基于掩模板圖形傳遞的光刻工藝可制作宏觀尺寸的微細結(jié)構(gòu),，受光學(xué)衍射的極限，適用于微米以上尺度的微細結(jié)構(gòu)制作,，部分優(yōu)化的光刻工藝可能具有亞微米的加工能力,。例如，接觸式光刻的分辨率可能到達0.5μm,，采用深紫外曝光光源可能實現(xiàn)0.1μm,。但利用這種光刻技術(shù)實現(xiàn)宏觀面積的納米/亞微米圖形結(jié)構(gòu)的制作是可欲而不可求的,。近年來，國內(nèi)外很多學(xué)者相繼提出了超衍射極限光刻技術(shù),、周期減小光刻技術(shù)等,，力求通過曝光光刻技術(shù)實現(xiàn)大面積的亞微米結(jié)構(gòu)制作，但這類新型的光刻技術(shù)尚處于實驗室研究階段,。微納加工技術(shù)的特點多學(xué)科交叉,。上饒微納加工工藝流程

         微納加工技術(shù)也可分為機械加工、化學(xué)腐蝕,、能量束加工,、復(fù)合加工、隧道掃描顯微技術(shù)加工等方法,。機械加工方法包括單晶金剛石刀具的超精密切割,、金剛石砂輪和CBN砂輪的超精密磨削和鏡面磨削、磨削,、砂帶拋光等固定磨料工具的加工,、磨削、拋光等自由磨料的加工,。能束加工可以去除加工對象,、添加和表面改性。例如,，激光切割,、鉆孔和表面硬化改性。光刻,、焊接,、微米和納米鉆孔、切割,、離子和等離子體蝕刻等,。能量束的加工方法還包括電火花加工、電化學(xué)加工,、電解射流加工,、分子束延伸等。微納加工是的技術(shù),，可以進行原子級操作和原子去除,、添加和搬遷。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所微納加工平臺,，面向半導(dǎo)體光電子器件,、功率電子器件、MEMS、生物芯片等前沿領(lǐng)域,，致力于打造的公益性,、開放性、支撐性樞紐中心,。平臺擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線,，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸）,，同時形成了一支與硬件有機結(jié)合的專業(yè)人才隊伍。平臺當前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務(wù),，面向國內(nèi)外高校,、科研院所以及企業(yè)提供開放共享，為技術(shù)咨詢,、創(chuàng)新研發(fā),、技術(shù)驗證以及產(chǎn)品中試提供技術(shù)支持。太原微納加工設(shè)備通過光刻技術(shù)制作出的微納結(jié)構(gòu)需進一步通過刻蝕或者鍍膜,，才可獲得所需的結(jié)構(gòu)或元件,。

    光刻是半導(dǎo)體制造中常用的技術(shù)之一，是現(xiàn)代光電子器件制造的基礎(chǔ),。實際應(yīng)用中存在兩個主要挑戰(zhàn)：一是與FIB和EBL相比,，分辨率還不夠高；二是由于直接的激光寫入器逐點生成圖案,，因此吞吐量是一個很大的挑戰(zhàn),。對于上述兩個挑戰(zhàn)：分辨率方面，一是可以通過原子力顯微鏡（AFM）或掃描近場顯微鏡（SNOM）等近場技術(shù)來提高,，二是可以通過使用短波長光源來提高,，三是可以通過非線性吸收實現(xiàn)超分辨率成像或制造；制造速度方面,，除了工程學(xué)方法外,，隨著激光技術(shù)的發(fā)展，主要是提出了包括自組裝微球激光加工,、激光干涉光刻,、多焦陣列激光直寫等并行激光加工方法來提高制造速度。并行激光加工技術(shù)可以將二維加工技術(shù)擴展到三維加工,，為未來微納加工技術(shù)的發(fā)展提供新的方向,；同時可以地廣泛應(yīng)用于傳感、太陽能電池和超材料領(lǐng)域的表面處理和功能器件制造,，對生物醫(yī)學(xué)器件制造,、光通信、傳感、以及光譜學(xué)等領(lǐng)域得發(fā)展研究具有重要意義,。

