高精度的微細(xì)結(jié)構(gòu)可以通過電子束直寫或激光直寫制作，這類光刻技術(shù),，像“寫字”一樣,，通過控制聚焦電子束（光束）移動書寫圖案進(jìn)行曝光，具有很高的曝光精度,，但這兩種方法制作效率極低,，尤其在大面積制作方面捉襟見肘，目前直寫光刻技術(shù)適用于小面積的微納結(jié)構(gòu)制作,。近年來，三維浮雕微納結(jié)構(gòu)的需求越來越大,，如閃耀光柵,、菲涅爾透鏡、多臺階微光學(xué)元件等,。據(jù)悉,，蘋果公司新上市的手機(jī)產(chǎn)品中人臉識別模塊就采用了多臺階微光學(xué)元件，以及當(dāng)下如火如荼的無人駕駛技術(shù)中激光雷達(dá)光學(xué)系統(tǒng)也用到了復(fù)雜的微光學(xué)元件,。這類精密的微納結(jié)構(gòu)光學(xué)元件需采用灰度光刻技術(shù)進(jìn)行制作,。直寫技術(shù)，通過在光束移動過程中進(jìn)行相應(yīng)的曝光能量調(diào)節(jié),，可以實現(xiàn)良好的灰度光刻能力,。 微納加工平臺主要提供微納加工技術(shù)工藝，包括光刻,、磁控濺射,、電子束蒸鍍、濕法腐蝕,、表面形貌測量等,。濟(jì)寧鍍膜微納加工

在微電子與光電子集成中，薄膜的形成方法主要有兩大類,，及沉積和外延生長,。沉積技術(shù)分為物理沉積、化學(xué)沉積和混合方法沉積,。蒸發(fā)沉積（熱蒸發(fā),、電子束蒸發(fā)）和濺射沉積是典型的物理方法,；化學(xué)氣相沉積是典型的化學(xué)方法；等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積是物理與化學(xué)方法相結(jié)合的混合方法,。薄膜沉積過程,，通常生成的是非晶膜和多晶膜，沉積部位和晶態(tài)結(jié)構(gòu)都是隨機(jī)的,，而沒有固定的晶態(tài)結(jié)構(gòu),。外延生長實質(zhì)上是材料科學(xué)的薄膜加工方法，其含義是：在一個單晶的襯底上,，定向地生長出與基底晶態(tài)結(jié)構(gòu)相同或相似的晶態(tài)薄層,。其他薄膜成膜方法，如電化學(xué)沉積,、脈沖激光沉積法,、溶膠凝膠法、自組裝法等,，也都廣用于微納制作工藝中,。不同的表面微納結(jié)構(gòu)可以呈現(xiàn)出相應(yīng)的功能，隨著科技的發(fā)展,，不同功能的微納結(jié)構(gòu)及器件將會得到更多的應(yīng)用,。目前表面功能微納結(jié)構(gòu)及器件,，諸如超材料、超表面等充滿“神奇”力量的結(jié)構(gòu)或器件,，的發(fā)展仍受到微納加工技術(shù)的限制,。因此，研究功能微納結(jié)構(gòu)及器件需要從微納結(jié)構(gòu)的加工技術(shù)方面進(jìn)行廣深入的研究,，提高微納加工技術(shù)的加工能力和效率是未來微納結(jié)構(gòu)及器件研究的重點方向。棗莊微納加工微納加工設(shè)備主要有：光刻,、刻蝕,、鍍膜、濕法腐蝕,、絕緣層鍍膜等！

     微納加工可以滿足高精度三維結(jié)構(gòu)制備,、多材料微納結(jié)構(gòu)加工以及器件成型與集成的加工需求,，因此，在各類微納結(jié)構(gòu)化功能部件的研制中展現(xiàn)出了很大的技術(shù)優(yōu)勢。目前,，飛秒激光已經(jīng)廣泛應(yīng)用于多個前沿科學(xué)領(lǐng)域,。利用飛秒激光可以制備各種微光學(xué)器件，如微透鏡陣列,、仿生復(fù)眼,、光波導(dǎo)和超表面等。吉林大學(xué)研究團(tuán)隊利用雙光子聚合技術(shù)制備了一種基于仿生蛋白質(zhì)的微透鏡,，該透鏡在外界刺激下可動態(tài)調(diào)節(jié)焦距,，同時具有獨特的伸縮性,、良好的生物相容性和生物可降解性；進(jìn)一步該團(tuán)隊利用激光加工技術(shù)制備了可變焦的仿生復(fù)眼,，實現(xiàn)了大視場變焦成像的功能,，如圖1所示。利用其高精度,、高分辨率和三維加工能力，飛秒激光加工技術(shù)成為制備三維微流控芯片的強(qiáng)大工具,。

    微納加工：干法刻蝕VS濕法刻蝕,！刻蝕工藝：用化學(xué)或物理方法有選擇性地從某一材料表面去除不需要那部分的過程,，獲得目標(biāo)圖形,。在半導(dǎo)體制造中有兩種基本的刻蝕工藝：干法刻蝕和濕法刻蝕。干法刻蝕的刻蝕劑是等離子體,，是利用等離子體和表面薄膜反應(yīng),，形成揮發(fā)性物質(zhì)，或直接轟擊薄膜表面使之被刻蝕的工藝,。特點：能實現(xiàn)各向異性刻蝕，從而保證細(xì)小圖形轉(zhuǎn)移后的保真性,。缺點：造價高,。濕法刻蝕是通過化學(xué)刻蝕液和被刻蝕物質(zhì)之間的化學(xué)反應(yīng)將被刻蝕物質(zhì)剝離下來的方法。大多數(shù)濕法刻蝕是不容易控制的各向同性刻蝕,。特點：適應(yīng)性強(qiáng)，表面均勻性好,、對硅片損傷少,，幾乎適用于所有的金屬,、玻璃,、塑料等材料,。缺點：圖形刻蝕保真想過不理想,，刻蝕圖形的小線難以掌控。 在硅材料刻蝕當(dāng)中,，硅針的刻蝕需要用到各向同性刻蝕,，硅柱的刻蝕需要用到各項異性刻蝕。

