電子束的能量越高,，束斑的直徑就越小,，比如10keV的電子束斑直徑為4nm，20keV時就減小到2nm,。電子束的掃描步長由束斑直徑所限制,。步長過大，不能實現(xiàn)緊密地平面束掃描;步長過小,，電子束掃描區(qū)域會受到過多的電子散射作用,。電子束流劑量由電子束電流強度和駐留時間所決定。電子束流劑量過小,，抗蝕劑不能完全感光;電子束流劑量過大,，圖形邊緣的抗蝕劑會受到過多的電子散射作用。由于高能量的電子波長要比光波長短成百上千倍,，因此限制分辨率的不是電子的衍射,，而是各種電子像散和電子在抗蝕劑中的散射。電子散射會使圖形邊緣內(nèi)側(cè)的電子能量和劑量降低,，產(chǎn)生內(nèi)鄰近效應;同時散射的電子會使圖形邊緣外側(cè)的抗蝕劑感光,，產(chǎn)生外鄰近效應。內(nèi)鄰近效應使垂直的圖形拐角圓弧化,，而外鄰近效應使相鄰的圖形邊緣趨近和模糊,。微納制造的加工材料多種多樣,。惠州高精度微納加工

    微納加工-薄膜沉積與摻雜工藝,。在微納加工過程中,，薄膜的形成方法主要為物理沉積、化學沉積和混合方法沉積,。蒸發(fā)沉積（熱蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)）和濺射沉積是典型的物理方法,，主要用于沉積金屬單質(zhì)薄膜,、合金薄膜、化合物等,。熱蒸發(fā)是在高真空下,，利用電阻加熱至材料的熔化溫度，使其蒸發(fā)至基底表面形成薄膜,，而電子束蒸發(fā)為使用電子束加熱,；磁控濺射在高真空，在電場的作用下,，Ar氣被電離為Ar離子高能量轟擊靶材,，使靶材發(fā)生濺射并沉積于基底；磁控濺射方法沉積的薄膜純度高,、致密性好,，熱蒸發(fā)主要用于沉積低熔點金屬薄膜或者厚膜；化學氣相沉積（CVD）是典型的化學方法而等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）是物理與化學相結(jié)合的混合方法,，CVD和PECVD用于生長氮化硅,、氧化硅等介質(zhì)膜。真空蒸鍍,，簡稱蒸鍍,，是指在真空條件下，采用一定的加熱蒸發(fā)方式蒸發(fā)鍍膜材料（或稱膜料）并使之氣化,，粒子飛至基片表面凝聚成膜的工藝方法,。蒸鍍是使用較早、用途較廣的氣相沉積技術(shù),，具有成膜方法簡單,、薄膜純度和致密性高、膜結(jié)構(gòu)和性能獨特等優(yōu)點,。 宿遷微納加工工藝流程微納制造技術(shù)是微傳感器,、微執(zhí)行器、微結(jié)構(gòu)和功能微納系統(tǒng)制造的基本手段和重要基礎(chǔ),。

微納加工工藝基本分為表面加工體加工兩大塊,，基本流程如下：表面加工基本流程如下：首先：沉積系繩層材料,；第二步：光刻定義系繩層圖形；第三步：刻蝕完成系繩層圖形轉(zhuǎn)移,；第四步：沉積結(jié)構(gòu)材料,；第五步：光刻定義結(jié)構(gòu)層圖形；第六步：刻蝕完成結(jié)構(gòu)層圖形轉(zhuǎn)移,；第七步：釋放去除系繩層,，保留結(jié)構(gòu)層，完成微結(jié)構(gòu)制作,；體加工基本流程如下：首先：沉積保護層材料,；第二步：光刻定義保護圖形；第三步：刻蝕完成保護層圖形轉(zhuǎn)移,；第四步：腐蝕硅襯底,，在制作三維立體腔結(jié)構(gòu)；第五步：去除保護層材料,。

高精度的微細結(jié)構(gòu)可以通過電子束直寫或激光直寫制作,，這類光刻技術(shù)，像“寫字”一樣,，通過控制聚焦電子束（光束）移動書寫圖案進行曝光,，具有很高的曝光精度，但這兩種方法制作效率極低,，尤其在大面積制作方面捉襟見肘,，目前直寫光刻技術(shù)適用于小面積的微納結(jié)構(gòu)制作。近年來,，三維浮雕微納結(jié)構(gòu)的需求越來越大,，如閃耀光柵、菲涅爾透鏡,、多臺階微光學元件等,。據(jù)悉，蘋果公司新上市的手機產(chǎn)品中人臉識別模塊就采用了多臺階微光學元件,，以及當下如火如荼的無人駕駛技術(shù)中激光雷達光學系統(tǒng)也用到了復雜的微光學元件,。這類精密的微納結(jié)構(gòu)光學元件需采用灰度光刻技術(shù)進行制作。直寫技術(shù),，通過在光束移動過程中進行相應的曝光能量調(diào)節(jié),，可以實現(xiàn)良好的灰度光刻能力。微納檢測主要是表征檢測：原子力顯微鏡,、掃描電鏡,、掃聲波掃描顯微鏡、白光干涉儀,、臺階儀等,。

當前納米制造技術(shù)在環(huán)境友好方面有望大展身手的一些領(lǐng)域：1,、照明：對于傳統(tǒng)的白熾光源來說，LEDs是一種高效能的替代,，納米技術(shù)可用來開發(fā)更多新的光源,。2、發(fā)動機/燃料效率：采用納米顆粒燃料添加劑能夠減少柴油機的能耗并改善局部空氣質(zhì)量,。微納材料也用來改善飛機渦輪葉片的熱阻性能,，使得發(fā)動機可以在更高的溫度下繼續(xù)運轉(zhuǎn)，進而提高整個發(fā)動機的效率,。3,、減重：新型較強度復合材料能夠減輕材料的重量。未來的目標包括：在金屬合金和塑料中摻雜納米管來減少飛機的重量,；改進橡膠配方中摻雜入輪胎的納米顆粒；利用通過納米技術(shù)制得的汽車等的催化式排氣凈化器優(yōu)化車內(nèi)燃料的燃燒過程,。微納檢測主要是表征檢測：原子力顯微鏡,、掃描電鏡、掃描顯微鏡,、XRD,、臺階儀等。安徽量子微納加工

在微納加工過程中,，薄膜的形成方法主要為物理沉積,、化學沉積和混合方法沉積?；葜莞呔任⒓{加工

微納制造可以應用在什么哪些領(lǐng)域,？微納制造作為國家新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重大關(guān)鍵技術(shù)之一，對國家裝備實力和國民經(jīng)濟技術(shù)的發(fā)展起到重要作用,。微納制造技術(shù)的進步,，推動著三大前沿科技的發(fā)展：生物技術(shù)、信息技術(shù),、納米技術(shù),。由于微納制造技術(shù)產(chǎn)品有體積小、集成度高,、重量輕,、智能化程度高等諸多優(yōu)點，在信息科學,、生物醫(yī)療,、航空航天等領(lǐng)域廣的應用。微納加工技術(shù)是先進制造的重要組成部分,，是衡量國家高質(zhì)量的制造業(yè)水平的標志之一,，具有多學科交叉性和制造要素極端性的特點,，在推動科技進步、促進產(chǎn)業(yè)發(fā)展,、拉動科技進步,、保障**安全等方面都發(fā)揮著關(guān)鍵作用。微納加工技術(shù)的基本手段包括微納加工方法與材料科學方法兩種,。很顯然,，微納加工技術(shù)與微電子工藝技術(shù)有密切關(guān)系?；葜莞呔任⒓{加工