微納加工大致可以分為“自上而下”和“自下而上”兩類?！白陨隙隆笔菑暮暧^對象出發(fā),，以光刻工藝為基礎(chǔ)，對材料或原料進行加工,，小結(jié)果尺寸和精度通常由光刻或刻蝕環(huán)節(jié)的分辨力決定,。“自下而上”技術(shù)則是從微觀世界出發(fā),，通過控制原子,、分子和其他納米對象的相互作用力將各種單元構(gòu)建在一起，形成微納結(jié)構(gòu)與器件,?；诠饪坦に嚨奈⒓{加工技術(shù)主要包含以下過程：掩模（mask）制備、圖形形成及轉(zhuǎn)移（涂膠,、曝光,、顯影）、薄膜沉積,、刻蝕,、外延生長、氧化和摻雜等,。在基片表面涂覆一層某種光敏介質(zhì)的薄膜（抗蝕膠）,，曝光系統(tǒng)把掩模板的圖形投射在（抗蝕膠）薄膜上，光（光子）的曝光過程是通過光化學(xué)作用使抗蝕膠發(fā)生光化學(xué)作用,，形成微細圖形的潛像,，再通過顯影過程使剩余的抗蝕膠層轉(zhuǎn)變成具有微細圖形的窗口，后續(xù)基于抗蝕膠圖案進行鍍膜,、刻蝕等可進一步制作所需微納結(jié)構(gòu)或器件,。 未來幾年微納制造系統(tǒng)和平臺的發(fā)展前景包括的方面：智能的、可升級的和適應(yīng)性強的微納制造系統(tǒng),！漢中微納加工平臺

    激光微納加工相比納秒激光器,、連續(xù)激光器，飛秒激光加工是“冷加工”,，其加工過程中幾近不會有熱：傳導(dǎo),。飛秒激光加工優(yōu)勢在于：峰值能量高、加工精度高,、對材料幾乎無熱損傷等,，其具體加工方式包括：蝕刻,、改性、切割,、打孔,、周雕刻以及集成電路光刻等。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所微納加工平臺,，面向半導(dǎo)體光電子器件,、功率電子器件、MEMS,、生物芯片等前沿領(lǐng)域,，致力于打造高級的公益性、開放性,、支撐性樞紐中心,。平臺擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線,，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸）,，同時形成了一支與硬件有機結(jié)合的專業(yè)人才隊伍。平臺當(dāng)前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務(wù),，面向國內(nèi)外高校,、科研院所以及企業(yè)提供開放共享，為技術(shù)咨詢,、創(chuàng)新研發(fā),、技術(shù)驗證以及產(chǎn)品中試提供技術(shù)支持。 佛山微納加工應(yīng)用微納加工技術(shù)的特點：微型化,。

       微納加工技術(shù)具有高精度,、科技含量高、產(chǎn)品附加值高等特點,，能突顯一個國家工業(yè)發(fā)展水平,，在推動科技進步、促進產(chǎn)業(yè)發(fā)展,、提升生活品質(zhì)等方面都發(fā)揮著重要作用,。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所微納加工平臺，是國內(nèi)少數(shù)擁有完整半導(dǎo)體工藝鏈的研究平臺之一,，可進行鍍膜,、光刻、刻蝕等工藝,，加工尺寸覆蓋2-6英寸,。微納加工平臺將面向國內(nèi)外科研機構(gòu)和企業(yè)提供全方面的開放服務(wù)，對半導(dǎo)體材料與器件的深入研發(fā)給予全方面支持，能夠為廣大科研單位和企業(yè)提供高質(zhì)量檔次服務(wù),。

基于掩模板圖形傳遞的光刻工藝可制作宏觀尺寸的微細結(jié)構(gòu),，受光學(xué)衍射的極限，適用于微米以上尺度的微細結(jié)構(gòu)制作,，部分優(yōu)化的光刻工藝可能具有亞微米的加工能力,。例如，接觸式光刻的分辨率可能到達0.5μm,，采用深紫外曝光光源可能實現(xiàn)0.1μm,。但利用這種光刻技術(shù)實現(xiàn)宏觀面積的納米/亞微米圖形結(jié)構(gòu)的制作是可欲而不可求的,。近年來,，國內(nèi)外很多學(xué)者相繼提出了超衍射極限光刻技術(shù)、周期減小光刻技術(shù)等,，力求通過曝光光刻技術(shù)實現(xiàn)大面積的亞微米結(jié)構(gòu)制作,，但這類新型的光刻技術(shù)尚處于實驗室研究階段。應(yīng)用于MEMS制作的襯底可以說是各種各樣的,，如硅晶圓,、玻璃晶圓、塑料,、還其他的材料,！

