2012年北京工業(yè)大學Duan等使用課題組自行研制的皮秒激光器對金屬鉬,、鈦和不銹鋼進行了精密制孔研究,，并利用旋切制孔方式對厚度為0.3mm的金屬鉬實現了孔徑?小于200μm的微孔加工，利用螺旋制孔方式在厚度為1mm不銹鋼上實現了孔徑為200μm的制孔效果,。實驗指出大口徑微孔加工應采用旋切制孔方式,，而加工較小口徑時則更宜選用螺旋制孔方式。皮秒激光精密微孔加工過程中,，對于厚度較小的材料(d<1μm),，由于激光與材料作用的時間較短，以采用高峰值功率,、窄脈寬的激光為宜,，而對于厚度在百微米甚至超過1mm的金屬材料的微孔加工，除了要考慮激光峰值功率以及脈沖寬度外,，選擇合適的制孔方式是必要的,。此外，根據材料結構的不同還應該選擇是否采用偏振輸出等因素,。濕法刻蝕較普遍,、也是成本較低的刻蝕方法！安康激光微納加工

    MEMS（微機電系統(tǒng)）,，是指以微型化,、系統(tǒng)化的理論為指導，通過半導體制造等微納加工手段,，形成特征尺度為微納米量級的系統(tǒng)裝置,。相對于先進的集成電路（IC）制造工藝（遵循摩爾定律），MEMS制造工藝不單純追求線寬而注重功能特色化,，即利用微納結構或/和敏感材料實現多種傳感和執(zhí)行功能,，工藝節(jié)點通常從500nm到110nm，襯底材料也不局限硅,，還包括玻璃,、聚合物、金屬等。由MEMS技術構建的產品往往具有體積小,、重量輕,、功耗低、成本低等優(yōu)點,，已廣泛應用于汽車,、手機、工業(yè),、醫(yī)療,、**、航空航天等領域,。廣東省科學院半導體研究所微納加工平臺,，面向半導體光電子器件、功率電子器件,、MEMS,、生物芯片等前沿領域，致力于打造的公益性,、開放性,、支撐性樞紐中心。平臺擁有半導體制備工藝所需的整套儀器設備,，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線,，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸），同時形成了一支與硬件有機結合的專業(yè)人才隊伍,。平臺當前緊抓技術創(chuàng)新和公共服務,，面向國內外高校、科研院所以及企業(yè)提供開放共享,，為技術咨詢,、創(chuàng)新研發(fā)、技術驗證以及產品中試提供技術支持,。 南平超快微納加工應用于MEMS制作的襯底可以說是各種各樣的,，如硅晶圓、玻璃晶圓,、塑料,、還其他的材料！

    微納加工即是微米級納米級單位的加工常常應用在材料科學和芯片設計等領域,，通俗的講就是把圖形轉移到襯底上面去,，一般襯底是Si，做微納加工第一步是要做光刻版的,。第一步版圖：一般要用CAD，EDA，Matlab,，L-edit,，potel軟件做圖形第二步制作光刻版：這里比較復雜我分為三步來介紹首先我們要了解光刻版的材料和它的結構，光刻版即是掩膜板材質只有兩種石英和蘇打（石英的透光率要比蘇打的透光率要好）蘇打和石英上面呢有一層ge金屬（ge金屬不透光）ge金屬上面還有一層光刻膠,。第一步：我們要確定我們光刻版的大?。ㄗ⒁夤饪贪嬉纫r底大一個英寸以便于光刻的時候光刻版能把襯底全部掩蓋住）以及小線寬和精度（這里直接關乎到我們制版的時候會用到什么設備）第二步：進行光刻我們需要用電子束將光刻版上面的光刻膠進行處理就是把圖形用電子束寫到光刻版上面去被紫外線照到的地方的光刻膠就會產生變性在用把光刻膠洗掉這一步也叫去膠,。廣東省科學院半導體研究所微納加工平臺,，面向半導體光電子器件、功率電子器件,、MEMS,、生物芯片等前沿領域，致力于打造的公益性,、開放性,、支撐性樞紐中心。平臺擁有半導體制備工藝所需的整套儀器設備,，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線,。

