磁控濺射是在陰極靶的表面上方形成一個正交電磁場,。當濺射產(chǎn)生的二次電子在陰極位降區(qū)內(nèi)被加速為高能電子后，并不直接飛向陽極,，而是在正交電磁場作用下作來回振蕩的近似擺線的運動。高能電子不斷與氣體分子發(fā)生碰撞并向后者轉(zhuǎn)移能量,，使之電離而本身變成低能電子,。這些低能電子較終沿磁力線漂移到陰極附近的陽極而被吸收，避免高能電子對極板的強烈轟擊,，消除了二極濺射中極板被轟擊加熱和被電子輻照引起的損傷，體現(xiàn)出磁控濺射中極板“低溫”的特點,。由于外加磁場的存在,，電子的復雜運動增加了電離率，實現(xiàn)了高速濺射,。磁控濺射的技術特點是要在陰極靶面附件產(chǎn)生與電場方向垂直的磁場,，一般采用永久磁鐵實現(xiàn)。真空室中裝有輝光放電的陰極,，靶材就裝在此極表面上,，接受離子轟擊。湖南反應磁控濺射設備

真空磁控濺射涂層技術與真空蒸發(fā)涂層技術的區(qū)別：真空磁控濺射涂層技術不同于真空蒸發(fā)涂層技術,。濺射是指荷能顆粒轟擊固體表面,，使固體原子或分子從表面射出的現(xiàn)象。大多數(shù)粒子是原子狀態(tài),，通常稱為濺射原子,。用于轟擊目標的濺射顆粒可以是電子,、離子或中性顆粒,，因為離子很容易加速電場下所需的動能，所以大多數(shù)都使用離子作為轟擊顆粒,。濺射過程是基于光放電,，即濺射離子來自氣體放電。不同的濺射技術使用不同的光放電方法,。直流二極濺射采用直流光放電,，三極濺射采用熱陰極支撐光放電，射頻濺射采用射頻光放電,，磁控濺射采用環(huán)磁場控制的光放電,。真空磁控濺射涂層技術與真空蒸發(fā)涂層技術相比有許多優(yōu)點,。如任何物質(zhì)都能濺射，特別是高熔點和低蒸汽壓力的元素和化合物,；濺射膜與基板附著力好,；膜密度高；膜厚可控,，重復性好,。此外，蒸發(fā)法與濺射法相結(jié)合,，即離子鍍,。該方法具有附著力強、沉積率高,、膜密度高等優(yōu)點,。四川高溫磁控濺射用處真空磁控濺射鍍膜這種工藝可以沉積任何氧化物、碳化物以及氮化物材料的薄膜,。

磁控濺射設備的主要用途：（1）各種功能性薄膜：如具有吸收,、透射、反射,、折射,、偏光等作用的薄膜。例如,，低溫沉積氮化硅減反射膜,，以提高太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換效率。（2）裝飾領域的應用,，如各種全反射膜及半透明膜等,，如手機外殼，鼠標等,。（3）在微電子領域作為一種非熱式鍍膜技術,，主要應用在化學氣相沉積或金屬有機。（4）化學氣相沉積困難及不適用的材料薄膜沉積,，而且可以獲得大面積非常均勻的薄膜,。（5）在光學領域：中頻閉合場非平衡磁控濺射技術也已在光學薄膜、低輻射玻璃和透明導電玻璃等方面得到應用,。特別是透明導電玻璃普遍應用于平板顯示器件,、太陽能電池、微波與射頻屏蔽裝置與器件,、傳感器等,。（6）在機械加工行業(yè)中，表面功能膜,、超硬膜,，自潤滑薄膜的表面沉積技術自問世以來得到長足發(fā)展,，能有效的提高表面硬度、復合韌性,、耐磨損性和抗高溫化學穩(wěn)定性能,，從而大幅度地提高涂層產(chǎn)品的使用壽命。磁控濺射除上述已被大量應用的領域,，還在高溫超導薄膜,、鐵電體薄膜、巨磁阻薄膜,、薄膜發(fā)光材料,、太陽能電池、記憶合金薄膜研究方面發(fā)揮重要作用,。

交流磁控濺射和直流濺射的區(qū)別：交流磁控濺射和直流濺射相比交流磁控濺射采用交流電源代替直流電源,解決了靶面的異常放電現(xiàn)象,。交流濺射時，靶對真空室壁不是恒定的負電壓,，而是周期一定的交流脈沖電壓,。設脈沖電壓的周期為T,在負脈沖T—△T時間間隔內(nèi),靶面處于放電狀態(tài)，這一階段和直流磁控濺射相似,；靶面上的絕緣層不斷積累正電荷，絕緣層上的場強逐步增大,；當場強增大至一定限度后靶電位驟降為零甚至反向,，即靶電位處于正脈沖△T階段。在△T時間內(nèi),，放電等離子體中的負電荷─電子向靶面遷移并中和了絕緣層表面所帶的正電荷,，使絕緣層內(nèi)場強恢復為零，從而消除了靶面異常放電的可能性,。單向脈沖正電壓段的電壓為零!濺射發(fā)生在負電壓段,。

磁控濺射技術的應用：主要用于在經(jīng)予處理的塑料、陶瓷等制品表面蒸鍍金屬薄膜,、七彩膜仿金膜等,從而獲得光亮,、美觀、價廉的塑料,陶瓷表面金屬化制品,。普遍應用于工藝美術,、裝璜裝飾、燈具,、家具,、玩具、酒瓶蓋,、女式鞋后跟等領域,，JTPZ多功能鍍膜技術及設備,，針對汽車、摩托車燈具而設計的,，在一個真空室內(nèi)完成蒸發(fā)鍍鋁和射頻等離子體鍍保護膜,，這種鍍膜后燈具具有“三防”功能。射頻等離子體聚合膜還應用于光學產(chǎn)品,、磁記錄介質(zhì),、**保護膜；防潮增透膜,；防銹抗腐蝕,；耐磨增硬膜。用戶選擇在燈具基體上噴底漆,、鍍鋁膜,、鍍保護膜或燈具基體在真空室進行前處理、鍍鋁膜,、鍍保護膜工藝,。磁控濺射是物理中氣相沉積的一種。山東智能磁控濺射鍍膜

物相沉積技術工藝過程簡單,，對環(huán)境改善,，無污染，耗材少,，成膜均勻致密,，與基體的結(jié)合力強。湖南反應磁控濺射設備

相較于蒸發(fā)鍍膜,，真空磁控濺射鍍膜的膜更均勻,，那么真空蒸發(fā)鍍膜所鍍出來的膜厚度在中心位置一般會薄一點。因此,，由于我們無法控制真空蒸發(fā)鍍膜的膜層的厚度,，而真空磁控濺射鍍膜的過程中可通過控制時間長短來控制鍍層厚度，所以蒸鍍真空鍍膜不適應企業(yè)大規(guī)模的生產(chǎn),。反之,，濺射鍍膜在這方面就比較有優(yōu)勢了。那么相對于蒸發(fā)鍍膜來說,，真空磁控濺射鍍膜除了膜厚均勻與可控靈活的優(yōu)勢之外,，還有這些特點：磁控濺射鍍的膜層的純度高，因此致密性好,；膜層物料靈活,，薄膜可以由大多數(shù)材料構成，包括常見的合金,、化合物之類的,；濺射鍍膜的沉積速率較低,，整體設備相對復雜一些；真空濺射薄膜與作用基底之間的粘合,、附著力很好,。湖南反應磁控濺射設備

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