2012年北京工業(yè)大學(xué)Duan等使用課題組自行研制的皮秒激光器對(duì)金屬鉬,、鈦和不銹鋼進(jìn)行了精密制孔研究,，并利用旋切制孔方式對(duì)厚度為0.3mm的金屬鉬實(shí)現(xiàn)了孔徑?小于200μm的微孔加工,，利用螺旋制孔方式在厚度為1mm不銹鋼上實(shí)現(xiàn)了孔徑為200μm的制孔效果,。實(shí)驗(yàn)指出大口徑微孔加工應(yīng)采用旋切制孔方式，而加工較小口徑時(shí)則更宜選用螺旋制孔方式,。皮秒激光精密微孔加工過(guò)程中,，對(duì)于厚度較小的材料(d<1μm)，由于激光與材料作用的時(shí)間較短,，以采用高峰值功率,、窄脈寬的激光為宜，而對(duì)于厚度在百微米甚至超過(guò)1mm的金屬材料的微孔加工,，除了要考慮激光峰值功率以及脈沖寬度外,，選擇合適的制孔方式是必要的。此外,，根據(jù)材料結(jié)構(gòu)的不同還應(yīng)該選擇是否采用偏振輸出等因素,。微納制造的加工材料多種多樣。衢州鍍膜微納加工

      刻蝕工藝：是在半導(dǎo)體工藝,，按照掩模圖形或設(shè)計(jì)要求對(duì)半導(dǎo)體襯底表面或表面覆蓋薄膜進(jìn)行選擇性腐蝕或剝離的技術(shù),。刻蝕技術(shù)不僅是半導(dǎo)體器件和集成電路的基本制造工藝,，而且還應(yīng)用于薄膜電路,、印刷電路和其他微細(xì)圖形的加工,?？涛g還可分為濕法刻蝕和干法刻蝕。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所微納加工平臺(tái),，面向半導(dǎo)體光電子器件,、功率電子器件、MEMS,、生物芯片等前沿領(lǐng)域,，致力于打造高質(zhì)量檔次的公益性、開(kāi)放性,、支撐性樞紐中心,。平臺(tái)擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備,，建立了一條實(shí)驗(yàn)室研發(fā)線和一條中試線，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸）,，同時(shí)形成了一支與硬件有機(jī)結(jié)合的專業(yè)人才隊(duì)伍,。平臺(tái)當(dāng)前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務(wù)，面向國(guó)內(nèi)外高校,、科研院所以及企業(yè)提供開(kāi)放共享,，為技術(shù)咨詢、創(chuàng)新研發(fā),、技術(shù)驗(yàn)證以及產(chǎn)品中試提供技術(shù)支持,。樂(lè)山微納加工工藝微納制造技術(shù)屬國(guó)際前沿技術(shù)，作為未來(lái)制造業(yè)賴以生存的基礎(chǔ)和可持續(xù)發(fā)展的關(guān)鍵,。

   廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所致力于推動(dòng)微納加工技術(shù)的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化,，為歐洲的微納產(chǎn)品制造商及設(shè)備供應(yīng)商提供技術(shù)支撐，幫助他們?cè)陉P(guān)鍵技術(shù)領(lǐng)域建立,、維持全球地位,。 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所發(fā)布的微納加工技術(shù)前景展望總結(jié)了其戰(zhàn)略研究議程(SRA)的要點(diǎn)，確定出微納加工發(fā)展的新趨勢(shì),，為維持和進(jìn)一步增強(qiáng)歐洲工業(yè)在微納加工技術(shù)領(lǐng)域中的地位,，提供了未來(lái)投資和研發(fā)戰(zhàn)略指導(dǎo)。從短期來(lái)看,，微納加工技術(shù)不會(huì)對(duì)環(huán)境和能源成本產(chǎn)生重大的影響,。受到當(dāng)前加工技術(shù)的限制，這些技術(shù)在早期的發(fā)晨階段往往會(huì)有較高的能源成本,。與此同時(shí),，微納加工一旦成熟，將會(huì)消耗更少的能源與資源,，就此而言,，微納加工無(wú)凝是一項(xiàng)令人振奮的技術(shù)。例如,，與去除邊角料獲得終產(chǎn)品不同的是,，微納加工采用的積層法將會(huì)使得廢料更少。

       當(dāng)微納加工技術(shù)應(yīng)用到光電子領(lǐng)域,，就形成了新興的納米光電子技術(shù),，主要研究納米結(jié)構(gòu)中光與電子相互作用及其能量互換的技術(shù).納米光電子技術(shù)在過(guò)去的十多年里，一方面,，以低維結(jié)構(gòu)材料生長(zhǎng)和能帶工程為基礎(chǔ)的納米制造技術(shù)有了長(zhǎng)足的發(fā)展,，包括分子束外延(MBE)、金屬有機(jī)化學(xué)氣相淀積(MOCVD)和化學(xué)束外延(CBE),，使得在晶片表面外延生長(zhǎng)方向(直方向)的外延層精度控制到單個(gè)原子層,，從而獲得了具有量子尺寸效應(yīng)的半導(dǎo)體材料;另一方面,，平面納米加工工藝實(shí)現(xiàn)了納米尺度的光刻和橫向刻蝕，使得人工橫向量子限制的量子線與量子點(diǎn)的制作成為可能.同時(shí),，光子晶體概念的出現(xiàn),，使得納米平面加工工藝廣地應(yīng)用到光介質(zhì)材料折射率周期性的改變中。高精度的微細(xì)結(jié)構(gòu)具有比較高的曝光精度,，但這兩種方法制作效率極低,。

