微納加工技術(shù)是先進(jìn)制造的重要組成部分,，是衡量國家高質(zhì)量的制造業(yè)水平的標(biāo)志之一，具有多學(xué)科交叉性和制造要素極端性的特點(diǎn),，在推動(dòng)科技進(jìn)步,、促進(jìn)產(chǎn)業(yè)發(fā)展,、拉動(dòng)科技進(jìn)步、保障**安全等方面都發(fā)揮著關(guān)鍵作用,。微納加工技術(shù)的基本手段包括微納加工方法與材料科學(xué)方法兩種,。很顯然，微納加工技術(shù)與微電子工藝技術(shù)有密切關(guān)系,。微納加工大致可以分為“自上而下”和“自下而上”兩類,。“自上而下”是從宏觀對象出發(fā),，以光刻工藝為基礎(chǔ),，對材料或原料進(jìn)行加工，小結(jié)果尺寸和精度通常由光刻或刻蝕環(huán)節(jié)的分辨力決定,?！白韵露稀奔夹g(shù)則是從微觀世界出發(fā)，通過控制原子,、分子和其他納米對象的相互作用力將各種單元構(gòu)建在一起,，形成微納結(jié)構(gòu)與器件。微納加工平臺,，主要是兩個(gè)方面：微納加工,、微納檢測！江西微納加工器件封裝

納秒和飛秒之間,皮秒激光微納加工應(yīng)用獨(dú)具優(yōu)勢,！與傳統(tǒng)的微納加工技術(shù)相比，激光微納加工具有如下獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)：非接觸加工不損壞工具,、能量可調(diào),、加工方式靈活、可實(shí)現(xiàn)柔性加工等,。其中全固態(tài)皮秒激光具有極窄的脈沖寬度(皮秒),、極高的峰值功率(兆瓦)以及優(yōu)異的光束質(zhì)量，被廣泛應(yīng)用于各種金屬,、非金屬材料的精密加工,。研究表明，脈沖寬度高于10ps的皮秒激光加工過程中有明顯的熱效應(yīng)存在,，而且隨著激光與材料作用時(shí)間的增加,，工件表面會產(chǎn)生微裂紋以及再鑄層；脈沖寬度低于5ps的皮秒激光與材料作用時(shí)會產(chǎn)生非線性效應(yīng),，這對金屬材料的加工非常不利,。因此，適合微納精密加工用的皮秒激光的脈沖寬度在5~10ps之間,。為了提高加工效率,，重復(fù)頻率一般設(shè)定在十萬赫茲量級,，而平均功率則根據(jù)所加工材料的燒蝕閾值而定。山西微納加工工藝流程微納制造技術(shù)是指尺度為毫米,、微米和納米量級的零件,！

皮秒激光精密微孔加工應(yīng)用作為一種激光精密加工技術(shù)，皮秒激光在對高硬度金屬微孔加工方面的應(yīng)用早在20世紀(jì)90年代初就有報(bào)道,。1996年德國學(xué)者Chichkov等研究了納秒,、皮秒以及飛秒激光與材料的作用機(jī)理，并在真空靶室中對厚度100μm的不銹鋼進(jìn)行了打孔實(shí)驗(yàn),，建立了激光微納加工的理論模型,，為后續(xù)的激光微納加工實(shí)驗(yàn)研究奠定了堅(jiān)實(shí)的理論基礎(chǔ)。1998年Jandeleit等對厚度為250nm的銅膜進(jìn)行了精密制孔實(shí)驗(yàn),，實(shí)驗(yàn)指出使用同一脈寬的皮秒激光器對厚度較薄的金屬材料制孔時(shí),，采用高峰值功率更有可能獲得高質(zhì)量的的制孔效果。然而,，優(yōu)異的加工效果不僅取決于脈沖寬度以及峰值功率,，制孔方式也是一個(gè)至關(guān)重要的因素，針對這一問題,，F(xiàn)ohl等采用納秒激光與飛秒激光對制孔方式進(jìn)行了深入研究,，實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示納秒激光采用螺旋制孔方式所加工的微孔整潔干凈，而飛秒激光采用一般的沖擊制孔方式所加工的微孔邊緣有明顯的再鑄層,。

