微納加工可以滿足高精度三維結(jié)構(gòu)制備,、多材料微納結(jié)構(gòu)加工以及器件成型與集成的加工需求,，因此，在各類微納結(jié)構(gòu)化功能部件的研制中展現(xiàn)出了很大的技術(shù)優(yōu)勢,。目前,，飛秒激光已經(jīng)廣泛應(yīng)用于多個前沿科學(xué)領(lǐng)域。利用飛秒激光可以制備各種微光學(xué)器件，如微透鏡陣列,、仿生復(fù)眼,、光波導(dǎo)和超表面等。吉林大學(xué)研究團隊利用雙光子聚合技術(shù)制備了一種基于仿生蛋白質(zhì)的微透鏡,，該透鏡在外界刺激下可動態(tài)調(diào)節(jié)焦距,，同時具有獨特的伸縮性、良好的生物相容性和生物可降解性,；進一步該團隊利用激光加工技術(shù)制備了可變焦的仿生復(fù)眼,，實現(xiàn)了大視場變焦成像的功能，如圖1所示,。利用其高精度、高分辨率和三維加工能力,，飛秒激光加工技術(shù)成為制備三維微流控芯片的強大工具,。在微納加工過程中，蒸發(fā)沉積和濺射沉積是典型的物理方法,，主要用于沉積金屬單質(zhì)薄膜,、合金薄膜、化合物等,！巴中MENS微納加工

     微納加工技術(shù)是先進制造的重要組成部分,，是衡量國家高級制造業(yè)水平的標(biāo)志之一，具有多學(xué)科交叉性和制造要素極端性的特點,，在推動科技進步,、促進產(chǎn)業(yè)發(fā)展、拉動科技進步,、保障**安全等方面都發(fā)揮著關(guān)鍵作用,。微納加工技術(shù)的基本手段包括微納加工方法與材料科學(xué)方法兩種。比較顯然,，微納加工技術(shù)與微電子工藝技術(shù)有密切關(guān)系,。微納加工大致可以分為“自上而下”和“自下而上”兩類?！白陨隙隆笔菑暮暧^對象出發(fā),，以光刻工藝為基礎(chǔ)，對材料或原料進行加工,，較小結(jié)果尺寸和精度通常由光刻或刻蝕環(huán)節(jié)的分辨力決定,。“自下而上”技術(shù)則是從微觀世界出發(fā),，通過控制原子,、分子和其他納米對象的相互作用力將各種單元構(gòu)建在一起，形成微納結(jié)構(gòu)與器件。馬鞍山微納加工工藝微納制造技術(shù)屬國際前沿技術(shù),，作為未來制造業(yè)賴以生存的基礎(chǔ)和可持續(xù)發(fā)展的關(guān)鍵,。

     微納加工技術(shù)是先進制造的重要組成部分，是衡量國家制造業(yè)水平的標(biāo)志之一,，具有多學(xué)科交叉性和制造要素極端性的特點,，在推動科技進步、促進產(chǎn)業(yè)發(fā)展,、拉動科技進步,、保障**安全等方面都發(fā)揮著關(guān)鍵作用。微納加工技術(shù)的基本手段包括微納加工方法與材料科學(xué)方法兩種,。很顯然,，微納加工技術(shù)與微電子工藝技術(shù)有密切關(guān)系。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所微納加工平臺面向半導(dǎo)體光電子器件,、功率電子器件,、MEMS、生物芯片等前沿領(lǐng)域提供技術(shù)咨詢,、器件設(shè)計,、版圖設(shè)計、光刻,、刻蝕,、鍍膜等技術(shù)服務(wù)。

         微納加工技術(shù)也可分為機械加工,、化學(xué)腐蝕,、能量束加工、復(fù)合加工,、隧道掃描顯微技術(shù)加工等方法,。機械加工方法包括單晶金剛石刀具的超精密切割、金剛石砂輪和CBN砂輪的超精密磨削和鏡面磨削,、磨削,、砂帶拋光等固定磨料工具的加工、磨削,、拋光等自由磨料的加工,。能束加工可以去除加工對象、添加和表面改性,。例如,，激光切割、鉆孔和表面硬化改性,。光刻,、焊接,、微米和納米鉆孔、切割,、離子和等離子體蝕刻等,。能量束的加工方法還包括電火花加工、電化學(xué)加工,、電解射流加工,、分子束延伸等。微納加工是的技術(shù),，可以進行原子級操作和原子去除,、添加和搬遷。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所微納加工平臺,，面向半導(dǎo)體光電子器件,、功率電子器件、MEMS,、生物芯片等前沿領(lǐng)域,，致力于打造的公益性、開放性,、支撐性樞紐中心。平臺擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備,，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線,，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸），同時形成了一支與硬件有機結(jié)合的專業(yè)人才隊伍,。平臺當(dāng)前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務(wù),，面向國內(nèi)外高校、科研院所以及企業(yè)提供開放共享,，為技術(shù)咨詢,、創(chuàng)新研發(fā)、技術(shù)驗證以及產(chǎn)品中試提供技術(shù)支持,。干法刻蝕能夠滿足亞微米/納米線寬制程技術(shù)的要求,，且在微納加工技術(shù)中被大量使用。

