當微納加工技術(shù)應用到光電子領(lǐng)域，就形成了新興的納米光電子技術(shù),，主要研究納米結(jié)構(gòu)中光與電子相互作用及其能量互換的技術(shù).納米光電子技術(shù)在過去的十多年里,，一方面，以低維結(jié)構(gòu)材料生長和能帶工程為基礎(chǔ)的納米制造技術(shù)有了長足的發(fā)展,，包括分子束外延(MBE),、金屬有機化學氣相淀積(MOCVD)和化學束外延(CBE)，使得在晶片表面外延生長方向(直方向)的外延層精度控制到單個原子層,，從而獲得了具有量子尺寸效應的半導體材料;另一方面,，平面納米加工工藝實現(xiàn)了納米尺度的光刻和橫向刻蝕，使得人工橫向量子限制的量子線與量子點的制作成為可能.同時,，光子晶體概念的出現(xiàn),，使得納米平面加工工藝廣地應用到光介質(zhì)材料折射率周期性的改變中。提高微納加工技術(shù)的加工能力和效率是未來微納結(jié)構(gòu)及器件研究的重點方向,！四川微納加工平臺

   廣東省科學院半導體研究所致力于推動微納加工技術(shù)的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化,，為歐洲的微納產(chǎn)品制造商及設(shè)備供應商提供技術(shù)支撐，幫助他們在關(guān)鍵技術(shù)領(lǐng)域建立,、維持全球地位,。 廣東省科學院半導體研究所發(fā)布的微納加工技術(shù)前景展望總結(jié)了其戰(zhàn)略研究議程(SRA)的要點，確定出微納加工發(fā)展的新趨勢,，為維持和進一步增強歐洲工業(yè)在微納加工技術(shù)領(lǐng)域中的地位,，提供了未來投資和研發(fā)戰(zhàn)略指導。從短期來看,，微納加工技術(shù)不會對環(huán)境和能源成本產(chǎn)生重大的影響,。受到當前加工技術(shù)的限制，這些技術(shù)在早期的發(fā)晨階段往往會有較高的能源成本,。與此同時,，微納加工一旦成熟，將會消耗更少的能源與資源,，就此而言,，微納加工無凝是一項令人振奮的技術(shù)。例如,，與去除邊角料獲得終產(chǎn)品不同的是,，微納加工采用的積層法將會使得廢料更少,。山東微納加工代工微機電系統(tǒng)、微光電系統(tǒng),、生物微機電系統(tǒng)等是微納米技術(shù)的重要應用領(lǐng)域,。

    激光微納加工技術(shù)的實現(xiàn)方式：接觸式并行激光加工技術(shù)是指利用微球體顆粒進行激光圖案化。微球激光納米加工的機理,。微球激光納米加工技術(shù)初源于對激光清潔領(lǐng)域的研究,。研究發(fā)現(xiàn)，基底上的微小球形顆粒在脈沖激光照射后,，基底上球形顆粒的中心位置能夠產(chǎn)生亞波長尺寸的微/納孔,。對于金屬顆粒而言，這是由于顆粒與基底之間的LSPR產(chǎn)生的強電磁場增強造成的,；對于介質(zhì)顆粒而言,，由于其大半部分是透明的，可以將透明顆?？闯蔀槲⑶蛲哥R,，入射光在微球形透鏡的底面實現(xiàn)聚焦而引起的電磁場增強。這一過程可以實現(xiàn)入射光強度的60倍增強,。通過對微球的直徑,，折射率，環(huán)境以及入射的激光強度進行設(shè)計,，可以實現(xiàn)在基底上燒蝕出亞波長尺寸的微/納孔,。微球激光納米加工的實現(xiàn)方式對于微球激光納米加工技術(shù)，根據(jù)操縱微球顆粒排列方式的不同,，可以分為兩類：一是利用光鑷技術(shù)操縱微球體顆粒以制造任意圖案,；二是利用自組裝技術(shù)制造微球體陣列掩模。這種基于微球體的并行激光加工是納米制造中一種比較經(jīng)濟的方法,。