    微納加工：干法刻蝕VS濕法刻蝕,！刻蝕工藝：用化學(xué)或物理方法有選擇性地從某一材料表面去除不需要那部分的過程，獲得目標(biāo)圖形,。在半導(dǎo)體制造中有兩種基本的刻蝕工藝：干法刻蝕和濕法刻蝕,。干法刻蝕的刻蝕劑是等離子體，是利用等離子體和表面薄膜反應(yīng),，形成揮發(fā)性物質(zhì),，或直接轟擊薄膜表面使之被刻蝕的工藝。特點(diǎn)：能實(shí)現(xiàn)各向異性刻蝕,，從而保證細(xì)小圖形轉(zhuǎn)移后的保真性,。缺點(diǎn)：造價(jià)高。濕法刻蝕是通過化學(xué)刻蝕液和被刻蝕物質(zhì)之間的化學(xué)反應(yīng)將被刻蝕物質(zhì)剝離下來的方法,。大多數(shù)濕法刻蝕是不容易控制的各向同性刻蝕,。特點(diǎn)：適應(yīng)性強(qiáng)，表面均勻性好,、對硅片損傷少,，幾乎適用于所有的金屬、玻璃,、塑料等材料,。缺點(diǎn)：圖形刻蝕保真想過不理想,，刻蝕圖形的小線難以掌控。 微納加工技術(shù)能突顯一個(gè)國家工業(yè)發(fā)展水平,！

    激光微納加工相比納秒激光器,、連續(xù)激光器，飛秒激光加工是“冷加工”,，其加工過程中幾近不會有熱：傳導(dǎo),。飛秒激光加工優(yōu)勢在于：峰值能量高、加工精度高,、對材料幾乎無熱損傷等,，其具體加工方式包括：蝕刻、改性,、切割,、打孔、周雕刻以及集成電路光刻等,。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所微納加工平臺,，面向半導(dǎo)體光電子器件、功率電子器件,、MEMS,、生物芯片等前沿領(lǐng)域，致力于打造高級的公益性,、開放性,、支撐性樞紐中心。平臺擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備,，建立了一條實(shí)驗(yàn)室研發(fā)線和一條中試線,，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸），同時(shí)形成了一支與硬件有機(jī)結(jié)合的專業(yè)人才隊(duì)伍,。平臺當(dāng)前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務(wù)，面向國內(nèi)外高校,、科研院所以及企業(yè)提供開放共享,，為技術(shù)咨詢、創(chuàng)新研發(fā),、技術(shù)驗(yàn)證以及產(chǎn)品中試提供技術(shù)支持,。 微納加工包括光刻、磁控濺射,、電子束蒸鍍,、濕法腐蝕、干法腐蝕,、表面形貌測量等!漳州微納加工應(yīng)用

微納加工技術(shù)對現(xiàn)代的生活,、生產(chǎn)產(chǎn)生了巨大的促進(jìn)作用,，并催生了一批新興產(chǎn)業(yè)。江西微納加工器件封裝

    高精度的微細(xì)結(jié)構(gòu)可以通過電子束直寫或激光直寫制作,，這類光刻技術(shù),，像“寫字”一樣，通過控制聚焦電子束（光束）移動(dòng)書寫圖案進(jìn)行曝光,，具有很高的曝光精度,，但這兩種方法制作效率極低，尤其在大面積制作方面捉襟見肘,，目前直寫光刻技術(shù)適用于小面積的微納結(jié)構(gòu)制作,。近年來，三維浮雕微納結(jié)構(gòu)的需求越來越大,，如閃耀光柵,、菲涅爾透鏡、多臺階微光學(xué)元件等,。據(jù)悉,，蘋果公司新上市的手機(jī)產(chǎn)品中人臉識別模塊就采用了多臺階微光學(xué)元件，以及當(dāng)下如火如荼的無人駕駛技術(shù)中激光雷達(dá)光學(xué)系統(tǒng)也用到了復(fù)雜的微光學(xué)元件,。這類精密的微納結(jié)構(gòu)光學(xué)元件需采用灰度光刻技術(shù)進(jìn)行制作,。直寫技術(shù)，通過在光束移動(dòng)過程中進(jìn)行相應(yīng)的曝光能量調(diào)節(jié),，可以實(shí)現(xiàn)良好的灰度光刻能力,。 江西微納加工器件封裝

廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所是一家服務(wù)型類企業(yè)，積極探索行業(yè)發(fā)展,，努力實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品創(chuàng)新,。公司致力于為客戶提供安全、質(zhì)量有保證的良好產(chǎn)品及服務(wù),，是一家****企業(yè),。以滿足顧客要求為己任；以顧客永遠(yuǎn)滿意為標(biāo)準(zhǔn),；以保持行業(yè)優(yōu)先為目標(biāo),，提供***的微納加工技術(shù)服務(wù)，真空鍍膜技術(shù)服務(wù),，紫外光刻技術(shù)服務(wù),，材料刻蝕技術(shù)服務(wù)。廣東省半導(dǎo)體所順應(yīng)時(shí)代發(fā)展和市場需求,，通過**技術(shù),，力圖保證高規(guī)格高質(zhì)量的微納加工技術(shù)服務(wù)，真空鍍膜技術(shù)服務(wù)，紫外光刻技術(shù)服務(wù),，材料刻蝕技術(shù)服務(wù),。