“納米制造”路線圖強(qiáng)調(diào)了未來納米表面制造的發(fā)展,。問卷調(diào)查探尋了納米表面制備所面臨的機(jī)遇,。調(diào)查中提出的問題旨在獲取納米表面特征的相關(guān)信息：這種納米表面結(jié)構(gòu)可以是形貌化、薄膜化的改良表面區(qū)域,，也可以是具有相位調(diào)制或一定晶粒尺寸的涂層,。這類結(jié)構(gòu)構(gòu)建于眾多固體材料表面，如金屬,、陶瓷,、玻璃、半導(dǎo)體和聚合物等,?？偨Y(jié)了調(diào)查結(jié)果與發(fā)現(xiàn)，并闡明了未來納米表面制造的前景,。納米表面可產(chǎn)生自材料的消解,、沉積、改性或形成過程,。這導(dǎo)致制備出的納米表面帶有納米尺度所特有的新的化學(xué),、物理和生物特性（比如催化作用、磁性質(zhì),、電性質(zhì),、光學(xué)性質(zhì)或抗細(xì)菌性）。在納米科學(xué)許多已有的和新興的子領(lǐng)域中,，表面工程已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了從基礎(chǔ)科學(xué)向現(xiàn)實(shí)應(yīng)用的轉(zhuǎn)變,，比如材料科學(xué)、光學(xué),、微電子學(xué),、動(dòng)力工程學(xué),、傳感系統(tǒng)和生物工程學(xué)等。在改進(jìn)和簡(jiǎn)化生產(chǎn)過程方面,，還需要做許多工作才能降低***納米表面的生產(chǎn)成本,。可重復(fù)性,、尺寸形狀的控制,、均勻性以及結(jié)構(gòu)的魯棒性等，都是工業(yè)生產(chǎn)過程中必須要考慮的關(guān)鍵參數(shù),。微納加工技術(shù)的特點(diǎn)MEMS技術(shù)適合批量生產(chǎn),。咸陽(yáng)微納加工工藝

微納加工氧化工藝是在高溫下，襯底的硅直接與O2發(fā)生反應(yīng)生成SiO2,，后續(xù)O2通過SiO2層擴(kuò)散到Si/SiO2界面,，繼續(xù)與Si發(fā)生反應(yīng)增加SiO2薄膜的厚度，生成1個(gè)單位厚度的SiO2薄膜,，需要消耗0.445單位厚度的Si襯底,；相對(duì)CVD工藝而言，氧化工藝可以制作更加致密的SiO2薄膜,，有利于與其他材料制作更加牢固可靠的結(jié)構(gòu)層,，提高M(jìn)EMS器件的可靠性。同時(shí)致密的SiO2薄膜有利于提高與其它材料的濕法刻蝕選擇比,，提高刻蝕加工精度,，制作更加精密的MEMS器件。同時(shí)氧化工藝一般采用傳統(tǒng)的爐管設(shè)備來制作,，成本低,，產(chǎn)量大，一次作業(yè)100片以上,，SiO2薄膜一致性也可以做到更高+/-3%以內(nèi),。福州量子微納加工微納加工技術(shù)具有高精度、科技含量高,、產(chǎn)品附加值高等特點(diǎn),。

納秒和飛秒之間,皮秒激光微納加工應(yīng)用獨(dú)具優(yōu)勢(shì)！與傳統(tǒng)的微納加工技術(shù)相比,，激光微納加工具有如下獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)：非接觸加工不損壞工具,、能量可調(diào)、加工方式靈活,、可實(shí)現(xiàn)柔性加工等,。其中全固態(tài)皮秒激光具有極窄的脈沖寬度(皮秒)、極高的峰值功率(兆瓦)以及優(yōu)異的光束質(zhì)量，被廣泛應(yīng)用于各種金屬,、非金屬材料的精密加工,。研究表明，脈沖寬度高于10ps的皮秒激光加工過程中有明顯的熱效應(yīng)存在,，而且隨著激光與材料作用時(shí)間的增加,，工件表面會(huì)產(chǎn)生微裂紋以及再鑄層；脈沖寬度低于5ps的皮秒激光與材料作用時(shí)會(huì)產(chǎn)生非線性效應(yīng),，這對(duì)金屬材料的加工非常不利,。因此，適合微納精密加工用的皮秒激光的脈沖寬度在5~10ps之間,。為了提高加工效率,，重復(fù)頻率一般設(shè)定在十萬赫茲量級(jí)，而平均功率則根據(jù)所加工材料的燒蝕閾值而定,。

