淺談表面功能微納結(jié)構(gòu)及其加工方法：目前可以實(shí)現(xiàn)表面微納結(jié)構(gòu)的加工方法主要有以下幾種,。（1）光刻技術(shù),，利用電子束或激光光束可以得到加工尺寸在幾十納米的微納結(jié)構(gòu),，該方法優(yōu)勢在于精度高，得到的微納結(jié)構(gòu)形狀可以得到很好的控制,；（2）飛秒激光加工技術(shù)，由于飛秒激光具有不受衍射極限限制的特點(diǎn),，可以加工出遠(yuǎn)小于光斑直徑的尺寸,，研究人員通過試驗(yàn)發(fā)現(xiàn),，采用飛秒激光加工出10nm寬的納米線,，在微納加工領(lǐng)域具有獨(dú)特優(yōu)勢。另外飛秒激光雙分子聚合技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)納米尺寸結(jié)構(gòu)的加工,；（3）自組裝工藝,，光刻與自組裝和刻蝕工藝結(jié)合，通過自組裝工藝,，可以得到6nm左右的納米孔,。（4）等離子刻蝕技術(shù)，等離子刻蝕技術(shù)是應(yīng)用廣的微納米加工手段,，加工精度高,，是集成電路制造中關(guān)鍵的工藝之一,。（5）沉積法,，主要包括物相沉積和化學(xué)氣相沉積,，該方法主要是利用氣相發(fā)生的物理化學(xué)過程,，在工件表面形成功能型或裝飾性的金屬,，可以用來實(shí)現(xiàn)微納米結(jié)構(gòu)涂層的制造,。（6）微納增材制造技術(shù),，微納增材制造技術(shù)主要指微納尺度電噴增材制造和微激光增材制造技術(shù),，由于微納增材技術(shù)可以不受形狀限制,，可多材料協(xié)同制造,，具有較大的發(fā)展前景。除以上幾種加工技術(shù)外,。 微納加工技術(shù)對現(xiàn)代的生活,、生產(chǎn)產(chǎn)生了巨大的促進(jìn)作用，并催生了一批新興產(chǎn)業(yè),。宿遷微納加工平臺(tái)

     微納加工可以滿足高精度三維結(jié)構(gòu)制備,、多材料微納結(jié)構(gòu)加工以及器件成型與集成的加工需求，因此,，在各類微納結(jié)構(gòu)化功能部件的研制中展現(xiàn)出了很大的技術(shù)優(yōu)勢,。目前，飛秒激光已經(jīng)廣泛應(yīng)用于多個(gè)前沿科學(xué)領(lǐng)域,。利用飛秒激光可以制備各種微光學(xué)器件,，如微透鏡陣列、仿生復(fù)眼、光波導(dǎo)和超表面等,。吉林大學(xué)研究團(tuán)隊(duì)利用雙光子聚合技術(shù)制備了一種基于仿生蛋白質(zhì)的微透鏡,，該透鏡在外界刺激下可動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)焦距，同時(shí)具有獨(dú)特的伸縮性,、良好的生物相容性和生物可降解性,；進(jìn)一步該團(tuán)隊(duì)利用激光加工技術(shù)制備了可變焦的仿生復(fù)眼，實(shí)現(xiàn)了大視場變焦成像的功能,，如圖1所示,。利用其高精度、高分辨率和三維加工能力,，飛秒激光加工技術(shù)成為制備三維微流控芯片的強(qiáng)大工具,。滁州高精度微納加工微納加工按技術(shù)分類，主要分為平面工藝,、探針工藝,、模型工藝！

    微納加工技術(shù)指尺度為亞毫米,、微米和納米量級元件以及由這些元件構(gòu)成的部件或系統(tǒng)的優(yōu)化設(shè)計(jì),、加工、組裝,、系統(tǒng)集成與應(yīng)用技術(shù),，涉及領(lǐng)域廣、多學(xué)科交叉融合,，其主要的發(fā)展方向是微納器件與系統(tǒng)（MEMS和NEMS）,。微納器件與系統(tǒng)是在集成電路制作上發(fā)展的系列技術(shù)，研制微型傳感器,、微型執(zhí)行器等器件和系統(tǒng),，具有微型化、批量化,、成本低的鮮明特點(diǎn),，對現(xiàn)活、生產(chǎn)產(chǎn)生了巨大的促進(jìn)作用,，并催生了一批新興產(chǎn)業(yè),。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所微納加工平臺(tái)，面向半導(dǎo)體光電子器件,、功率電子器件,、MEMS、生物芯片等前沿領(lǐng)域,，致力于打造的公益性,、開放性,、支撐性樞紐中心。平臺(tái)擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備,，建立了一條實(shí)驗(yàn)室研發(fā)線和一條中試線,，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸），同時(shí)形成了一支與硬件有機(jī)結(jié)合的專業(yè)人才隊(duì)伍,。平臺(tái)當(dāng)前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務(wù),，面向國內(nèi)外高校、科研院所以及企業(yè)提供開放共享,，為技術(shù)咨詢,、創(chuàng)新研發(fā)、技術(shù)驗(yàn)證以及產(chǎn)品中試提供技術(shù)支持,。

