真空鍍膜的方法：化學氣相沉積：化學氣相沉積是一種化學生長方法,簡稱CVD(ChemicalVaporDeposition)技術,。這種方法是把含有構(gòu)成薄膜元素的一種或幾種化合物的單質(zhì)氣體供給基片,利用加熱,、等離子體,、紫外光乃至激光等能源,借助氣相作用或在基片表面的化學反應(熱分解或化學合成)生成要求的薄膜。真空鍍鈦的CVD法中Z常用的就是等離子體化學氣相沉積(PCVD)。利用低溫等離子體作能量源,樣品置于低氣壓下輝光放電的陰極上,利用輝光放電(或另加發(fā)熱體)使樣品升溫到預定的溫度,然后通入適量的反應氣體,氣體經(jīng)一系列化學反應和等離子體反應,在樣品表面形成固態(tài)薄膜。真空鍍膜中等離子體增強化學氣相沉積可在較低溫度下形成固體膜,。蕪湖真空鍍膜工藝

熱氧化與化學氣相沉積不同，她是通過氧氣或水蒸氣擴散到硅表面并進行化學反應形成氧化硅,。熱氧化形成氧化硅時，會消耗相當于氧化硅膜厚的45%的硅,。熱氧化氧化過程主要分兩個步驟：步驟一：氧氣或者水蒸氣等吸附到氧化硅表面,，步驟二：氧氣或者水蒸氣等擴散到硅表面,，步驟三：氧氣或者水蒸氣等與硅反應生成氧化硅。熱氧化是在一定的溫度和氣體條件下，使硅片表面氧化一定厚度的氧化硅的,。主要有干法氧化和濕法氧化,，干法氧化是在硅片表面通入氧氣,，硅片與氧化反應生成氧化硅,，氧化速率比較慢，氧化膜厚容易控制,。濕法氧化在爐管當中通入氧氣和氫氣,，兩者反應生長水蒸氣,，水蒸氣與硅片表面反應生長氧化硅，濕法氧化,，速率比較快,，可以生長比較厚的薄膜,。揚州真空鍍膜工藝流程化學氣相沉積是真空鍍膜技術的一種,。

電子束蒸發(fā)蒸鍍?nèi)珂u(W）,、鉬（Mo）等高熔點材料，需要在坩堝的結(jié)構(gòu)上做一定的改進,，以提高鍍膜的效率。高熔點的材料采用錠或者顆粒狀放在坩堝當中,，因為水冷坩堝導熱過快,，材料難以達到其蒸發(fā)的溫度。經(jīng)過實驗的驗證,，蒸發(fā)高熔點的材料可以用薄片來蒸鍍,，將1mm材料薄片架空于碳坩堝上沿，薄片只能通過坩堝邊沿來導熱,，散熱速率慢,，有利于達到材料蒸發(fā)的熔點,。經(jīng)驗證,，采用此種方式鍍膜，薄膜均勻性良好，采用此方法可滿足蒸鍍50nm以下的材料薄膜,。

磁控濺射由于其優(yōu)點應用日趨增長,成為工業(yè)鍍膜生產(chǎn)中主要的技術之一,相應的濺射技術與也取得了進一步的發(fā)展。非平衡磁控濺射改善了沉積室內(nèi)等離子體的分布,提高了膜層質(zhì)量;中頻和脈沖磁控濺射可有效避免反應濺射時的遲滯現(xiàn)象,消除靶中毒和打弧問題,提高制備化合物薄膜的穩(wěn)定性和沉積速率;改進的磁控濺射靶的設計可獲得較高的靶材利用率;高速濺射和自濺射為濺射鍍膜技術開辟了新的應用領域,，具有誘人的成膜效率和經(jīng)濟效益，實驗簡單方便,。真空鍍膜是指在高真空的條件下加熱金屬或非金屬材料,，使其蒸發(fā)并凝結(jié)于鍍件表面而形成薄膜的一種方法。

廣義的真空鍍膜還包括在金屬或非金屬材料表面真空蒸鍍聚合物等非金屬功能性薄膜,。在所有被鍍材料中,，以塑料較為常見,，其次,，為紙張鍍膜,。相對于金屬、陶瓷,、木材等材料,，塑料具有來源充足、性能易于調(diào)控,、加工方便等優(yōu)勢,，因此種類繁多的塑料或其他高分子材料作為工程裝飾性結(jié)構(gòu)材料，大量應用于汽車,、家電,、日用包裝、工藝裝飾等工業(yè)領域,。但塑料材料大多存在表面硬度不高,、外觀不夠華麗、耐磨性低等缺陷,，如在塑料表面蒸鍍一層極薄的金屬薄膜,，即可賦予塑料程亮的金屬外觀，合適的金屬源還可增加材料表面耐磨性能,，拓寬了塑料的裝飾性和應用范圍,。真空鍍膜中離子鍍的鍍層組織致密,、無小孔、無氣泡,、厚度均勻,。蕪湖真空鍍膜工藝

真空鍍膜中制備化合物薄膜可以用各種化學氣相沉積或物理的氣相沉積方法。蕪湖真空鍍膜工藝

真空鍍膜：離子鍍特點：離子鍍是物理的氣相沉積方法中應用較普遍的一種鍍膜工藝,。離子鍍的基本特點是采用某種方法（如電子束蒸發(fā)磁控濺射,，或多弧蒸發(fā)離化等）使中性粒子電離成離子和電子，在基體上必須施加負偏壓,，從而使離子對基體產(chǎn)生轟擊,，適當降低負偏壓后使離子進而沉積于基體成膜，適用于高速鋼工具,，熱鍛模等材料的表面處理過程,。離子鍍的優(yōu)點如下：膜層和基體結(jié)合力強，反應溫度低,。膜層均勻,，致密。在負偏壓作用下繞鍍性好,。無污染,。多種基體材料均適合于離子鍍。蕪湖真空鍍膜工藝

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