微流控芯片是在普通毛細(xì)管電泳的基本原理和技術(shù)的基礎(chǔ)上,，利用微加工技術(shù)在硅、石英,、玻璃或高分子聚合物基質(zhì)材料上加工出各種微細(xì)結(jié)構(gòu),，如管道、反應(yīng)池,、電極之類的功能單元,，完成生物和化學(xué)等領(lǐng)域中所涉及的樣品制備,、生化反應(yīng),、處理（混合、過濾,、稀釋）,、分離檢測(cè)等一系列任務(wù)，具有快速,、高效,、低耗、分析過程自動(dòng)化和應(yīng)用范圍廣等特點(diǎn)的微型分析實(shí)驗(yàn)裝置,。目前已成為微全分析系統(tǒng)（micrototalanalysissystems,μ-TAS）和芯片實(shí)驗(yàn)室（labonachip）的發(fā)展重點(diǎn)和前沿領(lǐng)域,。為常見的聚合物微流控芯片形式。近年來,，由于生化分析的復(fù)雜性和多樣性需求,，微流控芯片技術(shù)的發(fā)展愈發(fā)趨于組合化和集成化，在一塊芯片基片上集成多種功能單元成為一種常見形式,，普遍應(yīng)用于醫(yī)學(xué)診斷,、醫(yī)學(xué)分析、藥物篩選、環(huán)境監(jiān)測(cè)和燃料電池技術(shù)等諸多領(lǐng)域,?；诟咄靠焖俜蛛x的需要，多通道陣列并行操作是微流控芯片的發(fā)展的趨勢(shì),，芯片微通道數(shù)量已從較初的12通道,、96通道，發(fā)展到現(xiàn)在的384通道,。微納加工技術(shù)對(duì)現(xiàn)代的生活,、生產(chǎn)產(chǎn)生了巨大的促進(jìn)作用，并催生了一批新興產(chǎn)業(yè),。

    高精度的微細(xì)結(jié)構(gòu)可以通過電子束直寫或激光直寫制作,，這類光刻技術(shù)，像“寫字”一樣,，通過控制聚焦電子束（光束）移動(dòng)書寫圖案進(jìn)行曝光,，具有很高的曝光精度，但這兩種方法制作效率極低,，尤其在大面積制作方面捉襟見肘,，目前直寫光刻技術(shù)適用于小面積的微納結(jié)構(gòu)制作。近年來,，三維浮雕微納結(jié)構(gòu)的需求越來越大,，如閃耀光柵、菲涅爾透鏡,、多臺(tái)階微光學(xué)元件等,。據(jù)悉，蘋果公司新上市的手機(jī)產(chǎn)品中人臉識(shí)別模塊就采用了多臺(tái)階微光學(xué)元件,，以及當(dāng)下如火如荼的無人駕駛技術(shù)中激光雷達(dá)光學(xué)系統(tǒng)也用到了復(fù)雜的微光學(xué)元件,。這類精密的微納結(jié)構(gòu)光學(xué)元件需采用灰度光刻技術(shù)進(jìn)行制作。直寫技術(shù),，通過在光束移動(dòng)過程中進(jìn)行相應(yīng)的曝光能量調(diào)節(jié),，可以實(shí)現(xiàn)良好的灰度光刻能力。 微納制造的加工材料多種多樣,。大連微納加工

在我國(guó),，微納制造技術(shù)同樣是重點(diǎn)發(fā)展方向之一。咸陽(yáng)微納加工工藝

微納制造包括微制造和納制造兩個(gè)方面,。(1)微制造有兩種不同的微制造工藝方式,，一種是基于半導(dǎo)體制造工藝的光刻技術(shù)、LIGA技術(shù),、鍵合技術(shù),、封裝技術(shù)等,，這些工藝技術(shù)方法較為成熟，但普遍存在加工材料單一,、加工設(shè)備昂貴等問題,，且只能加工結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的二維或準(zhǔn)三維微機(jī)械零件，無法進(jìn)行復(fù)雜的三維微機(jī)械零件的加工,；另一種是機(jī)械微加工,，是指采用機(jī)械加工、特種加工及其他成形技術(shù)等傳統(tǒng)加工技術(shù)形成的微加工技術(shù),，可進(jìn)行三維復(fù)雜曲面零件的加工,，加工材料不受限制，包括微細(xì)磨削,、微細(xì)車削,、微細(xì)銑削、微細(xì)鉆削,、微沖壓,、微成形等。(2)納制造納制造是指具有特定功能的納米尺度的結(jié)構(gòu),、器件和系統(tǒng)的制造技術(shù),，包括納米壓印技術(shù)、刻劃技術(shù),、原子操縱技術(shù)等,。咸陽(yáng)微納加工工藝

廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所主營(yíng)品牌有芯辰實(shí)驗(yàn)室,微納加工，發(fā)展規(guī)模團(tuán)隊(duì)不斷壯大,，該公司服務(wù)型的公司,。公司是一家****企業(yè)，以誠(chéng)信務(wù)實(shí)的創(chuàng)業(yè)精神,、專業(yè)的管理團(tuán)隊(duì),、踏實(shí)的職工隊(duì)伍，努力為廣大用戶提供***的產(chǎn)品,。公司業(yè)務(wù)涵蓋微納加工技術(shù)服務(wù)，真空鍍膜技術(shù)服務(wù),，紫外光刻技術(shù)服務(wù),，材料刻蝕技術(shù)服務(wù)，價(jià)格合理,，品質(zhì)有保證,，深受廣大客戶的歡迎。廣東省半導(dǎo)體所自成立以來,，一直堅(jiān)持走正規(guī)化,、專業(yè)化路線,，得到了廣大客戶及社會(huì)各界的普遍認(rèn)可與大力支持。