         微納加工技術(shù)也可分為機(jī)械加工,、化學(xué)腐蝕、能量束加工,、復(fù)合加工,、隧道掃描顯微技術(shù)加工等方法,。機(jī)械加工方法包括單晶金剛石刀具的超精密切割、金剛石砂輪和CBN砂輪的超精密磨削和鏡面磨削,、磨削,、砂帶拋光等固定磨料工具的加工、磨削,、拋光等自由磨料的加工。能束加工可以去除加工對象,、添加和表面改性,。例如，激光切割,、鉆孔和表面硬化改性,。光刻,、焊接、微米和納米鉆孔,、切割,、離子和等離子體蝕刻等。能量束的加工方法還包括電火花加工、電化學(xué)加工,、電解射流加工、分子束延伸等,。微納加工是的技術(shù),，可以進(jìn)行原子級操作和原子去除、添加和搬遷,。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所微納加工平臺，面向半導(dǎo)體光電子器件,、功率電子器件,、MEMS、生物芯片等前沿領(lǐng)域,，致力于打造的公益性、開放性,、支撐性樞紐中心,。平臺擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線,，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸）,，同時形成了一支與硬件有機(jī)結(jié)合的專業(yè)人才隊伍。平臺當(dāng)前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務(wù),，面向國內(nèi)外高校、科研院所以及企業(yè)提供開放共享,，為技術(shù)咨詢,、創(chuàng)新研發(fā)、技術(shù)驗證以及產(chǎn)品中試提供技術(shù)支持,。濕法刻蝕較普遍,、也是成本較低的刻蝕方法！眉山微納加工平臺

微納加工包括光刻,、磁控濺射,、電子束蒸鍍、濕法腐蝕,、干法腐蝕,、表面形貌測量等!濟(jì)寧鍍膜微納加工

近年來，隨著國內(nèi)消費電子產(chǎn)品的服務(wù)型發(fā)展,，電子元器件行業(yè)也突飛猛進(jìn)。從產(chǎn)業(yè)歷史沿革來看,，2000年,、2007年、2011年,、2015年堪稱是行業(yè)的幾個高峰。從2016年至今,，電子元器件產(chǎn)業(yè)更是陸續(xù)迎來了漲價潮,。電子元器件應(yīng)用領(lǐng)域十分寬泛，幾乎涉及到國民經(jīng)濟(jì)各個工業(yè)部門和社會生活各個方面,，既包括電力、機(jī)械,、礦冶,、交通、化工,、輕紡等傳統(tǒng)工業(yè),，也涵蓋航天,、激光、通信,、高速軌道交通,、機(jī)器人、電動汽車,、新能源等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè),。眼下,，市場缺口較大的，還是LCD領(lǐng)域,，由于LCD價格逐漸提高,，同時也開始向新的服務(wù)型方向發(fā)展，相應(yīng)的電子元器件產(chǎn)能并沒有及時跟進(jìn),。因此,，對于理財者來說，從這一方向入手,，有望把握下**業(yè)增長的紅利,。目前國內(nèi)外面臨較為復(fù)雜的經(jīng)濟(jì)環(huán)境,傳統(tǒng)電子制造企業(yè)提升自身技術(shù)能力是破局轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵。通過推動和支持傳統(tǒng)電子企業(yè)制造升級和自主創(chuàng)新,可以增強(qiáng)企業(yè)在產(chǎn)業(yè)鏈中的重點競爭能力,。同時我國層面通過財稅政策的持續(xù)推進(jìn),從實質(zhì)上給予微納加工技術(shù)服務(wù)，真空鍍膜技術(shù)服務(wù),，紫外光刻技術(shù)服務(wù),，材料刻蝕技術(shù)服務(wù)創(chuàng)新型企業(yè)以支持,亦將對產(chǎn)業(yè)進(jìn)步產(chǎn)生更深遠(yuǎn)的影響。濟(jì)寧鍍膜微納加工

廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所匯集了大量的優(yōu)秀人才,，集企業(yè)奇思，創(chuàng)經(jīng)濟(jì)奇跡,，一群有夢想有朝氣的團(tuán)隊不斷在前進(jìn)的道路上開創(chuàng)新天地,，繪畫新藍(lán)圖，在廣東省等地區(qū)的電子元器件中始終保持良好的信譽(yù),，信奉著“爭取每一個客戶不容易,，失去每一個用戶很簡單”的理念,，市場是企業(yè)的方向，質(zhì)量是企業(yè)的生命,，在公司有效方針的領(lǐng)導(dǎo)下,，全體上下，團(tuán)結(jié)一致,，共同進(jìn)退，**協(xié)力把各方面工作做得更好,，努力開創(chuàng)工作的新局面,，公司的新高度，未來廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)和您一起奔向更美好的未來,，即使現(xiàn)在有一點小小的成績,，也不足以驕傲,，過去的種種都已成為昨日我們只有總結(jié)經(jīng)驗,，才能繼續(xù)上路,，讓我們一起點燃新的希望，放飛新的夢想,！