微納制造技術(shù)屬國際前沿技術(shù),，作為未來制造業(yè)賴以生存的基礎(chǔ)和可持續(xù)發(fā)展的關(guān)鍵,，其研發(fā)和應(yīng)用標(biāo)志著人類可以在微,、納米尺度認識和改造世界,。以聚合物為基礎(chǔ)材料的微納系統(tǒng)在整個微納系統(tǒng)中占有極其重要地位，是較具產(chǎn)業(yè)化開發(fā)前景的微納系統(tǒng)之一,，聚合物微納制造技術(shù)也已經(jīng)開始得到應(yīng)用并具有極大的發(fā)展空間,。集中介紹了多種典型聚合物微納器件及系統(tǒng)，并對微注塑成型,、微擠出成型和微納壓印成型等聚合物微納制造技術(shù)進行了系統(tǒng)的闡述,，比較了各種聚合物微納制造技術(shù)的優(yōu)缺點和使用條件。末尾,，結(jié)合國內(nèi)外研究人員的研究成果，對聚合物微納制造技術(shù)的未來發(fā)展做出展望,。微納檢測主要是表征檢測：原子力顯微鏡,、掃描電鏡、掃聲波掃描顯微鏡,、白光干涉儀,、臺階儀等。濟寧微納加工

    微納加工-薄膜沉積與摻雜工藝,。在微納加工過程中,，薄膜的形成方法主要為物理沉積、化學(xué)沉積和混合方法沉積,。蒸發(fā)沉積（熱蒸發(fā),、電子束蒸發(fā)）和濺射沉積是典型的物理方法，主要用于沉積金屬單質(zhì)薄膜,、合金薄膜,、化合物等。熱蒸發(fā)是在高真空下,，利用電阻加熱至材料的熔化溫度,，使其蒸發(fā)至基底表面形成薄膜，而電子束蒸發(fā)為使用電子束加熱,；磁控濺射在高真空,，在電場的作用下，Ar氣被電離為Ar離子高能量轟擊靶材，使靶材發(fā)生濺射并沉積于基底,；磁控濺射方法沉積的薄膜純度高,、致密性好，熱蒸發(fā)主要用于沉積低熔點金屬薄膜或者厚膜,；化學(xué)氣相沉積（CVD）是典型的化學(xué)方法而等離子體增強化學(xué)氣相沉積（PECVD）是物理與化學(xué)相結(jié)合的混合方法,，CVD和PECVD用于生長氮化硅、氧化硅等介質(zhì)膜,。真空蒸鍍,，簡稱蒸鍍，是指在真空條件下,，采用一定的加熱蒸發(fā)方式蒸發(fā)鍍膜材料（或稱膜料）并使之氣化,，粒子飛至基片表面凝聚成膜的工藝方法。蒸鍍是使用較早,、用途較廣的氣相沉積技術(shù),，具有成膜方法簡單、薄膜純度和致密性高,、膜結(jié)構(gòu)和性能獨特等優(yōu)點,。 漯河MENS微納加工微納制造技術(shù)是微傳感器、微執(zhí)行器,、微結(jié)構(gòu)和功能微納系統(tǒng)制造的基本手段和重要基礎(chǔ),。

通過在聚合物表面構(gòu)造微納米尺度結(jié)構(gòu)及其陣列，可以得到聚合物微納結(jié)構(gòu)制件,，不同種類的微納結(jié)構(gòu)賦予聚合物制件許多特殊的功能,。如具有微槽流道的微流控生物芯片；具有微納透鏡陣列的光學(xué)元件,，如導(dǎo)光板,、偏光板等；具有仿生微結(jié)構(gòu)的疏水薄膜以及具有高深寬比V槽結(jié)構(gòu)的微結(jié)構(gòu)換熱器等,。上述微結(jié)構(gòu)制件在生物醫(yī)學(xué)分析,、藥物開發(fā)、無痛給藥,、微反應(yīng)過程,、LCD顯示器關(guān)鍵光學(xué)材料、高效換熱等場合發(fā)揮了重要的作用,。隨著聚合物成型方法的不斷成熟與發(fā)展,，聚合物微結(jié)構(gòu)器件的種類和應(yīng)用范圍也隨之豐富與擴大。

