光刻是微納加工技術(shù)中關(guān)鍵的工藝步驟，光刻的工藝水平?jīng)Q定產(chǎn)品的制程水平和性能水平,。光刻的原理是在基底表面覆蓋一層具有高度光敏感性光刻膠,，再用光線（一般是紫外光、深紫外光,、極紫外光）透過光刻板照射在基底表面,，被光線照射到的光刻膠會(huì)發(fā)生反應(yīng)。此后用顯影液洗去被照射/未被照射的光刻膠,， 就實(shí)現(xiàn)了圖形從光刻板到基底的轉(zhuǎn)移,。光刻膠分為正性光刻和負(fù)性光刻兩種基本工藝，區(qū)別在于兩者使用的光刻膠的類型不同,。負(fù)性光刻使用的光刻膠在曝光后會(huì)因?yàn)榻宦?lián)而變得不可溶解,，并會(huì)固化，不會(huì)被溶劑洗掉，從而該部分硅片不會(huì)在后續(xù)流程中被腐蝕掉,，負(fù)性光刻光刻膠上的圖形與掩模版上圖形相反,。我造技術(shù)的研究從其誕生之初就一直牢據(jù)行國的微納制造技術(shù)的研究與世界先進(jìn)水平業(yè)的杰出位置！河源微納加工平臺(tái)

微納加工技術(shù)是先進(jìn)制造的重要組成部分,，是衡量國家高質(zhì)量的制造業(yè)水平的標(biāo)志之一,，具有多學(xué)科交叉性和制造要素極端性的特點(diǎn)，在推動(dòng)科技進(jìn)步,、促進(jìn)產(chǎn)業(yè)發(fā)展,、拉動(dòng)科技進(jìn)步、保障**安全等方面都發(fā)揮著關(guān)鍵作用,。微納加工技術(shù)的基本手段包括微納加工方法與材料科學(xué)方法兩種,。很顯然，微納加工技術(shù)與微電子工藝技術(shù)有密切關(guān)系,。微納加工大致可以分為“自上而下”和“自下而上”兩類,。“自上而下”是從宏觀對(duì)象出發(fā),，以光刻工藝為基礎(chǔ),，對(duì)材料或原料進(jìn)行加工，小結(jié)果尺寸和精度通常由光刻或刻蝕環(huán)節(jié)的分辨力決定,?！白韵露稀奔夹g(shù)則是從微觀世界出發(fā)，通過控制原子,、分子和其他納米對(duì)象的相互作用力將各種單元構(gòu)建在一起,，形成微納結(jié)構(gòu)與器件。安徽微納加工器件封裝微納加工按技術(shù)分類,，主要分為平面工藝,、探針工藝、模型工藝,！

       作為前沿加工技術(shù),，飛秒激光加工具有熱影響區(qū)小、與材料相互作用呈非線性過程,、超出衍射極限的高分辨率加工等特點(diǎn),，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)各種材料的高質(zhì)量、高精度微納米加工和三維微納結(jié)構(gòu)制造,。飛秒激光對(duì)材料的加工方式靈活多樣,，既可實(shí)現(xiàn)增材、減材和等材制造,，又能夠以激光直寫和激光并行加工的方式制備微納結(jié)構(gòu),。其中,，飛秒激光直寫通常用于復(fù)雜、不規(guī)則的微納結(jié)構(gòu)加工,，具有較高的空間分辨率,、加工靈活性和自由度，然而鑒于其逐點(diǎn)加工的技術(shù)特點(diǎn),，加工效率較低,；飛秒激光并行加工包括基于數(shù)字微鏡器件的光刻技術(shù),、空間光調(diào)制器和激光干涉加工等方法,，具有較高的加工效率，但無法加工任意三維微結(jié)構(gòu),。飛秒激光加工方式各有優(yōu)缺點(diǎn),，可以根據(jù)應(yīng)用中的實(shí)際需求來選擇合適的加工技術(shù)。

      刻蝕工藝：是在半導(dǎo)體工藝,，按照掩模圖形或設(shè)計(jì)要求對(duì)半導(dǎo)體襯底表面或表面覆蓋薄膜進(jìn)行選擇性腐蝕或剝離的技術(shù),。刻蝕技術(shù)不僅是半導(dǎo)體器件和集成電路的基本制造工藝,，而且還應(yīng)用于薄膜電路,、印刷電路和其他微細(xì)圖形的加工?？涛g還可分為濕法刻蝕和干法刻蝕,。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所微納加工平臺(tái)，面向半導(dǎo)體光電子器件,、功率電子器件,、MEMS、生物芯片等前沿領(lǐng)域,，致力于打造高質(zhì)量檔次的公益性,、開放性、支撐性樞紐中心,。平臺(tái)擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備,，建立了一條實(shí)驗(yàn)室研發(fā)線和一條中試線，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸）,，同時(shí)形成了一支與硬件有機(jī)結(jié)合的專業(yè)人才隊(duì)伍,。平臺(tái)當(dāng)前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務(wù)，面向國內(nèi)外高校,、科研院所以及企業(yè)提供開放共享,，為技術(shù)咨詢、創(chuàng)新研發(fā),、技術(shù)驗(yàn)證以及產(chǎn)品中試提供技術(shù)支持,。微納加工平臺(tái)支持基礎(chǔ)信息器件與系統(tǒng)等多領(lǐng)域、交叉學(xué)科，開展前沿信息科學(xué)研究和技術(shù)開發(fā),。