微納加工技術(shù)是先進制造的重要組成部分,，是衡量國家高質(zhì)量的制造業(yè)水平的標(biāo)志之一,，具有多學(xué)科交叉性和制造要素極端性的特點，在推動科技進步,、促進產(chǎn)業(yè)發(fā)展,、拉動科技進步、保障**安全等方面都發(fā)揮著關(guān)鍵作用,。微納加工技術(shù)的基本手段包括微納加工方法與材料科學(xué)方法兩種,。很顯然,，微納加工技術(shù)與微電子工藝技術(shù)有密切關(guān)系。微納加工大致可以分為“自上而下”和“自下而上”兩類,?！白陨隙隆笔菑暮暧^對象出發(fā)，以光刻工藝為基礎(chǔ),，對材料或原料進行加工,，小結(jié)果尺寸和精度通常由光刻或刻蝕環(huán)節(jié)的分辨力決定?！白韵露稀奔夹g(shù)則是從微觀世界出發(fā),，通過控制原子、分子和其他納米對象的相互作用力將各種單元構(gòu)建在一起,，形成微納結(jié)構(gòu)與器件,。微機電系統(tǒng)、微光電系統(tǒng),、生物微機電系統(tǒng)等是微納米技術(shù)的重要應(yīng)用領(lǐng)域,！江蘇微納加工器件

微機電系統(tǒng)、微光電系統(tǒng),、生物微機電系統(tǒng)等是微納米技術(shù)的重要應(yīng)用領(lǐng)域,。巴中MENS微納加工

納秒和飛秒之間,皮秒激光微納加工應(yīng)用獨具優(yōu)勢！與傳統(tǒng)的微納加工技術(shù)相比,，激光微納加工具有如下獨特的優(yōu)點：非接觸加工不損壞工具,、能量可調(diào)、加工方式靈活,、可實現(xiàn)柔性加工等,。其中全固態(tài)皮秒激光具有極窄的脈沖寬度(皮秒)、極高的峰值功率(兆瓦)以及優(yōu)異的光束質(zhì)量,，被廣泛應(yīng)用于各種金屬,、非金屬材料的精密加工。研究表明,，脈沖寬度高于10ps的皮秒激光加工過程中有明顯的熱效應(yīng)存在,，而且隨著激光與材料作用時間的增加，工件表面會產(chǎn)生微裂紋以及再鑄層,；脈沖寬度低于5ps的皮秒激光與材料作用時會產(chǎn)生非線性效應(yīng),，這對金屬材料的加工非常不利。因此,，適合微納精密加工用的皮秒激光的脈沖寬度在5~10ps之間,。為了提高加工效率，重復(fù)頻率一般設(shè)定在十萬赫茲量級,，而平均功率則根據(jù)所加工材料的燒蝕閾值而定,。巴中MENS微納加工

廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所是一家有著雄厚實力背景,、信譽可靠、勵精圖治,、展望未來,、有夢想有目標(biāo)，有組織有體系的公司,，堅持于帶領(lǐng)員工在未來的道路上大放光明,，攜手共畫藍圖，在廣東省等地區(qū)的電子元器件行業(yè)中積累了大批忠誠的客戶粉絲源,，也收獲了良好的用戶口碑,，為公司的發(fā)展奠定的良好的行業(yè)基礎(chǔ)，也希望未來公司能成為*****,，努力為行業(yè)領(lǐng)域的發(fā)展奉獻出自己的一份力量,，我們相信精益求精的工作態(tài)度和不斷的完善創(chuàng)新理念以及自強不息，斗志昂揚的的企業(yè)精神將**廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)和您一起攜手步入輝煌,，共創(chuàng)佳績,，一直以來，公司貫徹執(zhí)行科學(xué)管理,、創(chuàng)新發(fā)展,、誠實守信的方針，員工精誠努力,，協(xié)同奮取,，以品質(zhì)、服務(wù)來贏得市場,，我們一直在路上,！