MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）,，是指以微型化、系統(tǒng)化的理論為指導(dǎo),，通過半導(dǎo)體制造等微納加工手段,，形成特征尺度為微納米量級的系統(tǒng)裝置,。相對于先進(jìn)的集成電路（IC）制造工藝（遵循摩爾定律），MEMS制造工藝不單純追求線寬而注重功能特色化,，即利用微納結(jié)構(gòu)或/和敏感材料實現(xiàn)多種傳感和執(zhí)行功能,，工藝節(jié)點通常從500nm到110nm，襯底材料也不局限硅,，還包括玻璃,、聚合物、金屬等,。由MEMS技術(shù)構(gòu)建的產(chǎn)品往往具有體積小,、重量輕、功耗低,、成本低等優(yōu)點,，已廣泛應(yīng)用于汽車、手機(jī),、工業(yè),、醫(yī)療、**,、航空航天等領(lǐng)域,。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所微納加工平臺,，面向半導(dǎo)體光電子器件,、功率電子器件、MEMS,、生物芯片等前沿領(lǐng)域,，致力于打造的公益性、開放性,、支撐性樞紐中心,。平臺擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線,，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸）,，同時形成了一支與硬件有機(jī)結(jié)合的專業(yè)人才隊伍。平臺當(dāng)前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務(wù),，面向國內(nèi)外高校,、科研院所以及企業(yè)提供開放共享，為技術(shù)咨詢,、創(chuàng)新研發(fā),、技術(shù)驗證以及產(chǎn)品中試提供技術(shù)支持。 高精度的微細(xì)結(jié)構(gòu)通過控制聚焦電子束（光束）移動書寫圖案進(jìn)行曝光,。濟(jì)南鍍膜微納加工

       當(dāng)微納加工技術(shù)應(yīng)用到光電子領(lǐng)域,，就形成了新興的納米光電子技術(shù),，主要研究納米結(jié)構(gòu)中光與電子相互作用及其能量互換的技術(shù).納米光電子技術(shù)在過去的十多年里，一方面,，以低維結(jié)構(gòu)材料生長和能帶工程為基礎(chǔ)的納米制造技術(shù)有了長足的發(fā)展,，包括分子束外延(MBE)、金屬有機(jī)化學(xué)氣相淀積(MOCVD)和化學(xué)束外延(CBE),，使得在晶片表面外延生長方向(直方向)的外延層精度控制到單個原子層,，從而獲得了具有量子尺寸效應(yīng)的半導(dǎo)體材料;另一方面，平面納米加工工藝實現(xiàn)了納米尺度的光刻和橫向刻蝕,，使得人工橫向量子限制的量子線與量子點的制作成為可能.同時,，光子晶體概念的出現(xiàn)，使得納米平面加工工藝廣地應(yīng)用到光介質(zhì)材料折射率周期性的改變中,。石家莊微納加工設(shè)備微納加工平臺,，主要是兩個方面：微納加工、微納檢測,！

微納制造可以應(yīng)用在什么哪些領(lǐng)域,？微納制造作為國家新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重大關(guān)鍵技術(shù)之一，對國家裝備實力和國民經(jīng)濟(jì)技術(shù)的發(fā)展起到重要作用,。微納制造技術(shù)的進(jìn)步,，推動著三大前沿科技的發(fā)展：生物技術(shù)、信息技術(shù),、納米技術(shù),。由于微納制造技術(shù)產(chǎn)品有體積小、集成度高,、重量輕,、智能化程度高等諸多優(yōu)點，在信息科學(xué),、生物醫(yī)療,、航空航天等領(lǐng)域廣的應(yīng)用。微納加工技術(shù)是先進(jìn)制造的重要組成部分,，是衡量國家高質(zhì)量的制造業(yè)水平的標(biāo)志之一,，具有多學(xué)科交叉性和制造要素極端性的特點，在推動科技進(jìn)步,、促進(jìn)產(chǎn)業(yè)發(fā)展,、拉動科技進(jìn)步、保障**安全等方面都發(fā)揮著關(guān)鍵作用,。微納加工技術(shù)的基本手段包括微納加工方法與材料科學(xué)方法兩種,。很顯然，微納加工技術(shù)與微電子工藝技術(shù)有密切關(guān)系,。