          美國在微納加工技術(shù)的發(fā)展中發(fā)揮著主導(dǎo)作用,。由于電子技術(shù)、計(jì)算機(jī)技術(shù),、航空航天技術(shù)和激光技術(shù)的需要,，美國于1962年開發(fā)了金剛石刀具超精細(xì)切割機(jī)床，解決了激光核聚變反射鏡,、天體望遠(yuǎn)鏡等光學(xué)部件和計(jì)算機(jī)磁盤加工,，奠定了微加工技術(shù)的基礎(chǔ)，隨后西歐和日本微加工技術(shù)發(fā)展迅速,。微納加工技術(shù)是一種新興的綜合加工技術(shù),。它整合了現(xiàn)代機(jī)械、光學(xué),、電子,、計(jì)算機(jī)、測(cè)量和材料等先進(jìn)技術(shù)成果,，使加工精度從20世紀(jì)60年代初的微米水平提高到目前的10m水平,，在幾十年內(nèi)提高了1～2個(gè)數(shù)量級(jí)，很大程度提高了產(chǎn)品的性能和可靠性,。目前,，微納加工技術(shù)已成為國家科技發(fā)展水平的重要標(biāo)志。隨著各種新型功能陶瓷材料的成功開發(fā)和以這些材料為關(guān)鍵部件的各種裝置的高性能,，功能陶瓷元件的加工精度達(dá)到納米級(jí)甚至更高,，有效地促進(jìn)了微納加工技術(shù)的進(jìn)步。近年來,，納米技術(shù)的出現(xiàn)挑戰(zhàn)了微納加工的極限加工精度一一原子級(jí)加工,。機(jī)械微加工是微納制造中較方便，也較接近傳統(tǒng)材料加工方式的微成型技術(shù),。河源微納加工平臺(tái)

微納加工技術(shù)的特點(diǎn)多學(xué)科交叉,。河源微納加工平臺(tái)

        微納加工是指制造特征尺寸以納米為單位的結(jié)構(gòu)，尤其是側(cè)面小于20納米的結(jié)構(gòu),。目前的技術(shù)大多只允許在二維意義上進(jìn)行微納加工,。納加工通常用于制造計(jì)算機(jī)芯片，傳統(tǒng)的光刻技術(shù)是計(jì)算機(jī)行業(yè)的支柱,，可用于創(chuàng)建尺寸小于22m的特征,，雖然這是非常昂貴的，而目且目前還不被認(rèn)為是經(jīng)濟(jì)有效的,。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所微納加工平臺(tái),，面向半導(dǎo)體光電子器件,、功率電子器件、MEMS,、生物芯片等前沿領(lǐng)域,，致力于打造高級(jí)的公益性、開放性,、支撐性樞紐中心,。平臺(tái)擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備，建立了一條實(shí)驗(yàn)室研發(fā)線和一條中試線,，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸）,，同時(shí)形成了一支與硬件有機(jī)結(jié)合的專業(yè)人才隊(duì)伍。平臺(tái)當(dāng)前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務(wù),，面向國內(nèi)外高校,、科研院所以及企業(yè)提供開放共享,，為技術(shù)咨詢,、創(chuàng)新研發(fā)、技術(shù)驗(yàn)證以及產(chǎn)品中試提供技術(shù)支持,。河源微納加工平臺(tái)

廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所是一家有著雄厚實(shí)力背景,、信譽(yù)可靠、勵(lì)精圖治,、展望未來,、有夢(mèng)想有目標(biāo)，有組織有體系的公司,，堅(jiān)持于帶領(lǐng)員工在未來的道路上大放光明,，攜手共畫藍(lán)圖，在廣東省等地區(qū)的電子元器件行業(yè)中積累了大批忠誠的客戶粉絲源,，也收獲了良好的用戶口碑,，為公司的發(fā)展奠定的良好的行業(yè)基礎(chǔ)，也希望未來公司能成為*****,，努力為行業(yè)領(lǐng)域的發(fā)展奉獻(xiàn)出自己的一份力量,，我們相信精益求精的工作態(tài)度和不斷的完善創(chuàng)新理念以及自強(qiáng)不息，斗志昂揚(yáng)的的企業(yè)精神將**廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)和您一起攜手步入輝煌,，共創(chuàng)佳績(jī),，一直以來，公司貫徹執(zhí)行科學(xué)管理,、創(chuàng)新發(fā)展,、誠實(shí)守信的方針，員工精誠努力,，協(xié)同奮取,，以品質(zhì),、服務(wù)來贏得市場(chǎng)，我們一直在路上,！