2012年北京工業(yè)大學(xué)Duan等使用課題組自行研制的皮秒激光器對金屬鉬、鈦和不銹鋼進(jìn)行了精密制孔研究,，并利用旋切制孔方式對厚度為0.3mm的金屬鉬實(shí)現(xiàn)了孔徑?小于200μm的微孔加工,，利用螺旋制孔方式在厚度為1mm不銹鋼上實(shí)現(xiàn)了孔徑為200μm的制孔效果。實(shí)驗(yàn)指出大口徑微孔加工應(yīng)采用旋切制孔方式,，而加工較小口徑時(shí)則更宜選用螺旋制孔方式,。皮秒激光精密微孔加工過程中，對于厚度較小的材料(d<1μm),，由于激光與材料作用的時(shí)間較短,，以采用高峰值功率,、窄脈寬的激光為宜，而對于厚度在百微米甚至超過1mm的金屬材料的微孔加工,，除了要考慮激光峰值功率以及脈沖寬度外,，選擇合適的制孔方式是必要的。此外,，根據(jù)材料結(jié)構(gòu)的不同還應(yīng)該選擇是否采用偏振輸出等因素,。未來幾年微納制造系統(tǒng)和平臺的發(fā)展前景包括的方面：智能的、可升級的和適應(yīng)性強(qiáng)的微納制造系統(tǒng),！廈門超快微納加工

     微納加工可以滿足高精度三維結(jié)構(gòu)制備,、多材料微納結(jié)構(gòu)加工以及器件成型與集成的加工需求，因此,，在各類微納結(jié)構(gòu)化功能部件的研制中展現(xiàn)出了很大的技術(shù)優(yōu)勢,。目前，飛秒激光已經(jīng)廣泛應(yīng)用于多個(gè)前沿科學(xué)領(lǐng)域,。利用飛秒激光可以制備各種微光學(xué)器件,，如微透鏡陣列、仿生復(fù)眼,、光波導(dǎo)和超表面等,。吉林大學(xué)研究團(tuán)隊(duì)利用雙光子聚合技術(shù)制備了一種基于仿生蛋白質(zhì)的微透鏡，該透鏡在外界刺激下可動態(tài)調(diào)節(jié)焦距,，同時(shí)具有獨(dú)特的伸縮性,、良好的生物相容性和生物可降解性；進(jìn)一步該團(tuán)隊(duì)利用激光加工技術(shù)制備了可變焦的仿生復(fù)眼,，實(shí)現(xiàn)了大視場變焦成像的功能,，如圖1所示。利用其高精度,、高分辨率和三維加工能力,，飛秒激光加工技術(shù)成為制備三維微流控芯片的強(qiáng)大工具。廈門超快微納加工通過光刻技術(shù)制作出的微納結(jié)構(gòu)需進(jìn)一步通過刻蝕或者鍍膜,，才可獲得所需的結(jié)構(gòu)或元件,。

        微納加工是指制造特征尺寸以納米為單位的結(jié)構(gòu)，尤其是側(cè)面小于20納米的結(jié)構(gòu),。目前的技術(shù)大多只允許在二維意義上進(jìn)行微納加工,。納加工通常用于制造計(jì)算機(jī)芯片，傳統(tǒng)的光刻技術(shù)是計(jì)算機(jī)行業(yè)的支柱,，可用于創(chuàng)建尺寸小于22m的特征,，雖然這是非常昂貴的，而目且目前還不被認(rèn)為是經(jīng)濟(jì)有效的。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所微納加工平臺,，面向半導(dǎo)體光電子器件,、功率電子器件、MEMS,、生物芯片等前沿領(lǐng)域,，致力于打造高級的公益性、開放性,、支撐性樞紐中心,。平臺擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備,，建立了一條實(shí)驗(yàn)室研發(fā)線和一條中試線,，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸），同時(shí)形成了一支與硬件有機(jī)結(jié)合的專業(yè)人才隊(duì)伍,。平臺當(dāng)前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務(wù),，面向國內(nèi)外高校、科研院所以及企業(yè)提供開放共享,，為技術(shù)咨詢,、創(chuàng)新研發(fā)、技術(shù)驗(yàn)證以及產(chǎn)品中試提供技術(shù)支持,。

    微納加工即是微米級納米級單位的加工常常應(yīng)用在材料科學(xué)和芯片設(shè)計(jì)等領(lǐng)域,，通俗的講就是把圖形轉(zhuǎn)移到襯底上面去，一般襯底是Si,，做微納加工第一步是要做光刻版的,。第一步版圖：一般要用CAD，EDA,，Matlab,，L-edit，potel軟件做圖形第二步制作光刻版：這里比較復(fù)雜我分為三步來介紹首先我們要了解光刻版的材料和它的結(jié)構(gòu),，光刻版即是掩膜板材質(zhì)只有兩種石英和蘇打（石英的透光率要比蘇打的透光率要好）蘇打和石英上面呢有一層ge金屬（ge金屬不透光）ge金屬上面還有一層光刻膠,。第一步：我們要確定我們光刻版的大小（注意光刻版要比襯底大一個(gè)英寸以便于光刻的時(shí)候光刻版能把襯底全部掩蓋?。┮约靶【€寬和精度（這里直接關(guān)乎到我們制版的時(shí)候會用到什么設(shè)備）第二步：進(jìn)行光刻我們需要用電子束將光刻版上面的光刻膠進(jìn)行處理就是把圖形用電子束寫到光刻版上面去被紫外線照到的地方的光刻膠就會產(chǎn)生變性在用把光刻膠洗掉這一步也叫去膠,。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所微納加工平臺，面向半導(dǎo)體光電子器件,、功率電子器件,、MEMS、生物芯片等前沿領(lǐng)域,，致力于打造的公益性,、開放性、支撐性樞紐中心。平臺擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備,，建立了一條實(shí)驗(yàn)室研發(fā)線和一條中試線,。 微納加工中，材料濕法腐蝕是一個(gè)常用的工藝方法,。

   廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所致力于推動微納加工技術(shù)的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化,，為歐洲的微納產(chǎn)品制造商及設(shè)備供應(yīng)商提供技術(shù)支撐，幫助他們在關(guān)鍵技術(shù)領(lǐng)域建立,、維持全球地位,。 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所發(fā)布的微納加工技術(shù)前景展望總結(jié)了其戰(zhàn)略研究議程(SRA)的要點(diǎn)，確定出微納加工發(fā)展的新趨勢,，為維持和進(jìn)一步增強(qiáng)歐洲工業(yè)在微納加工技術(shù)領(lǐng)域中的地位,，提供了未來投資和研發(fā)戰(zhàn)略指導(dǎo)。從短期來看,，微納加工技術(shù)不會對環(huán)境和能源成本產(chǎn)生重大的影響,。受到當(dāng)前加工技術(shù)的限制，這些技術(shù)在早期的發(fā)晨階段往往會有較高的能源成本,。與此同時(shí),，微納加工一旦成熟，將會消耗更少的能源與資源,，就此而言,，微納加工無凝是一項(xiàng)令人振奮的技術(shù)。例如,，與去除邊角料獲得終產(chǎn)品不同的是,，微納加工采用的積層法將會使得廢料更少。微納加工涉及領(lǐng)域廣,、多學(xué)科交叉融合,，其較主要的發(fā)展方向是微納器件與系統(tǒng)（MEMS）！云浮微納加工應(yīng)用

微納加工技術(shù)指尺度為亞毫米,、微米和納米量級元件系統(tǒng)集成與應(yīng)用技術(shù),。廈門超快微納加工

    激光微納加工相比納秒激光器、連續(xù)激光器,，飛秒激光加工是“冷加工”,，其加工過程中幾近不會有熱：傳導(dǎo)。飛秒激光加工優(yōu)勢在于：峰值能量高,、加工精度高,、對材料幾乎無熱損傷等，其具體加工方式包括：蝕刻,、改性,、切割,、打孔、周雕刻以及集成電路光刻等,。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所微納加工平臺,，面向半導(dǎo)體光電子器件、功率電子器件,、MEMS,、生物芯片等前沿領(lǐng)域，致力于打造高級的公益性,、開放性,、支撐性樞紐中心。平臺擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備,，建立了一條實(shí)驗(yàn)室研發(fā)線和一條中試線,，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸），同時(shí)形成了一支與硬件有機(jī)結(jié)合的專業(yè)人才隊(duì)伍,。平臺當(dāng)前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務(wù),，面向國內(nèi)外高校,、科研院所以及企業(yè)提供開放共享,，為技術(shù)咨詢、創(chuàng)新研發(fā),、技術(shù)驗(yàn)證以及產(chǎn)品中試提供技術(shù)支持,。 廈門超快微納加工

廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所位于長興路363號，擁有一支專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì),。致力于創(chuàng)造***的產(chǎn)品與服務(wù),，以誠信、敬業(yè),、進(jìn)取為宗旨,，以建芯辰實(shí)驗(yàn)室,微納加工產(chǎn)品為目標(biāo)，努力打造成為同行業(yè)中具有影響力的企業(yè),。公司以用心服務(wù)為重點(diǎn)價(jià)值,，希望通過我們的專業(yè)水平和不懈努力，將面向半導(dǎo)體光電子器件,、功率電子器件,、MEMS、生物芯片等前沿領(lǐng)域,，致力于打造***的公益性,、開放性、支撐性樞紐中心,。平臺擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備,，建立了一條實(shí)驗(yàn)室研發(fā)線和一條中試線,，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸），同時(shí)形成了一支與硬件有機(jī)結(jié)合的專業(yè)人才隊(duì)伍,。平臺當(dāng)前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務(wù),，面向國內(nèi)外高校、科研院所以及企業(yè)提供開放共享,，為技術(shù)咨詢,、創(chuàng)新研發(fā)、技術(shù)驗(yàn)證以及產(chǎn)品中試提供支持,。等業(yè)務(wù)進(jìn)行到底,。廣東省半導(dǎo)體所始終以質(zhì)量為發(fā)展，把顧客的滿意作為公司發(fā)展的動力,，致力于為顧客帶來***的微納加工技術(shù)服務(wù),，真空鍍膜技術(shù)服務(wù)，紫外光刻技術(shù)服務(wù),，材料刻蝕技術(shù)服務(wù),。