    微納加工中蒸鍍的物理過程包括：沉積材料蒸發(fā)或升華為氣態(tài)粒子→氣態(tài)粒子快速從蒸發(fā)源向基片表面輸送→氣態(tài)粒子附著在基片表面形核,、長大成固體薄膜→薄膜原子重構(gòu)或產(chǎn)生化學(xué)鍵合,。將襯底放入真空室內(nèi)，以電阻,、電子束,、激光等方法加熱膜料，使膜料蒸發(fā)或升華,，氣化為具有一定能量（～eV）的粒子（原子,、分子或原子團(tuán)）。氣態(tài)粒子以基本無碰撞的直線運動飛速傳送至襯底,，到達(dá)襯底表面的粒子一部分被反射,，另一部分吸附在襯底上并發(fā)生表面擴(kuò)散，沉積原子之間產(chǎn)生二維碰撞,，形成簇團(tuán),，有的可能在表面短時停留后又蒸發(fā)。粒子簇團(tuán)不斷地與擴(kuò)散粒子相碰撞,，或吸附單粒子,，或放出單粒子。此過程反復(fù)進(jìn)行,，當(dāng)聚集的粒子數(shù)超過某一臨界值時就變?yōu)榉€(wěn)定的核,，再繼續(xù)吸附擴(kuò)散粒子而逐步長大，終通過相鄰穩(wěn)定核的接觸,、合并,，形成連續(xù)薄膜。膜方法簡單,、薄膜純度和致密性高,、膜結(jié)構(gòu)和性能獨特等優(yōu)點,。所謂濺射鍍膜是指在真空室中,，利用荷能粒子（如正離子）轟擊靶材，使靶材表面原子或原子團(tuán)逸出,，逸出的原子在工件的表面形成與靶材成分相同的薄膜,，這種制備薄膜的方法稱為濺射鍍膜。目前,，濺射法主要用于形成金屬或合金薄膜,，特別是用于制作電子元件的電極和玻璃表面紅外線反射薄膜。 微納加工涉及領(lǐng)域廣,、多學(xué)科交叉融合,，其較主要的發(fā)展方向是微納器件與系統(tǒng)（MEMS）。

在微電子與光電子集成中,，薄膜的形成方法主要有兩大類,，及沉積和外延生長,。沉積技術(shù)分為物理沉積、化學(xué)沉積和混合方法沉積,。蒸發(fā)沉積（熱蒸發(fā),、電子束蒸發(fā)）和濺射沉積是典型的物理方法；化學(xué)氣相沉積是典型的化學(xué)方法,；等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積是物理與化學(xué)方法相結(jié)合的混合方法,。薄膜沉積過程，通常生成的是非晶膜和多晶膜,，沉積部位和晶態(tài)結(jié)構(gòu)都是隨機(jī)的,，而沒有固定的晶態(tài)結(jié)構(gòu)。外延生長實質(zhì)上是材料科學(xué)的薄膜加工方法,，其含義是：在一個單晶的襯底上,，定向地生長出與基底晶態(tài)結(jié)構(gòu)相同或相似的晶態(tài)薄層。其他薄膜成膜方法,，如電化學(xué)沉積,、脈沖激光沉積法、溶膠凝膠法,、自組裝法等,，也都廣用于微納制作工藝中。光刻膠是微納加工中微細(xì)圖形加工的關(guān)鍵材料之一,。嘉興微納加工器件

微納加工技術(shù)具有高精度,、科技含量高、產(chǎn)品附加值高等特點,！濟(jì)南鍍膜微納加工

          美國在微納加工技術(shù)的發(fā)展中發(fā)揮著主導(dǎo)作用,。由于電子技術(shù)、計算機(jī)技術(shù),、航空航天技術(shù)和激光技術(shù)的需要,，美國于1962年開發(fā)了金剛石刀具超精細(xì)切割機(jī)床，解決了激光核聚變反射鏡,、天體望遠(yuǎn)鏡等光學(xué)部件和計算機(jī)磁盤加工,，奠定了微加工技術(shù)的基礎(chǔ)，隨后西歐和日本微加工技術(shù)發(fā)展迅速,。微納加工技術(shù)是一種新興的綜合加工技術(shù),。它整合了現(xiàn)代機(jī)械、光學(xué),、電子,、計算機(jī)、測量和材料等先進(jìn)技術(shù)成果,，使加工精度從20世紀(jì)60年代初的微米水平提高到目前的10m水平,，在幾十年內(nèi)提高了1～2個數(shù)量級,，很大程度提高了產(chǎn)品的性能和可靠性。目前,，微納加工技術(shù)已成為國家科技發(fā)展水平的重要標(biāo)志,。隨著各種新型功能陶瓷材料的成功開發(fā)和以這些材料為關(guān)鍵部件的各種裝置的高性能，功能陶瓷元件的加工精度達(dá)到納米級甚至更高,，有效地促進(jìn)了微納加工技術(shù)的進(jìn)步,。近年來，納米技術(shù)的出現(xiàn)挑戰(zhàn)了微納加工的極限加工精度一一原子級加工,。濟(jì)南鍍膜微納加工

廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所在同行業(yè)領(lǐng)域中,，一直處在一個不斷銳意進(jìn)取，不斷制造創(chuàng)新的市場高度,，多年以來致力于發(fā)展富有創(chuàng)新價值理念的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn),，在廣東省等地區(qū)的電子元器件中始終保持良好的商業(yè)口碑，成績讓我們喜悅,，但不會讓我們止步,，殘酷的市場磨煉了我們堅強(qiáng)不屈的意志，和諧溫馨的工作環(huán)境,，富有營養(yǎng)的公司土壤滋養(yǎng)著我們不斷開拓創(chuàng)新,，勇于進(jìn)取的無限潛力，廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)攜手大家一起走向共同輝煌的未來,，回首過去,，我們不會因為取得了一點點成績而沾沾自喜，相反的是面對競爭越來越激烈的市場氛圍,，我們更要明確自己的不足,，做好迎接新挑戰(zhàn)的準(zhǔn)備，要不畏困難,，激流勇進(jìn),，以一個更嶄新的精神面貌迎接大家，共同走向輝煌回來,！