      光刻是微納加工技術(shù)中關(guān)鍵的工藝步驟,，光刻的工藝水平?jīng)Q定產(chǎn)品的制程水平和性能水平。光刻的原理是在基底表面覆蓋一層具有高度光敏感性光刻膠,，再用光線（一般是紫外光,、深紫外光、極紫外光）透過光刻板照射在基底表面,，被光線照射到的光刻膠會發(fā)生反應(yīng),。此后用顯影液洗去被照射/未被照射的光刻膠， 就實現(xiàn)了圖形從光刻板到基底的轉(zhuǎn)移,。光刻膠分為正性光刻和負性光刻兩種基本工藝,，區(qū)別在于兩者使用的光刻膠的類型不同。負性光刻使用的光刻膠在曝光后會因為交聯(lián)而變得不可溶解,，并會固化,，不會被溶劑洗掉，從而該部分硅片不會在后續(xù)流程中被腐蝕掉,，負性光刻光刻膠上的圖形與掩模版上圖形相反,。應(yīng)用于MEMS制作的襯底可以說是各種各樣的，如硅晶圓,、玻璃晶圓,、塑料、還其他的材料,！

光刻是半導(dǎo)體制造中常用的技術(shù)之一,，是現(xiàn)代光電子器件制造的基礎(chǔ)。然而,，深紫外和極紫外光刻系統(tǒng)及其相應(yīng)的光學(xué)掩模都是基于低速高成本的電子束光刻（EBL）或者聚焦離子束刻蝕(FIB)技術(shù),，導(dǎo)致其價格都相對昂貴。因此,，無掩模的高速制備法是微納結(jié)構(gòu)制備的優(yōu)先方法,。在這些無掩模方法中，直接激光寫入(direct laser writing, DLW)是一種重要的,、被廣采用的微處理技術(shù),，能夠提供比較低的價格和相對較高的吞吐量。但是,，實際應(yīng)用中存在兩個主要挑戰(zhàn)：一是與FIB和EBL相比,，分辨率還不夠高。應(yīng)用于MEMS制作的襯底可以說是各種各樣的,，如硅晶圓,、玻璃晶圓,、塑料、還其他的材料,。肇慶微納加工

微納加工平臺包括光刻,、磁控濺射、電子束蒸鍍,、濕法腐蝕,、干法腐蝕、表面形貌測量,！上饒微納加工工藝流程

微納制造可以應(yīng)用在什么哪些領(lǐng)域,？微納制造作為國家新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重大關(guān)鍵技術(shù)之一，對國家裝備實力和國民經(jīng)濟技術(shù)的發(fā)展起到重要作用,。微納制造技術(shù)的進步，推動著三大前沿科技的發(fā)展：生物技術(shù),、信息技術(shù),、納米技術(shù)。由于微納制造技術(shù)產(chǎn)品有體積小,、集成度高,、重量輕、智能化程度高等諸多優(yōu)點,，在信息科學(xué),、生物醫(yī)療、航空航天等領(lǐng)域廣的應(yīng)用,。微納加工技術(shù)是先進制造的重要組成部分,，是衡量國家高質(zhì)量的制造業(yè)水平的標志之一，具有多學(xué)科交叉性和制造要素極端性的特點,，在推動科技進步,、促進產(chǎn)業(yè)發(fā)展、拉動科技進步,、保障**安全等方面都發(fā)揮著關(guān)鍵作用,。微納加工技術(shù)的基本手段包括微納加工方法與材料科學(xué)方法兩種。很顯然,，微納加工技術(shù)與微電子工藝技術(shù)有密切關(guān)系,。上饒微納加工工藝流程

廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所在同行業(yè)領(lǐng)域中，一直處在一個不斷銳意進取,，不斷制造創(chuàng)新的市場高度,，多年以來致力于發(fā)展富有創(chuàng)新價值理念的產(chǎn)品標準，在廣東省等地區(qū)的電子元器件中始終保持良好的商業(yè)口碑,，成績讓我們喜悅,，但不會讓我們止步,，殘酷的市場磨煉了我們堅強不屈的意志，和諧溫馨的工作環(huán)境,，富有營養(yǎng)的公司土壤滋養(yǎng)著我們不斷開拓創(chuàng)新,，勇于進取的無限潛力，廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)攜手大家一起走向共同輝煌的未來,，回首過去,，我們不會因為取得了一點點成績而沾沾自喜，相反的是面對競爭越來越激烈的市場氛圍,，我們更要明確自己的不足,，做好迎接新挑戰(zhàn)的準備，要不畏困難,，激流勇進,，以一個更嶄新的精神面貌迎接大家，共同走向輝煌回來,！