    激光微納加工技術(shù)的實(shí)現(xiàn)方式：接觸式并行激光加工技術(shù)是指利用微球體顆粒進(jìn)行激光圖案化,。微球激光納米加工的機(jī)理,。微球激光納米加工技術(shù)初源于對激光清潔領(lǐng)域的研究,。研究發(fā)現(xiàn)，基底上的微小球形顆粒在脈沖激光照射后,，基底上球形顆粒的中心位置能夠產(chǎn)生亞波長尺寸的微/納孔,。對于金屬顆粒而言，這是由于顆粒與基底之間的LSPR產(chǎn)生的強(qiáng)電磁場增強(qiáng)造成的,；對于介質(zhì)顆粒而言,，由于其大半部分是透明的，可以將透明顆?？闯蔀槲⑶蛲哥R,，入射光在微球形透鏡的底面實(shí)現(xiàn)聚焦而引起的電磁場增強(qiáng)。這一過程可以實(shí)現(xiàn)入射光強(qiáng)度的60倍增強(qiáng),。通過對微球的直徑,，折射率，環(huán)境以及入射的激光強(qiáng)度進(jìn)行設(shè)計(jì),，可以實(shí)現(xiàn)在基底上燒蝕出亞波長尺寸的微/納孔,。微球激光納米加工的實(shí)現(xiàn)方式對于微球激光納米加工技術(shù)，根據(jù)操縱微球顆粒排列方式的不同,，可以分為兩類：一是利用光鑷技術(shù)操縱微球體顆粒以制造任意圖案,；二是利用自組裝技術(shù)制造微球體陣列掩模。這種基于微球體的并行激光加工是納米制造中一種比較經(jīng)濟(jì)的方法,。 微納加工技術(shù)的特點(diǎn)：微型化,！

光刻是半導(dǎo)體制造中常用的技術(shù)之一，是現(xiàn)代光電子器件制造的基礎(chǔ),。然而,，深紫外和極紫外光刻系統(tǒng)及其相應(yīng)的光學(xué)掩模都是基于低速高成本的電子束光刻（EBL）或者聚焦離子束刻蝕(FIB)技術(shù),，導(dǎo)致其價(jià)格都相對昂貴。因此,，無掩模的高速制備法是微納結(jié)構(gòu)制備的優(yōu)先方法,。在這些無掩模方法中，直接激光寫入(direct laser writing, DLW)是一種重要的,、被廣采用的微處理技術(shù),，能夠提供比較低的價(jià)格和相對較高的吞吐量。但是,，實(shí)際應(yīng)用中存在兩個(gè)主要挑戰(zhàn)：一是與FIB和EBL相比,，分辨率還不夠高。微納加工中,，材料濕法腐蝕是一個(gè)常用的工藝方法,。錦州石墨烯微納加工

微納加工技術(shù)的特點(diǎn)：微型化。宿遷微納加工平臺(tái)

      在過去的二十年中,，微機(jī)電系統(tǒng),、微系統(tǒng)、微機(jī)械及其子領(lǐng)域,，微流體學(xué)片上實(shí)驗(yàn)室,，光學(xué)MEMS、RFMEMS,、PowerMEMS,、BioMEMS及其擴(kuò)展到納米級（例如，用于納米機(jī)電系統(tǒng)的NEMS)已經(jīng)重新使用,，調(diào)整或擴(kuò)展了微制造方法,。平板顯示器和太陽能電池也正在使用類似的技術(shù)。各種設(shè)備的小型化在科學(xué)與工程的許多領(lǐng)域提出了挑戰(zhàn)：物理,、化學(xué),、材料科學(xué)、計(jì)算機(jī)科學(xué),、超精密工程,、制造工藝和設(shè)備設(shè)計(jì)。它也引起了各種各樣的跨學(xué)科研究,。微納加工的主要概念和原理是微光刻,、摻雜、薄膜,、蝕刻,、粘接和拋光。宿遷微納加工平臺(tái)

廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所是一家有著先進(jìn)的發(fā)展理念,，先進(jìn)的管理經(jīng)驗(yàn),，在發(fā)展過程中不斷完善自己,，要求自己，不斷創(chuàng)新,，時(shí)刻準(zhǔn)備著迎接更多挑戰(zhàn)的活力公司,，在廣東省等地區(qū)的電子元器件中匯聚了大量的人脈以及**，在業(yè)界也收獲了很多良好的評價(jià),，這些都源自于自身不努力和大家共同進(jìn)步的結(jié)果,，這些評價(jià)對我們而言是比較好的前進(jìn)動(dòng)力，也促使我們在以后的道路上保持奮發(fā)圖強(qiáng),、一往無前的進(jìn)取創(chuàng)新精神,，努力把公司發(fā)展戰(zhàn)略推向一個(gè)新高度，在全體員工共同努力之下,，全力拼搏將共同廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)和您一起攜手走向更好的未來,，創(chuàng)造更有價(jià)值的產(chǎn)品，我們將以更好的狀態(tài),，更認(rèn)真的態(tài)度,，更飽滿的精力去創(chuàng)造，去拼搏,，去努力,，讓我們一起更好更快的成長,！