納秒和飛秒之間,皮秒激光微納加工應(yīng)用獨具優(yōu)勢！與傳統(tǒng)的微納加工技術(shù)相比,，激光微納加工具有如下獨特的優(yōu)點：非接觸加工不損壞工具,、能量可調(diào)、加工方式靈活,、可實現(xiàn)柔性加工等,。其中全固態(tài)皮秒激光具有極窄的脈沖寬度(皮秒)、極高的峰值功率(兆瓦)以及優(yōu)異的光束質(zhì)量,，被廣泛應(yīng)用于各種金屬,、非金屬材料的精密加工。研究表明,，脈沖寬度高于10ps的皮秒激光加工過程中有明顯的熱效應(yīng)存在,，而且隨著激光與材料作用時間的增加，工件表面會產(chǎn)生微裂紋以及再鑄層,；脈沖寬度低于5ps的皮秒激光與材料作用時會產(chǎn)生非線性效應(yīng),，這對金屬材料的加工非常不利。因此,，適合微納精密加工用的皮秒激光的脈沖寬度在5~10ps之間,。為了提高加工效率，重復(fù)頻率一般設(shè)定在十萬赫茲量級，而平均功率則根據(jù)所加工材料的燒蝕閾值而定,。新一代微納制造系統(tǒng)應(yīng)滿足的要求：能生產(chǎn)多種多樣高度復(fù)雜的微納產(chǎn)品,。廣安激光微納加工

在硅材料刻蝕當(dāng)中，硅針的刻蝕需要用到各向同性刻蝕,，硅柱的刻蝕需要用到各項異性刻蝕,！漢中微納加工平臺

      在過去的二十年中，微機電系統(tǒng),、微系統(tǒng),、微機械及其子領(lǐng)域，微流體學(xué)片上實驗室,，光學(xué)MEMS,、RFMEMS、PowerMEMS,、BioMEMS及其擴展到納米級（例如,，用于納米機電系統(tǒng)的NEMS)已經(jīng)重新使用，調(diào)整或擴展了微制造方法,。平板顯示器和太陽能電池也正在使用類似的技術(shù),。各種設(shè)備的小型化在科學(xué)與工程的許多領(lǐng)域提出了挑戰(zhàn)：物理、化學(xué),、材料科學(xué),、計算機科學(xué)、超精密工程,、制造工藝和設(shè)備設(shè)計,。它也引起了各種各樣的跨學(xué)科研究。微納加工的主要概念和原理是微光刻,、摻雜,、薄膜、蝕刻,、粘接和拋光,。漢中微納加工平臺

廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所辦公設(shè)施齊全，辦公環(huán)境優(yōu)越,，為員工打造良好的辦公環(huán)境,。在廣東省半導(dǎo)體所近多年發(fā)展歷史，公司旗下現(xiàn)有品牌芯辰實驗室,微納加工等,。公司堅持以客戶為中心,、面向半導(dǎo)體光電子器件、功率電子器件,、MEMS,、生物芯片等前沿領(lǐng)域，致力于打造***的公益性、開放性,、支撐性樞紐中心,。平臺擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線,，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸）,，同時形成了一支與硬件有機結(jié)合的專業(yè)人才隊伍。平臺當(dāng)前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務(wù),，面向國內(nèi)外高校,、科研院所以及企業(yè)提供開放共享，為技術(shù)咨詢,、創(chuàng)新研發(fā),、技術(shù)驗證以及產(chǎn)品中試提供支持。市場為導(dǎo)向,，重信譽,，保質(zhì)量,，想客戶之所想,，急用戶之所急，全力以赴滿足客戶的一切需要,。誠實,、守信是對企業(yè)的經(jīng)營要求，也是我們做人的基本準(zhǔn)則,。公司致力于打造***的微納加工技術(shù)服務(wù),，真空鍍膜技術(shù)服務(wù)，紫外光刻技術(shù)服務(wù),，材料刻蝕技術(shù)服務(wù),。