納秒和飛秒之間,皮秒激光微納加工應(yīng)用獨(dú)具優(yōu)勢(shì)！與傳統(tǒng)的微納加工技術(shù)相比,，激光微納加工具有如下獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)：非接觸加工不損壞工具,、能量可調(diào)、加工方式靈活,、可實(shí)現(xiàn)柔性加工等,。其中全固態(tài)皮秒激光具有極窄的脈沖寬度(皮秒)、極高的峰值功率(兆瓦)以及優(yōu)異的光束質(zhì)量,，被廣泛應(yīng)用于各種金屬,、非金屬材料的精密加工。研究表明,，脈沖寬度高于10ps的皮秒激光加工過(guò)程中有明顯的熱效應(yīng)存在,，而且隨著激光與材料作用時(shí)間的增加，工件表面會(huì)產(chǎn)生微裂紋以及再鑄層,；脈沖寬度低于5ps的皮秒激光與材料作用時(shí)會(huì)產(chǎn)生非線性效應(yīng),，這對(duì)金屬材料的加工非常不利。因此,，適合微納精密加工用的皮秒激光的脈沖寬度在5~10ps之間,。為了提高加工效率，重復(fù)頻率一般設(shè)定在十萬(wàn)赫茲量級(jí),，而平均功率則根據(jù)所加工材料的燒蝕閾值而定,。微納加工平臺(tái)，主要是兩個(gè)方面：微納加工,、微納檢測(cè),！激光微納加工工藝

微納結(jié)構(gòu)器件是系統(tǒng)重要的組成部分，其制造的質(zhì)量,、效率和成本直接影響著行業(yè)的發(fā)展,。衢州鍍膜微納加工

     微納加工可以滿足高精度三維結(jié)構(gòu)制備,、多材料微納結(jié)構(gòu)加工以及器件成型與集成的加工需求,，因此，在各類微納結(jié)構(gòu)化功能部件的研制中展現(xiàn)出了很大的技術(shù)優(yōu)勢(shì),。目前,，飛秒激光已經(jīng)廣泛應(yīng)用于多個(gè)前沿科學(xué)領(lǐng)域,。利用飛秒激光可以制備各種微光學(xué)器件，如微透鏡陣列,、仿生復(fù)眼,、光波導(dǎo)和超表面等。吉林大學(xué)研究團(tuán)隊(duì)利用雙光子聚合技術(shù)制備了一種基于仿生蛋白質(zhì)的微透鏡,，該透鏡在外界刺激下可動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)焦距,，同時(shí)具有獨(dú)特的伸縮性、良好的生物相容性和生物可降解性,；進(jìn)一步該團(tuán)隊(duì)利用激光加工技術(shù)制備了可變焦的仿生復(fù)眼,，實(shí)現(xiàn)了大視場(chǎng)變焦成像的功能，如圖1所示,。利用其高精度,、高分辨率和三維加工能力，飛秒激光加工技術(shù)成為制備三維微流控芯片的強(qiáng)大工具,。衢州鍍膜微納加工

廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所是一家有著雄厚實(shí)力背景,、信譽(yù)可靠、勵(lì)精圖治,、展望未來(lái),、有夢(mèng)想有目標(biāo)，有組織有體系的公司,，堅(jiān)持于帶領(lǐng)員工在未來(lái)的道路上大放光明,，攜手共畫藍(lán)圖，在廣東省等地區(qū)的電子元器件行業(yè)中積累了大批忠誠(chéng)的客戶粉絲源,，也收獲了良好的用戶口碑,，為公司的發(fā)展奠定的良好的行業(yè)基礎(chǔ)，也希望未來(lái)公司能成為*****,，努力為行業(yè)領(lǐng)域的發(fā)展奉獻(xiàn)出自己的一份力量,，我們相信精益求精的工作態(tài)度和不斷的完善創(chuàng)新理念以及自強(qiáng)不息，斗志昂揚(yáng)的的企業(yè)精神將**廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)和您一起攜手步入輝煌,，共創(chuàng)佳績(jī),，一直以來(lái)，公司貫徹執(zhí)行科學(xué)管理,、創(chuàng)新發(fā)展,、誠(chéng)實(shí)守信的方針，員工精誠(chéng)努力,，協(xié)同奮取,，以品質(zhì)、服務(wù)來(lái)贏得市場(chǎng)，我們一直在路上,！