當(dāng)微納加工技術(shù)應(yīng)用到光電子領(lǐng)域，就形成了新興的納米光電子技術(shù),，主要研究納米結(jié)構(gòu)中光與電子相互作用及其能量互換的技術(shù).納米光電子技術(shù)在過去的十多年里,，一方面，以低維結(jié)構(gòu)材料生長和能帶工程為基礎(chǔ)的納米制造技術(shù)有了長足的發(fā)展,，包括分子束外延(MBE),、金屬有機化學(xué)氣相淀積(MOCVD)和化學(xué)束外延(CBE)，使得在晶片表面外延生長方向(直方向)的外延層精度控制到單個原子層,，從而獲得了具有量子尺寸效應(yīng)的半導(dǎo)體材料;另一方面,，平面納米加工工藝實現(xiàn)了納米尺度的光刻和橫向刻蝕，使得人工橫向量子限制的量子線與量子點的制作成為可能.同時,，光子晶體概念的出現(xiàn),，使得納米平面加工工藝廣地應(yīng)用到光介質(zhì)材料折射率周期性的改變中。微納加工技術(shù)對現(xiàn)代的生活,、生產(chǎn)產(chǎn)生了巨大的促進作用,，并催生了一批新興產(chǎn)業(yè)。超快微納加工技術(shù)

皮秒激光精密微孔加工應(yīng)用作為一種激光精密加工技術(shù),，皮秒激光在對高硬度金屬微孔加工方面的應(yīng)用早在20世紀(jì)90年代初就有報道,。1996年德國學(xué)者Chichkov等研究了納秒、皮秒以及飛秒激光與材料的作用機理,，并在真空靶室中對厚度100μm的不銹鋼進行了打孔實驗,，建立了激光微納加工的理論模型,，為后續(xù)的激光微納加工實驗研究奠定了堅實的理論基礎(chǔ)。1998年Jandeleit等對厚度為250nm的銅膜進行了精密制孔實驗,，實驗指出使用同一脈寬的皮秒激光器對厚度較薄的金屬材料制孔時,，采用高峰值功率更有可能獲得高質(zhì)量的的制孔效果。然而,，優(yōu)異的加工效果不僅取決于脈沖寬度以及峰值功率,，制孔方式也是一個至關(guān)重要的因素，針對這一問題,，F(xiàn)ohl等采用納秒激光與飛秒激光對制孔方式進行了深入研究,，實驗結(jié)果顯示納秒激光采用螺旋制孔方式所加工的微孔整潔干凈，而飛秒激光采用一般的沖擊制孔方式所加工的微孔邊緣有明顯的再鑄層,。洛陽超快微納加工在微納加工過程中,，蒸發(fā)沉積和濺射沉積是典型的物理方法，主要用于沉積金屬單質(zhì)薄膜,、合金薄膜,、化合物等！

電子束光刻技術(shù)是利用電子束在涂有電子抗蝕劑的晶片上直接描畫或投影復(fù)印圖形的技術(shù).電子抗蝕劑是一種對電子敏感的高分子聚合物,，經(jīng)過電子束掃描過的電子抗蝕劑發(fā)生分子鏈重組,，使曝光圖形部分的抗蝕劑發(fā)生化學(xué)性質(zhì)改變。經(jīng)過顯影和定影,，獲得高分辨率的抗蝕劑曝光圖形。電子束光刻技術(shù)的主要工藝過程為涂膠,、前烘,、電子束曝光、顯影和堅膜?，F(xiàn)代的電子束光刻設(shè)備已經(jīng)能夠制作小于10nm的精細線條結(jié)構(gòu),。電子束光刻設(shè)備也是制作光學(xué)掩膜版的重要工具。影響曝光精度的內(nèi)部工藝因素主要取決于電子束斑尺寸,、掃描步長,、電子束流劑量和電子散射引起的鄰近效應(yīng)。