      在過去的二十年中，微機電系統(tǒng),、微系統(tǒng),、微機械及其子領域，微流體學片上實驗室,，光學MEMS,、RFMEMS、PowerMEMS,、BioMEMS及其擴展到納米級（例如,，用于納米機電系統(tǒng)的NEMS)已經重新使用，調整或擴展了微制造方法,。平板顯示器和太陽能電池也正在使用類似的技術,。各種設備的小型化在科學與工程的許多領域提出了挑戰(zhàn)：物理、化學,、材料科學,、計算機科學、超精密工程,、制造工藝和設備設計,。它也引起了各種各樣的跨學科研究。微納加工的主要概念和原理是微光刻,、摻雜,、薄膜、蝕刻、粘接和拋光,。應用于MEMS制作的襯底可以說是各種各樣的,，如硅晶圓、玻璃晶圓,、塑料,、還其他的材料。

    微納加工大致可以分為“自上而下”和“自下而上”兩類,?！白陨隙隆笔菑暮暧^對象出發(fā)，以光刻工藝為基礎,，對材料或原料進行加工,，小結果尺寸和精度通常由光刻或刻蝕環(huán)節(jié)的分辨力決定?！白韵露稀奔夹g則是從微觀世界出發(fā),，通過控制原子、分子和其他納米對象的相互作用力將各種單元構建在一起,，形成微納結構與器件,。廣東省科學院半導體研究所微納加工平臺，面向半導體光電子器件,、功率電子器件,、MEMS、生物芯片等前沿領域,，致力于打造的公益性,、開放性、支撐性樞紐中心,。平臺擁有半導體制備工藝所需的整套儀器設備,，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸）,，同時形成了一支與硬件有機結合的專業(yè)人才隊伍,。平臺當前緊抓技術創(chuàng)新和公共服務，面向國內外高校,、科研院所以及企業(yè)提供開放共享,，為技術咨詢、創(chuàng)新研發(fā),、技術驗證以及產品中試提供技術支持,。 微納結構器件是系統(tǒng)重要的組成部分，其制造的質量,、效率和成本直接影響著行業(yè)的發(fā)展,！大同微納加工器件封裝

微納制造技術研發(fā)和應用標志著人類可以在微,、納米尺度認識和改造世界。安康激光微納加工

        微納加工技術的發(fā)展,，將促進納米光電子器件向更深更廣的方向發(fā)展,。微納加工的半導體納米結構在光電子領域帶來許多新的量子物理效應,，如量子點的庫侖阻塞效應和光子輔助隧穿效應,，光子晶體的光子帶隙效應等。對這些新的納米結構帶來的新現象的研究將為研制新原理基礎上的新器件打下基礎,。廣東省科學院半導體研究所微納加工平臺,，面向半導體光電子器件、功率電子器件,、MEMS,、生物芯片等前沿領域，致力于打造的公益性,、開放性,、支撐性樞紐中心。平臺擁有半導體制備工藝所需的整套儀器設備,，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線,，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸），同時形成了一支與硬件有機結合的專業(yè)人才隊伍,。平臺當前緊抓技術創(chuàng)新和公共服務,，面向國內外高校、科研院所以及企業(yè)提供開放共享,，為技術咨詢,、創(chuàng)新研發(fā)、技術驗證以及產品中試提供技術支持,。安康激光微納加工

廣東省科學院半導體研究所專注技術創(chuàng)新和產品研發(fā),，發(fā)展規(guī)模團隊不斷壯大。公司目前擁有較多的高技術人才,，以不斷增強企業(yè)重點競爭力,，加快企業(yè)技術創(chuàng)新，實現穩(wěn)健生產經營,。誠實,、守信是對企業(yè)的經營要求，也是我們做人的基本準則,。公司致力于打造***的微納加工技術服務,，真空鍍膜技術服務，紫外光刻技術服務,，材料刻蝕技術服務,。公司力求給客戶提供全數良好服務,，我們相信誠實正直、開拓進取地為公司發(fā)展做正確的事情,，將為公司和個人帶來共同的利益和進步,。經過幾年的發(fā)展，已成為微納加工技術服務,，真空鍍膜技術服務,，紫外光刻技術服務，材料刻蝕技術服務行業(yè)出名企業(yè),。