高速率磁控濺射本質(zhì)特點(diǎn)是產(chǎn)生大量的濺射粒子,，導(dǎo)致較高的沉積速率,。實(shí)驗(yàn)表明在較大的靶源密度在高速濺射,，靶的濺射和局部蒸發(fā)同時(shí)發(fā)生,，兩種過(guò)程的結(jié)合保證了較大的沉積速率（幾μm/min）并導(dǎo)致薄膜的結(jié)構(gòu)發(fā)生變化,。與通常的磁控濺射比較,，高速濺射和自濺射的特點(diǎn)在于較高的靶功率密度Wt=Pd/S>50Wcm-2,，（Pd為磁控靶功率,，S為靶表面積）,。高速濺射有一定的限制,，因此在特殊的環(huán)境才能保持高速濺射，如足夠高的靶源密度,，靶材足夠的產(chǎn)額和濺射氣體壓力,，并且要獲得較大氣體的離化率,。較大限制高速沉積薄膜的是濺射靶的冷卻。磁控濺射的優(yōu)點(diǎn)：基板有低溫性,。相對(duì)于二級(jí)濺射和熱蒸發(fā)來(lái)說(shuō),，磁控濺射加熱少。天津多層磁控濺射要多少錢(qián)

磁控濺射鍍膜注意事項(xiàng)：1,、輻射:有些鍍膜要用到射頻電源,如功率大,需做好屏蔽處理.另外,歐洲標(biāo)準(zhǔn)在單室鍍膜機(jī)門(mén)框四周嵌裝金屬線屏蔽輻射;2,、金屬污染:鍍膜材料有些(如鉻、銦,、鋁)是對(duì)人體有害的,特別要注意真空室清理過(guò)程中出現(xiàn)的粉塵污染;3,、噪音污染:如特別是一些大的鍍膜設(shè)備,機(jī)械真空泵噪音很大,可以把泵隔離在墻外;4、光污染:離子鍍膜過(guò)程中,氣體電離發(fā)出強(qiáng)光,不宜透過(guò)觀察窗久看.磁控濺射鍍膜的產(chǎn)品特點(diǎn),。磁控濺射鍍膜的適用范圍：1,、建材及民用工業(yè)中；2,、在鋁合金制品裝飾中的應(yīng)用；3,、高級(jí)產(chǎn)品零/部件表面的裝飾鍍中的應(yīng)用,；4、在不銹鋼刀片涂層技術(shù)中的應(yīng)用,；5,、在玻璃深加工產(chǎn)業(yè)中的應(yīng)用。福建高質(zhì)量磁控濺射優(yōu)點(diǎn)磁控濺射法實(shí)現(xiàn)了高速,、低溫,、低損傷。

磁控濺射粉體鍍膜技術(shù)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了銀包銅粉,、銀包鋁粉,、鋁包硅粉等多種微納米級(jí)粉體的量產(chǎn).由該技術(shù)得到的功能性復(fù)合粉體具有優(yōu)異的分散性,鍍層均勻度較高,鍍層與粉體的結(jié)合緊密度較高。磁控濺射鍍膜可以賦予超細(xì)粉體新的特性,例如在微米級(jí)二氧化硅表面鍍鋁,得到的復(fù)合粉體不但具有良好的分散性,好具有優(yōu)異的光學(xué)性能,可以作為一種特殊效果顏料用于高級(jí)塑料制品加工中.相較于傳統(tǒng)的鋁粉顏料,該特殊效果顏料不但有效改善了塑料制品的注塑缺陷(流痕\熔接線),還使得制品外觀質(zhì)感更加高級(jí),。

磁控濺射靶材的分類(lèi)：根據(jù)材料的成分不同,，靶材可分為金屬靶材、合金靶材,、無(wú)機(jī)非金屬靶材等,。其中無(wú)機(jī)非金屬靶材又可分為氧化物、硅化物,、氮化物和氟化物等不同種類(lèi)靶材,。根據(jù)幾何形狀的不同，靶材可分為長(zhǎng)（正）方體形靶材,、圓柱體靶材和不規(guī)則形狀靶材,；此外,，靶材還可以分為實(shí)心和空心兩種類(lèi)型靶材。目前靶材較常用的分類(lèi)方法是根據(jù)靶材應(yīng)用領(lǐng)域進(jìn)行劃分,，主要包括半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用靶材,、記錄介質(zhì)應(yīng)用靶材、顯示薄膜應(yīng)用靶材,、光學(xué)靶材,、超導(dǎo)靶材等。其中半導(dǎo)體領(lǐng)域用靶材,、記錄介質(zhì)用靶材和顯示靶材是市場(chǎng)需求規(guī)模較大的三類(lèi)靶材,。磁控濺射可以分為直流磁控濺射法和射頻磁控濺射法。

磁控濺射鍍膜就是在真空中利用荷能粒子轟擊靶表面,，使被轟擊出的粒子沉積在基片上的技術(shù),。通常，利用低壓惰性氣體輝光放電來(lái)產(chǎn)生入射離子,。陰極靶由鍍膜材料制成,，基片作為陽(yáng)極，真空室中通入0.1-10Pa的氬氣或其它惰性氣體,，在陰極（靶）1-3KV直流負(fù)高壓或13.56MHz的射頻電壓作用下產(chǎn)生輝光放電,。電離出的氬離子轟擊靶表面，使得靶原子濺出并沉積在基片上,，形成薄膜,。濺射方法很多，主要有二級(jí)濺射,、三級(jí)或四級(jí)濺射,、磁控濺射、對(duì)靶濺射,、射頻濺射,、偏壓濺射、非對(duì)稱交流射頻濺射,、離子束濺射以及反應(yīng)濺射等,。磁控濺射鍍膜的適用范圍：高級(jí)產(chǎn)品零/部件表面的裝飾鍍中的應(yīng)用。反應(yīng)磁控濺射技術(shù)

反應(yīng)磁控濺射普遍應(yīng)用于化合物薄膜的大批量生產(chǎn),。天津多層磁控濺射要多少錢(qián)

脈沖磁控濺射工作原理：在一個(gè)周期內(nèi)存在正電壓和負(fù)電壓兩個(gè)階段,，在負(fù)電壓段，電源工作于靶材的濺射,，正電壓段,，引入電子中和靶面累積的正電荷，并使表面清潔,，裸露出金屬表面,。加在靶材上的脈沖電壓與一般磁控濺射相同!為400~500V,電源頻率在10~350KHz,，在保證穩(wěn)定放電的前提下，應(yīng)盡可能取較低的頻率#由于等離子體中的電子相對(duì)離子具有更高的能動(dòng)性,，因此正電壓值只需要是負(fù)電壓的10%~20%,，就可以有效中和靶表面累積的正電荷。占空比的選擇在保證濺射時(shí)靶表面累積的電荷能在正電壓階段被完全中和的前提下,，盡可能提高占空,，以實(shí)現(xiàn)電源的較大效率。天津多層磁控濺射要多少錢(qián)