微納加工技術(shù)是先進(jìn)制造的重要組成部分,，是衡量國(guó)家高級(jí)制造業(yè)水平的標(biāo)志之一,，具有多學(xué)科交叉性和制造要素極端性的特點(diǎn)，在推動(dòng)科技進(jìn)步,、促進(jìn)產(chǎn)業(yè)發(fā)展、拉動(dòng)科技進(jìn)步,、保障**安全等方面都發(fā)揮著關(guān)鍵作用,。微納加工技術(shù)的基本手段包括微納加工方法與材料科學(xué)方法兩種。比較顯然,，微納加工技術(shù)與微電子工藝技術(shù)有密切關(guān)系,。微納加工大致可以分為“自上而下”和“自下而上”兩類?！白陨隙隆笔菑暮暧^對(duì)象出發(fā),，以光刻工藝為基礎(chǔ)，對(duì)材料或原料進(jìn)行加工,，較小結(jié)果尺寸和精度通常由光刻或刻蝕環(huán)節(jié)的分辨力決定,。“自下而上”技術(shù)則是從微觀世界出發(fā),，通過(guò)控制原子,、分子和其他納米對(duì)象的相互作用力將各種單元構(gòu)建在一起,，形成微納結(jié)構(gòu)與器件。在過(guò)去的幾年中,，全球各地的研究機(jī)構(gòu)和大學(xué)已開始集中研究微觀和納米尺度現(xiàn)象,、器件和系統(tǒng)。樂山微納加工價(jià)目

在微納加工過(guò)程中,，薄膜的形成方法主要為物理沉積,、化學(xué)沉積和混合方法沉積。蒸發(fā)沉積（熱蒸發(fā),、電子束蒸發(fā)）和濺射沉積是典型的物理方法,，主要用于沉積金屬單質(zhì)薄膜、合金薄膜,、化合物等,。熱蒸發(fā)是在高真空下，利用電阻加熱至材料的熔化溫度,，使其蒸發(fā)至基底表面形成薄膜,，而電子束蒸發(fā)為使用電子束加熱；磁控濺射在高真空,，在電場(chǎng)的作用下,，Ar氣被電離為Ar離子高能量轟擊靶材，使靶材發(fā)生濺射并沉積于基底,；磁控濺射方法沉積的薄膜純度高,、致密性好，熱蒸發(fā)主要用于沉積低熔點(diǎn)金屬薄膜或者厚膜,；化學(xué)氣相沉積（CVD）是典型的化學(xué)方法而等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）是物理與化學(xué)相結(jié)合的混合方法,，CVD和PECVD主要用于生長(zhǎng)氮化硅、氧化硅等介質(zhì)膜,。樂山微納加工價(jià)目微納加工平臺(tái)主要提供微納加工技術(shù)工藝,。

微納制造包括微制造和納制造兩個(gè)方面。(1)微制造有兩種不同的微制造工藝方式,，一種是基于半導(dǎo)體制造工藝的光刻技術(shù),、LIGA技術(shù)、鍵合技術(shù),、封裝技術(shù)等,，這些工藝技術(shù)方法較為成熟，但普遍存在加工材料單一,、加工設(shè)備昂貴等問題,，且只能加工結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的二維或準(zhǔn)三維微機(jī)械零件，無(wú)法進(jìn)行復(fù)雜的三維微機(jī)械零件的加工,；另一種是機(jī)械微加工,，是指采用機(jī)械加工,、特種加工及其他成形技術(shù)等傳統(tǒng)加工技術(shù)形成的微加工技術(shù)，可進(jìn)行三維復(fù)雜曲面零件的加工,，加工材料不受限制，包括微細(xì)磨削,、微細(xì)車削,、微細(xì)銑削、微細(xì)鉆削,、微沖壓,、微成形等。(2)納制造納制造是指具有特定功能的納米尺度的結(jié)構(gòu),、器件和系統(tǒng)的制造技術(shù),，包括納米壓印技術(shù)、刻劃技術(shù),、原子操縱技術(shù)等,。