聚合物等溫微納米熱壓印技術(shù)同時適用于結(jié)晶型聚合物和非晶型聚合物,，研究人員分別選用PP和PMMA作為兩類聚合物的象征,，對較優(yōu)加工工藝及其內(nèi)在成型機理展開探索,。結(jié)果表明，對PMMA等非晶型聚合物而言,，模具溫度設(shè)定在Tg附近即可獲得成型效果優(yōu)異的微納結(jié)構(gòu)制品,；在加工PP等結(jié)晶型聚合物時，模具溫度則應(yīng)設(shè)置在Tm以下40~60℃的溫度區(qū)間內(nèi),。利用聚合物等溫微納米熱壓印技術(shù)制得的微納結(jié)構(gòu)制品結(jié)構(gòu)穩(wěn)定,，微納結(jié)構(gòu)一致性高且成型效率高。目前,，聚合物等溫微納米壓印方法的相關(guān)中心技術(shù)已申請國家發(fā)明專利和PCT國際專利,。相信在全球范圍內(nèi)的微納制造技術(shù)研發(fā)大潮中，聚合物等溫微納米熱壓印技術(shù)的出現(xiàn)會為研究人員提供新的靈感和動力,。機械微加工是微納制造中較方便,，也較接近傳統(tǒng)材料加工方式的微成型技術(shù)。

基于掩模板圖形傳遞的光刻工藝可制作宏觀尺寸的微細結(jié)構(gòu),，受光學(xué)衍射的極限,，適用于微米以上尺度的微細結(jié)構(gòu)制作，部分優(yōu)化的光刻工藝可能具有亞微米的加工能力,。例如,，接觸式光刻的分辨率可能到達0.5μm，采用深紫外曝光光源可能實現(xiàn)0.1μm,。但利用這種光刻技術(shù)實現(xiàn)宏觀面積的納米/亞微米圖形結(jié)構(gòu)的制作是可欲而不可求的,。近年來，國內(nèi)外很多學(xué)者相繼提出了超衍射極限光刻技術(shù),、周期減小光刻技術(shù)等，力求通過曝光光刻技術(shù)實現(xiàn)大面積的亞微米結(jié)構(gòu)制作,，但這類新型的光刻技術(shù)尚處于實驗室研究階段,。大部份的濕刻蝕液均是各向同性的，換言之,，對刻蝕接觸點之任何方向腐蝕速度并無明顯差異,。漯河MENS微納加工

新一代微納制造系統(tǒng)應(yīng)滿足的要求：能生產(chǎn)多種多樣高度復(fù)雜的微納產(chǎn)品。濟寧微納加工

當(dāng)前納米制造技術(shù)在環(huán)境友好方面有望大展身手的一些領(lǐng)域：1,、照明：對于傳統(tǒng)的白熾光源來說,，LEDs是一種高效能的替代，納米技術(shù)可用來開發(fā)更多新的光源,。2,、發(fā)動機/燃料效率：采用納米顆粒燃料添加劑能夠減少柴油機的能耗并改善局部空氣質(zhì)量。微納材料也用來改善飛機渦輪葉片的熱阻性能,，使得發(fā)動機可以在更高的溫度下繼續(xù)運轉(zhuǎn),，進而提高整個發(fā)動機的效率。3、減重：新型較強度復(fù)合材料能夠減輕材料的重量,。未來的目標(biāo)包括：在金屬合金和塑料中摻雜納米管來減少飛機的重量,；改進橡膠配方中摻雜入輪胎的納米顆粒；利用通過納米技術(shù)制得的汽車等的催化式排氣凈化器優(yōu)化車內(nèi)燃料的燃燒過程,。濟寧微納加工

廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所一直專注于面向半導(dǎo)體光電子器件,、功率電子器件、MEMS,、生物芯片等前沿領(lǐng)域,，致力于打造***的公益性、開放性,、支撐性樞紐中心,。平臺擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線,，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸）,，同時形成了一支與硬件有機結(jié)合的專業(yè)人才隊伍。平臺當(dāng)前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務(wù),，面向國內(nèi)外高校,、科研院所以及企業(yè)提供開放共享，為技術(shù)咨詢,、創(chuàng)新研發(fā),、技術(shù)驗證以及產(chǎn)品中試提供支持。,，是一家電子元器件的企業(yè),，擁有自己**的技術(shù)體系。公司目前擁有較多的高技術(shù)人才,，以不斷增強企業(yè)重點競爭力,，加快企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新，實現(xiàn)穩(wěn)健生產(chǎn)經(jīng)營,。誠實,、守信是對企業(yè)的經(jīng)營要求，也是我們做人的基本準(zhǔn)則,。公司致力于打造***的微納加工技術(shù)服務(wù),，真空鍍膜技術(shù)服務(wù)，紫外光刻技術(shù)服務(wù),，材料刻蝕技術(shù)服務(wù),。公司深耕微納加工技術(shù)服務(wù)，真空鍍膜技術(shù)服務(wù),，紫外光刻技術(shù)服務(wù),，材料刻蝕技術(shù)服務(wù),，正積蓄著更大的能量，向更廣闊的空間,、更寬泛的領(lǐng)域拓展,。