，因此有必要研究影響磁控濺射均勻性的因素,，以更好的實(shí)現(xiàn)磁控濺射均勻鍍膜。簡(jiǎn)單的說磁控濺射就是在正交的電磁場(chǎng)中,，閉合的磁場(chǎng)束縛電子圍繞靶面做螺線運(yùn)動(dòng),，在運(yùn)動(dòng)過程中不斷撞擊工作氣體氬氣電離出大量的氬離子,，氬離子在電場(chǎng)作用下加速轟擊靶材，濺射出呈中性的靶原子（或分子）沉積在基片上成膜,。所以要實(shí)現(xiàn)均勻的鍍膜,，就需要均勻的濺射出靶原子（或分子），這就要求轟擊靶材的氬離子是均勻的且是均勻的轟擊的,。由于氬離子在電場(chǎng)作用下加速轟擊靶材,，所以均勻轟擊很大程度上依賴電場(chǎng)的均勻。磁控濺射是由二極濺射基礎(chǔ)上發(fā)展而來,。河南金屬磁控濺射特點(diǎn)

磁控濺射是物理中氣相沉積的一種,。一般的濺射法可被用于制備金屬、半導(dǎo)體,、絕緣體等多材料,，且具有設(shè)備簡(jiǎn)單、易于控制,、鍍膜面積大和附著力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn),。上世紀(jì)70年代發(fā)展起來的磁控濺射法更是實(shí)現(xiàn)了高速、低溫,、低損傷,。因?yàn)槭窃诘蜌鈮合逻M(jìn)行高速濺射,，必須有效地提高氣體的離化率。磁控濺射通過在靶陰極表面引入磁場(chǎng),，利用磁場(chǎng)對(duì)帶電粒子的約束來提高等離子體密度以增加濺射率,。磁控濺射是入射粒子和靶的碰撞過程。入射粒子在靶中經(jīng)歷復(fù)雜的散射過程,，和靶原子碰撞,，把部分動(dòng)量傳給靶原子，此靶原子又和其他靶原子碰撞,，形成級(jí)聯(lián)過程,。在這種級(jí)聯(lián)過程中某些表面附近的靶原子獲得向外運(yùn)動(dòng)的足夠動(dòng)量，離開靶被濺射出來,。河南金屬磁控濺射特點(diǎn)磁控濺射的原理：靶材背面加上強(qiáng)磁體,，形成磁場(chǎng)。

磁控濺射粉體鍍膜技術(shù)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了銀包銅粉,、銀包鋁粉,、鋁包硅粉等多種微納米級(jí)粉體的量產(chǎn).由該技術(shù)得到的功能性復(fù)合粉體具有優(yōu)異的分散性,鍍層均勻度較高,鍍層與粉體的結(jié)合緊密度較高。磁控濺射鍍膜可以賦予超細(xì)粉體新的特性,例如在微米級(jí)二氧化硅表面鍍鋁,得到的復(fù)合粉體不但具有良好的分散性,好具有優(yōu)異的光學(xué)性能,可以作為一種特殊效果顏料用于高級(jí)塑料制品加工中.相較于傳統(tǒng)的鋁粉顏料,該特殊效果顏料不但有效改善了塑料制品的注塑缺陷(流痕\熔接線),還使得制品外觀質(zhì)感更加高級(jí),。

磁控濺射包括很多種類,，各有不同工作原理和應(yīng)用對(duì)象。但有一共同點(diǎn)：利用磁場(chǎng)與電場(chǎng)交互作用,，使電子在靶表面附近成螺旋狀運(yùn)行,，從而增大電子撞擊氬氣產(chǎn)生離子的概率。所產(chǎn)生的離子在電場(chǎng)作用下撞向靶面從而濺射出靶材,。磁控反應(yīng)濺射絕緣體看似容易，而實(shí)際操作困難,。主要問題是反應(yīng)不光發(fā)生在零件表面,，也發(fā)生在陽極，真空腔體表面以及靶源表面,，從而引起滅火,，靶源和工件表面起弧等。國(guó)外發(fā)明的孿生靶源技術(shù),，很好的解決了這個(gè)問題,。其原理是一對(duì)靶源互相為陰陽極，從而消除陽極表面氧化或氮化,。磁控濺射在靶材表面建立與電場(chǎng)正交磁場(chǎng),，解決了二極濺射沉積速率低，等離子體離化率低等問題,。

磁控濺射靶材的分類：根據(jù)材料的成分不同,，靶材可分為金屬靶材,、合金靶材、無機(jī)非金屬靶材等,。其中無機(jī)非金屬靶材又可分為氧化物,、硅化物、氮化物和氟化物等不同種類靶材,。根據(jù)幾何形狀的不同,，靶材可分為長(zhǎng)（正）方體形靶材、圓柱體靶材和不規(guī)則形狀靶材,；此外,，靶材還可以分為實(shí)心和空心兩種類型靶材。目前靶材較常用的分類方法是根據(jù)靶材應(yīng)用領(lǐng)域進(jìn)行劃分,，主要包括半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用靶材,、記錄介質(zhì)應(yīng)用靶材、顯示薄膜應(yīng)用靶材,、光學(xué)靶材,、超導(dǎo)靶材等。其中半導(dǎo)體領(lǐng)域用靶材,、記錄介質(zhì)用靶材和顯示靶材是市場(chǎng)需求規(guī)模較大的三類靶材,。磁控濺射是在低氣壓下進(jìn)行高速濺射,為此需要提高氣體的離化率。貴州金屬磁控濺射優(yōu)點(diǎn)

磁控濺射是眾多獲得高質(zhì)量的薄膜技術(shù)當(dāng)中使用較普遍的一種鍍膜工藝,。河南金屬磁控濺射特點(diǎn)

高速率磁控濺射的一個(gè)固有的性質(zhì)是產(chǎn)生大量的濺射粒子而獲得高的薄膜沉積速率,。高的沉積速率意味著高的粒子流飛向基片，導(dǎo)致沉積過程中大量粒子的能量被轉(zhuǎn)移到生長(zhǎng)薄膜上,，引起沉積溫度明顯增加,。由于濺射離子的能量大約70%需要從陰極冷卻水中帶走，薄膜的較大濺射速率將受到濺射靶冷卻的限制,。冷卻不但靠足夠的冷卻水循環(huán),，還要求良好的靶材導(dǎo)熱率及較薄膜的靶厚度。同時(shí)高速率磁控濺射中典型的靶材利用率只有20%～30%,，因而提高靶材利用率也是有待于解決的一個(gè)問題,。河南金屬磁控濺射特點(diǎn)