微納制造技術(shù)的發(fā)展，同樣涉及到科研體系問題,。嚴(yán)格意義上來(lái)說(shuō),，科研分為三個(gè)領(lǐng)域，一個(gè)是基礎(chǔ)研究領(lǐng)域,，一個(gè)是工程化應(yīng)用領(lǐng)域,，一個(gè)是市場(chǎng)推廣領(lǐng)域。在發(fā)達(dá)國(guó)家的科研機(jī)制中,。幾乎所有的基礎(chǔ)研究領(lǐng)域都是由國(guó)家或機(jī)構(gòu)直接或間接支持的,。這種基礎(chǔ)研究較看重的是對(duì)于國(guó)家、民生或**的長(zhǎng)遠(yuǎn)意義．而不是短期內(nèi)的投入與產(chǎn)出,。因而致力于基礎(chǔ)研究的機(jī)構(gòu)或者人員,。根本不用考慮研究的所謂“市場(chǎng)化”問題。而只是進(jìn)行基礎(chǔ),、理論的研究,。另一方面。工程化應(yīng)用領(lǐng)域由專門的機(jī)構(gòu)或職能部門負(fù)責(zé),，這些部門從應(yīng)用領(lǐng)域,、生產(chǎn)領(lǐng)域、制造領(lǐng)域抽調(diào)**,、學(xué)者及相關(guān)專業(yè)人員,，對(duì)基礎(chǔ)研究的市場(chǎng)應(yīng)用前景進(jìn)行分析，并提出可行性建議,，末尾由市場(chǎng)或企業(yè)來(lái)進(jìn)行工程化應(yīng)用研究,。末尾市場(chǎng)化推廣的問題自然是企業(yè)來(lái)做了,。中國(guó)的高校和研究機(jī)構(gòu)，做純理念和純基礎(chǔ)的并不多,，中國(guó)大多是工程性項(xiàng)目研究,。其理想模式為高校、研究所,、企業(yè)三結(jié)合狀態(tài),，各司其職，各負(fù)其責(zé),。微納技術(shù)是繼JT,、生物之后。21世紀(jì)較具發(fā)展?jié)摿Φ母咝录夹g(shù),，是未來(lái)十年高增長(zhǎng)的新興產(chǎn)業(yè),。微納加工設(shè)備主要有：光刻、刻蝕,、成膜,、離子注入、晶圓鍵合等,。

    光刻是半導(dǎo)體制造中常用的技術(shù)之一,，是現(xiàn)代光電子器件制造的基礎(chǔ)。實(shí)際應(yīng)用中存在兩個(gè)主要挑戰(zhàn)：一是與FIB和EBL相比,，分辨率還不夠高,；二是由于直接的激光寫入器逐點(diǎn)生成圖案，因此吞吐量是一個(gè)很大的挑戰(zhàn),。對(duì)于上述兩個(gè)挑戰(zhàn)：分辨率方面,，一是可以通過(guò)原子力顯微鏡（AFM）或掃描近場(chǎng)顯微鏡（SNOM）等近場(chǎng)技術(shù)來(lái)提高，二是可以通過(guò)使用短波長(zhǎng)光源來(lái)提高,，三是可以通過(guò)非線性吸收實(shí)現(xiàn)超分辨率成像或制造,；制造速度方面，除了工程學(xué)方法外,，隨著激光技術(shù)的發(fā)展,，主要是提出了包括自組裝微球激光加工、激光干涉光刻,、多焦陣列激光直寫等并行激光加工方法來(lái)提高制造速度,。并行激光加工技術(shù)可以將二維加工技術(shù)擴(kuò)展到三維加工，為未來(lái)微納加工技術(shù)的發(fā)展提供新的方向,；同時(shí)可以地廣泛應(yīng)用于傳感,、太陽(yáng)能電池和超材料領(lǐng)域的表面處理和功能器件制造，對(duì)生物醫(yī)學(xué)器件制造、光通信,、傳感,、以及光譜學(xué)等領(lǐng)域得發(fā)展研究具有重要意義。 在微納加工過(guò)程中,，蒸發(fā)沉積和濺射沉積是典型的物理方法,，主要用于沉積金屬單質(zhì)薄膜、合金薄膜,、化合物等,。樂山微納加工價(jià)目

微納制造技術(shù)是指尺度為毫米、微米和納米量級(jí)的零件,。樂山微納加工價(jià)目

“納米制造”路線圖強(qiáng)調(diào)了未來(lái)納米表面制造的發(fā)展。問卷調(diào)查探尋了納米表面制備所面臨的機(jī)遇,。調(diào)查中提出的問題旨在獲取納米表面特征的相關(guān)信息：這種納米表面結(jié)構(gòu)可以是形貌化,、薄膜化的改良表面區(qū)域，也可以是具有相位調(diào)制或一定晶粒尺寸的涂層,。這類結(jié)構(gòu)構(gòu)建于眾多固體材料表面,，如金屬、陶瓷,、玻璃,、半導(dǎo)體和聚合物等?？偨Y(jié)了調(diào)查結(jié)果與發(fā)現(xiàn),，并闡明了未來(lái)納米表面制造的前景。納米表面可產(chǎn)生自材料的消解,、沉積,、改性或形成過(guò)程。這導(dǎo)致制備出的納米表面帶有納米尺度所特有的新的化學(xué),、物理和生物特性（比如催化作用,、磁性質(zhì)、電性質(zhì),、光學(xué)性質(zhì)或抗細(xì)菌性）,。在納米科學(xué)許多已有的和新興的子領(lǐng)域中，表面工程已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了從基礎(chǔ)科學(xué)向現(xiàn)實(shí)應(yīng)用的轉(zhuǎn)變,，比如材料科學(xué),、光學(xué)、微電子學(xué),、動(dòng)力工程學(xué),、傳感系統(tǒng)和生物工程學(xué)等。在改進(jìn)和簡(jiǎn)化生產(chǎn)過(guò)程方面，還需要做許多工作才能降低***納米表面的生產(chǎn)成本,?？芍貜?fù)性、尺寸形狀的控制,、均勻性以及結(jié)構(gòu)的魯棒性等,，都是工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中必須要考慮的關(guān)鍵參數(shù)。樂山微納加工價(jià)目