    光刻是半導(dǎo)體制造中常用的技術(shù)之一,，是現(xiàn)代光電子器件制造的基礎(chǔ),。實際應(yīng)用中存在兩個主要挑戰(zhàn)：一是與FIB和EBL相比，分辨率還不夠高,；二是由于直接的激光寫入器逐點生成圖案,，因此吞吐量是一個很大的挑戰(zhàn)。對于上述兩個挑戰(zhàn)：分辨率方面,，一是可以通過原子力顯微鏡（AFM）或掃描近場顯微鏡（SNOM）等近場技術(shù)來提高,，二是可以通過使用短波長光源來提高,，三是可以通過非線性吸收實現(xiàn)超分辨率成像或制造；制造速度方面,，除了工程學(xué)方法外,，隨著激光技術(shù)的發(fā)展，主要是提出了包括自組裝微球激光加工,、激光干涉光刻,、多焦陣列激光直寫等并行激光加工方法來提高制造速度。并行激光加工技術(shù)可以將二維加工技術(shù)擴展到三維加工,，為未來微納加工技術(shù)的發(fā)展提供新的方向,；同時可以地廣泛應(yīng)用于傳感、太陽能電池和超材料領(lǐng)域的表面處理和功能器件制造,，對生物醫(yī)學(xué)器件制造,、光通信、傳感,、以及光譜學(xué)等領(lǐng)域得發(fā)展研究具有重要意義,。 微納加工平臺，主要是兩個方面：微納加工,、微納檢測,！

    微納加工大致可以分為“自上而下”和“自下而上”兩類?！白陨隙隆笔菑暮暧^對象出發(fā),，以光刻工藝為基礎(chǔ)，對材料或原料進行加工,，小結(jié)果尺寸和精度通常由光刻或刻蝕環(huán)節(jié)的分辨力決定,。“自下而上”技術(shù)則是從微觀世界出發(fā),，通過控制原子,、分子和其他納米對象的相互作用力將各種單元構(gòu)建在一起，形成微納結(jié)構(gòu)與器件,。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所微納加工平臺,，面向半導(dǎo)體光電子器件、功率電子器件,、MEMS,、生物芯片等前沿領(lǐng)域，致力于打造的公益性,、開放性,、支撐性樞紐中心。平臺擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備,，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線,，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸）,，同時形成了一支與硬件有機結(jié)合的專業(yè)人才隊伍。平臺當(dāng)前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務(wù),，面向國內(nèi)外高校,、科研院所以及企業(yè)提供開放共享，為技術(shù)咨詢,、創(chuàng)新研發(fā),、技術(shù)驗證以及產(chǎn)品中試提供技術(shù)支持。 微納加工平臺支持基礎(chǔ)信息器件與系統(tǒng)等多領(lǐng)域,、交叉學(xué)科,，開展前沿信息科學(xué)研究和技術(shù)開發(fā)。新余超快微納加工

微納加工按技術(shù)分類,，主要分為平面工藝,、探針工藝、模型工藝,！超快微納加工技術(shù)

     在過去的50多年中,，微納加工技術(shù)的進步極大地促進了微電子技術(shù)和光電子技術(shù)的發(fā)展。微電子技術(shù)的發(fā)展以超大規(guī)模集成電路為,，集成度以每18個月翻一番的速度提高,，使得以90nm為小電路尺寸的集成電路芯片已經(jīng)開始批量生產(chǎn).以光刻與刻蝕為基礎(chǔ)的平面為加工技術(shù)已經(jīng)成為超大規(guī)模集成電路的技術(shù)，隨著電子束光刻技術(shù)和電感耦合等離子體(ICP)刻蝕技術(shù)的出現(xiàn),，平面微納加工工藝正在推動以單電子器件與自旋電子器件為的新一代納米電子學(xué)的發(fā)展.超快微納加工技術(shù)

廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所是一家有著先進的發(fā)展理念,，先進的管理經(jīng)驗，在發(fā)展過程中不斷完善自己,，要求自己,，不斷創(chuàng)新，時刻準(zhǔn)備著迎接更多挑戰(zhàn)的活力公司,，在廣東省等地區(qū)的電子元器件中匯聚了大量的人脈以及**，在業(yè)界也收獲了很多良好的評價,，這些都源自于自身不努力和大家共同進步的結(jié)果,，這些評價對我們而言是比較好的前進動力，也促使我們在以后的道路上保持奮發(fā)圖強,、一往無前的進取創(chuàng)新精神,，努力把公司發(fā)展戰(zhàn)略推向一個新高度，在全體員工共同努力之下,，全力拼搏將共同廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)和您一起攜手走向更好的未來,，創(chuàng)造更有價值的產(chǎn)品，我們將以更好的狀態(tài),，更認真的態(tài)度,，更飽滿的精力去創(chuàng)造,，去拼搏，去努力,，讓我們一起更好更快的成長,！