“納米制造”路線圖強調(diào)了未來納米表面制造的發(fā)展。問卷調(diào)查探尋了納米表面制備所面臨的機遇。調(diào)查中提出的問題旨在獲取納米表面特征的相關信息：這種納米表面結構可以是形貌化,、薄膜化的改良表面區(qū)域，也可以是具有相位調(diào)制或一定晶粒尺寸的涂層,。這類結構構建于眾多固體材料表面，如金屬,、陶瓷,、玻璃、半導體和聚合物等,?？偨Y了調(diào)查結果與發(fā)現(xiàn)，并闡明了未來納米表面制造的前景,。納米表面可產(chǎn)生自材料的消解,、沉積、改性或形成過程,。這導致制備出的納米表面帶有納米尺度所特有的新的化學,、物理和生物特性（比如催化作用、磁性質(zhì),、電性質(zhì),、光學性質(zhì)或抗細菌性）。在納米科學許多已有的和新興的子領域中,，表面工程已經(jīng)實現(xiàn)了從基礎科學向現(xiàn)實應用的轉變,，比如材料科學、光學,、微電子學,、動力工程學、傳感系統(tǒng)和生物工程學等,。在改進和簡化生產(chǎn)過程方面,，還需要做許多工作才能降低***納米表面的生產(chǎn)成本?？芍貜托?、尺寸形狀的控制、均勻性以及結構的魯棒性等,，都是工業(yè)生產(chǎn)過程中必須要考慮的關鍵參數(shù),。微納加工技術的特點MEMS技術適合批量生產(chǎn)。咸陽微納加工工藝

微納加工氧化工藝是在高溫下,，襯底的硅直接與O2發(fā)生反應生成SiO2,，后續(xù)O2通過SiO2層擴散到Si/SiO2界面，繼續(xù)與Si發(fā)生反應增加SiO2薄膜的厚度,，生成1個單位厚度的SiO2薄膜,，需要消耗0.445單位厚度的Si襯底；相對CVD工藝而言,，氧化工藝可以制作更加致密的SiO2薄膜,，有利于與其他材料制作更加牢固可靠的結構層，提高MEMS器件的可靠性,。同時致密的SiO2薄膜有利于提高與其它材料的濕法刻蝕選擇比,，提高刻蝕加工精度，制作更加精密的MEMS器件,。同時氧化工藝一般采用傳統(tǒng)的爐管設備來制作,，成本低，產(chǎn)量大,，一次作業(yè)100片以上,，SiO2薄膜一致性也可以做到更高+/-3%以內(nèi)。福州量子微納加工微納加工技術具有高精度,、科技含量高,、產(chǎn)品附加值高等特點。

納秒和飛秒之間,皮秒激光微納加工應用獨具優(yōu)勢,！與傳統(tǒng)的微納加工技術相比,，激光微納加工具有如下獨特的優(yōu)點：非接觸加工不損壞工具、能量可調(diào),、加工方式靈活,、可實現(xiàn)柔性加工等,。其中全固態(tài)皮秒激光具有極窄的脈沖寬度(皮秒)、極高的峰值功率(兆瓦)以及優(yōu)異的光束質(zhì)量,，被廣泛應用于各種金屬,、非金屬材料的精密加工。研究表明,，脈沖寬度高于10ps的皮秒激光加工過程中有明顯的熱效應存在,，而且隨著激光與材料作用時間的增加，工件表面會產(chǎn)生微裂紋以及再鑄層,；脈沖寬度低于5ps的皮秒激光與材料作用時會產(chǎn)生非線性效應,，這對金屬材料的加工非常不利。因此,，適合微納精密加工用的皮秒激光的脈沖寬度在5~10ps之間,。為了提高加工效率，重復頻率一般設定在十萬赫茲量級,，而平均功率則根據(jù)所加工材料的燒蝕閾值而定,。