微納加工技術(shù)是先進制造的重要組成部分,，是衡量國家高質(zhì)量的制造業(yè)水平的標志之一，具有多學科交叉性和制造要素極端性的特點,，在推動科技進步,、促進產(chǎn)業(yè)發(fā)展、拉動科技進步,、保障**安全等方面都發(fā)揮著關(guān)鍵作用,。微納加工技術(shù)的基本手段包括微納加工方法與材料科學方法兩種。很顯然,，微納加工技術(shù)與微電子工藝技術(shù)有密切關(guān)系,。微納加工大致可以分為“自上而下”和“自下而上”兩類。“自上而下”是從宏觀對象出發(fā),，以光刻工藝為基礎(chǔ),，對材料或原料進行加工，小結(jié)果尺寸和精度通常由光刻或刻蝕環(huán)節(jié)的分辨力決定,?！白韵露稀奔夹g(shù)則是從微觀世界出發(fā)，通過控制原子,、分子和其他納米對象的相互作用力將各種單元構(gòu)建在一起,，形成微納結(jié)構(gòu)與器件,。微納加工技術(shù)對現(xiàn)代的生活,、生產(chǎn)產(chǎn)生了巨大的促進作用，并催生了一批新興產(chǎn)業(yè),。

       作為前沿加工技術(shù),，飛秒激光加工具有熱影響區(qū)小、與材料相互作用呈非線性過程,、超出衍射極限的高分辨率加工等特點,，可以實現(xiàn)對各種材料的高質(zhì)量、高精度微納米加工和三維微納結(jié)構(gòu)制造,。飛秒激光對材料的加工方式靈活多樣,，既可實現(xiàn)增材、減材和等材制造,，又能夠以激光直寫和激光并行加工的方式制備微納結(jié)構(gòu),。其中，飛秒激光直寫通常用于復雜,、不規(guī)則的微納結(jié)構(gòu)加工,，具有較高的空間分辨率、加工靈活性和自由度,，然而鑒于其逐點加工的技術(shù)特點,，加工效率較低；飛秒激光并行加工包括基于數(shù)字微鏡器件的光刻技術(shù),、空間光調(diào)制器和激光干涉加工等方法,，具有較高的加工效率，但無法加工任意三維微結(jié)構(gòu),。飛秒激光加工方式各有優(yōu)缺點,，可以根據(jù)應用中的實際需求來選擇合適的加工技術(shù)。微納制造技術(shù)研發(fā)和應用標志著人類可以在微,、納米尺度認識和改造世界,！山東微納加工代工

微納加工按技術(shù)分類，主要分為平面工藝、探針工藝,、模型工藝,！四川微納加工平臺

    微納加工大致可以分為“自上而下”和“自下而上”兩類?！白陨隙隆笔菑暮暧^對象出發(fā),，以光刻工藝為基礎(chǔ)，對材料或原料進行加工,，小結(jié)果尺寸和精度通常由光刻或刻蝕環(huán)節(jié)的分辨力決定,。“自下而上”技術(shù)則是從微觀世界出發(fā),，通過控制原子,、分子和其他納米對象的相互作用力將各種單元構(gòu)建在一起，形成微納結(jié)構(gòu)與器件,。廣東省科學院半導體研究所微納加工平臺,，面向半導體光電子器件、功率電子器件,、MEMS,、生物芯片等前沿領(lǐng)域，致力于打造的公益性,、開放性,、支撐性樞紐中心。平臺擁有半導體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備,，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線,，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸），同時形成了一支與硬件有機結(jié)合的專業(yè)人才隊伍,。平臺當前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務,，面向國內(nèi)外高校、科研院所以及企業(yè)提供開放共享,，為技術(shù)咨詢,、創(chuàng)新研發(fā)、技術(shù)驗證以及產(chǎn)品中試提供技術(shù)支持,。 四川微納加工平臺

廣東省科學院半導體研究所是一家有著雄厚實力背景,、信譽可靠、勵精圖治,、展望未來,、有夢想有目標，有組織有體系的公司,，堅持于帶領(lǐng)員工在未來的道路上大放光明,，攜手共畫藍圖，在廣東省等地區(qū)的電子元器件行業(yè)中積累了大批忠誠的客戶粉絲源，也收獲了良好的用戶口碑,，為公司的發(fā)展奠定的良好的行業(yè)基礎(chǔ),，也希望未來公司能成為*****，努力為行業(yè)領(lǐng)域的發(fā)展奉獻出自己的一份力量,，我們相信精益求精的工作態(tài)度和不斷的完善創(chuàng)新理念以及自強不息,，斗志昂揚的的企業(yè)精神將**廣東省科學院半導體研究所供應和您一起攜手步入輝煌，共創(chuàng)佳績,，一直以來,，公司貫徹執(zhí)行科學管理、創(chuàng)新發(fā)展,、誠實守信的方針,，員工精誠努力，協(xié)同奮取,，以品質(zhì),、服務來贏得市場,，我們一直在路上,！