在MEMS制程中,，刻蝕就是用化學的、物理的或同時使用化學和物理的方法,，在光刻的基礎上有選擇地進行圖形的轉(zhuǎn)移,。刻蝕技術(shù)主要分為干法刻蝕與濕法刻蝕,。干法刻蝕主要利用反應氣體與等離子體進行刻蝕,；以FATRIUTC為例，在MEMS制造中的ICP刻蝕機主要用來刻蝕Si,、Si3N4,、SiO2等。濕法刻蝕主要利用化學試劑與被刻蝕材料發(fā)生化學反應進行刻蝕,；以FATRIUTC的MEMS制程為例，在濕法槽進行濕法刻蝕的對象有SiO2,、Si3N4,、金屬、光刻膠等,，晶圓作業(yè)中的清洗步驟也需在濕法槽中進行,。廣義上的MEMS制造工藝，方式十分豐富,，幾乎涉及了各種現(xiàn)代加工技術(shù),。上海壓電半導體器件加工報價

MEMS器件體積小，重量輕,，耗能低,，慣性小，諧振頻率高,，響應時間短,。MEMS系統(tǒng)與一般的機械系統(tǒng)相比，不只體積縮小，而且在力學原理和運動學原理,，材料特性,、加工、測量和控制等方面都將發(fā)生變化,。在MEMS系統(tǒng)中,，所有的幾何變形是如此之小(分子級)，以至于結(jié)構(gòu)內(nèi)應力與應變之間的線性關(guān)系(虎克定律)已不存在,。MEMS器件中摩擦表面的摩擦力主要是由于表面之間的分子相互作用力引起的,，而不是由于載荷壓力引起。MEMS器件以硅為主要材料,。硅的強度,、硬度和楊氏模量與鐵相當。密度類似于鋁,，熱傳導率接近銅和鎢,，因此MEMS器件機械電氣性能優(yōu)良。上海壓電半導體器件加工報價傳統(tǒng)的IC器件是硅圓片在前工序加工完畢后,，送到封裝廠進行減薄,、劃片、引線鍵合等封裝工序,。

濕化學蝕刻普遍應用于制造半導體,。在制造中，成膜和化學蝕刻的過程交替重復以產(chǎn)生非常小的鋁層,。根據(jù)蝕刻層橫截面的幾何形狀,，由于應力局部作用在蝕刻層上構(gòu)造的層上，經(jīng)常出現(xiàn)裂紋,。因此,，通過蝕刻產(chǎn)生具有所需橫截面幾何形狀的鋁層是重要的驅(qū)動環(huán)節(jié)之一。在濕化學蝕刻中,，蝕刻劑通常被噴射到旋轉(zhuǎn)的晶片上,，并且鋁層由于與蝕刻劑的化學反應而被蝕刻。我們提出了一種觀察鋁層蝕刻截面的方法,，并將其應用于靜止蝕刻蝕刻的試件截面的觀察,。觀察結(jié)果成功地闡明了蝕刻截面幾何形狀的時間變化，和抗蝕劑寬度對幾何形狀的影響,，并對蝕刻過程進行了數(shù)值模擬,。驗證了蝕刻截面的模擬幾何形狀與觀測結(jié)果一致，表明本數(shù)值模擬可以有效地預測蝕刻截面的幾何形狀,。

射頻MEMS技術(shù)傳統(tǒng)上分為固定的和可動的兩類,。固定的MEMS器件包括本體微機械加工傳輸線,、濾波器和耦合器，可動的MEMS器件包括開關(guān),、調(diào)諧器和可變電容,。按技術(shù)層面又分為由微機械開關(guān)、可變電容器和電感諧振器組成的基本器件層面,；由移相器,、濾波器和VCO等組成的組件層面；由單片接收機,、變波束雷達,、相控陣雷達天線組成的應用系統(tǒng)層面。MEMS工藝以成膜工序,、光刻工序,、蝕刻工序等常規(guī)半導體工藝流程為基礎。硅基MEMS加工技術(shù)主要包括體硅MEMS加工技術(shù)和表面MEMS加工技術(shù),。體硅MEMS加工技術(shù)的主要特點是對硅襯底材料的深刻蝕,，可得到較大縱向尺寸可動微結(jié)構(gòu)。表面MEMS加工技術(shù)主要通過在硅片上生長氧化硅,、氮化硅,、多晶硅等多層薄膜來完成MEMS器件的制作。利用表面工藝得到的可動微結(jié)構(gòu)的縱向尺寸較小,，但與IC工藝的兼容性更好,，易與電路實現(xiàn)單片集成。常見的半導體材料有硅,、鍺,、砷化鎵等，硅是各種半導體材料應用中較具有影響力的一種,。

微機電系統(tǒng)是微電路和微機械按功能要求在芯片上的集成,，尺寸通常在毫米或微米級，自八十年代中后期崛起以來發(fā)展極其迅速,，被認為是繼微電子之后又一個對國民經(jīng)濟和軍務具有重大影響的技術(shù)領域，將成為21世紀新的國民經(jīng)濟增長點和提高軍務能力的重要技術(shù)途徑,。微機電系統(tǒng)的優(yōu)點是：體積小,、重量輕、功耗低,、耐用性好,、價格低廉、性能穩(wěn)定等,。微機電系統(tǒng)的出現(xiàn)和發(fā)展是科學創(chuàng)新思維的結(jié)果,，使微觀尺度制造技術(shù)的演進與**,。微機電系統(tǒng)是當前交叉學科的重要研究領域，涉及電子工程,、材料工程,、機械工程、信息工程等多項科學技術(shù)工程,，將是未來國民經(jīng)濟和軍務科研領域的新增長點,。二極管的主要原理就是利用PN結(jié)的單向?qū)щ娦裕赑N結(jié)上加上引線和封裝就成了一個二極管,。上海壓電半導體器件加工報價

將單晶硅棒分段成切片設備可以處理的長度,，切取試片測量單晶硅棒的電阻率含氧量。上海壓電半導體器件加工報價

光刻過程：首先,，通過金屬化過程,，在硅襯底上布置一層只數(shù)納米厚的金屬層。然后在這層金屬上覆上一層光刻膠,。這層光阻劑在曝光（一般是紫外線）后可以被特定溶液（顯影液）溶解,。使特定的光波穿過光掩膜照射在光刻膠上，可以對光刻膠進行選擇性照射（曝光）,。然后使用前面提到的顯影液,，溶解掉被照射的區(qū)域，這樣,，光掩模上的圖形就呈現(xiàn)在光刻膠上,。通常還將通過烘干措施，改善剩余部分光刻膠的一些性質(zhì),。上述步驟完成后,，就可以對襯底進行選擇性的刻蝕或離子注入過程，未被溶解的光刻膠將保護襯底在這些過程中不被改變,?？涛g或離子注入完成后，將進行光刻的較后一步,，即將光刻膠去除,，以方便進行半導體器件制造的其他步驟。通常,，半導體器件制造整個過程中,，會進行很多次光刻流程。生產(chǎn)復雜集成電路的工藝過程中可能需要進行多達50步光刻,，而生產(chǎn)薄膜所需的光刻次數(shù)會少一些,。上海壓電半導體器件加工報價

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