微流控芯片是在普通毛細管電泳的基本原理和技術的基礎上，利用微加工技術在硅,、石英,、玻璃或高分子聚合物基質(zhì)材料上加工出各種微細結構，如管道,、反應池,、電極之類的功能單元，完成生物和化學等領域中所涉及的樣品制備,、生化反應,、處理（混合、過濾,、稀釋）,、分離檢測等一系列任務，具有快速,、高效,、低耗、分析過程自動化和應用范圍廣等特點的微型分析實驗裝置,。目前已成為微全分析系統(tǒng)（micrototalanalysissystems,μ-TAS）和芯片實驗室（labonachip）的發(fā)展重點和前沿領域,。為常見的聚合物微流控芯片形式。近年來,，由于生化分析的復雜性和多樣性需求,，微流控芯片技術的發(fā)展愈發(fā)趨于組合化和集成化，在一塊芯片基片上集成多種功能單元成為一種常見形式,，普遍應用于醫(yī)學診斷,、醫(yī)學分析,、藥物篩選、環(huán)境監(jiān)測和燃料電池技術等諸多領域,?；诟咄靠焖俜蛛x的需要，多通道陣列并行操作是微流控芯片的發(fā)展的趨勢,，芯片微通道數(shù)量已從較初的12通道,、96通道,，發(fā)展到現(xiàn)在的384通道,。微納加工技術對現(xiàn)代的生活、生產(chǎn)產(chǎn)生了巨大的促進作用,，并催生了一批新興產(chǎn)業(yè),。

    高精度的微細結構可以通過電子束直寫或激光直寫制作，這類光刻技術,，像“寫字”一樣,，通過控制聚焦電子束（光束）移動書寫圖案進行曝光，具有很高的曝光精度,，但這兩種方法制作效率極低,，尤其在大面積制作方面捉襟見肘，目前直寫光刻技術適用于小面積的微納結構制作,。近年來,，三維浮雕微納結構的需求越來越大，如閃耀光柵,、菲涅爾透鏡,、多臺階微光學元件等。據(jù)悉,，蘋果公司新上市的手機產(chǎn)品中人臉識別模塊就采用了多臺階微光學元件,，以及當下如火如荼的無人駕駛技術中激光雷達光學系統(tǒng)也用到了復雜的微光學元件。這類精密的微納結構光學元件需采用灰度光刻技術進行制作,。直寫技術,，通過在光束移動過程中進行相應的曝光能量調(diào)節(jié)，可以實現(xiàn)良好的灰度光刻能力,。 微納制造的加工材料多種多樣,。大連微納加工

在我國，微納制造技術同樣是重點發(fā)展方向之一,。咸陽微納加工工藝

微納制造包括微制造和納制造兩個方面,。(1)微制造有兩種不同的微制造工藝方式，一種是基于半導體制造工藝的光刻技術,、LIGA技術,、鍵合技術,、封裝技術等，這些工藝技術方法較為成熟,，但普遍存在加工材料單一,、加工設備昂貴等問題，且只能加工結構簡單的二維或準三維微機械零件,，無法進行復雜的三維微機械零件的加工,；另一種是機械微加工，是指采用機械加工,、特種加工及其他成形技術等傳統(tǒng)加工技術形成的微加工技術,，可進行三維復雜曲面零件的加工，加工材料不受限制,，包括微細磨削,、微細車削、微細銑削,、微細鉆削,、微沖壓、微成形等,。(2)納制造納制造是指具有特定功能的納米尺度的結構,、器件和系統(tǒng)的制造技術，包括納米壓印技術,、刻劃技術,、原子操縱技術等。咸陽微納加工工藝

廣東省科學院半導體研究所主營品牌有芯辰實驗室,微納加工,，發(fā)展規(guī)模團隊不斷壯大,，該公司服務型的公司。公司是一家****企業(yè),，以誠信務實的創(chuàng)業(yè)精神,、專業(yè)的管理團隊、踏實的職工隊伍,，努力為廣大用戶提供***的產(chǎn)品,。公司業(yè)務涵蓋微納加工技術服務，真空鍍膜技術服務,，紫外光刻技術服務,，材料刻蝕技術服務，價格合理,，品質(zhì)有保證,，深受廣大客戶的歡迎。廣東省半導體所自成立以來,，一直堅持走正規(guī)化,、專業(yè)化路線,，得到了廣大客戶及社會各界的普遍認可與大力支持。