微納加工技術(shù)指尺度為亞毫米、微米和納米量級元件以及由這些元件構(gòu)成的部件或系統(tǒng)的優(yōu)化設計,、加工,、組裝、系統(tǒng)集成與應用技術(shù),，涉及領域廣,、多學科交叉融合，其主要的發(fā)展方向是微納器件與系統(tǒng)（MEMS和NEMS）,。微納器件與系統(tǒng)是在集成電路制作上發(fā)展的系列技術(shù),，研制微型傳感器、微型執(zhí)行器等器件和系統(tǒng),，具有微型化,、批量化、成本低的鮮明特點,，對現(xiàn)活、生產(chǎn)產(chǎn)生了巨大的促進作用,，并催生了一批新興產(chǎn)業(yè),。廣東省科學院半導體研究所微納加工平臺，面向半導體光電子器件,、功率電子器件,、MEMS、生物芯片等前沿領域,，致力于打造的公益性,、開放性、支撐性樞紐中心,。平臺擁有半導體制備工藝所需的整套儀器設備,，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線,，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸），同時形成了一支與硬件有機結(jié)合的專業(yè)人才隊伍,。平臺當前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務,，面向國內(nèi)外高校、科研院所以及企業(yè)提供開放共享,，為技術(shù)咨詢,、創(chuàng)新研發(fā)、技術(shù)驗證以及產(chǎn)品中試提供技術(shù)支持,。 目前微納制造領域較常用的一種微細加工技術(shù)是LIGA,！撫順量子微納加工

    微納加工中蒸鍍的物理過程包括：沉積材料蒸發(fā)或升華為氣態(tài)粒子→氣態(tài)粒子快速從蒸發(fā)源向基片表面輸送→氣態(tài)粒子附著在基片表面形核、長大成固體薄膜→薄膜原子重構(gòu)或產(chǎn)生化學鍵合,。將襯底放入真空室內(nèi),，以電阻、電子束,、激光等方法加熱膜料,，使膜料蒸發(fā)或升華，氣化為具有一定能量（～eV）的粒子（原子,、分子或原子團）,。氣態(tài)粒子以基本無碰撞的直線運動飛速傳送至襯底，到達襯底表面的粒子一部分被反射,，另一部分吸附在襯底上并發(fā)生表面擴散,，沉積原子之間產(chǎn)生二維碰撞，形成簇團,，有的可能在表面短時停留后又蒸發(fā),。粒子簇團不斷地與擴散粒子相碰撞,，或吸附單粒子,，或放出單粒子。此過程反復進行,，當聚集的粒子數(shù)超過某一臨界值時就變?yōu)榉€(wěn)定的核,，再繼續(xù)吸附擴散粒子而逐步長大，終通過相鄰穩(wěn)定核的接觸,、合并,，形成連續(xù)薄膜。膜方法簡單,、薄膜純度和致密性高,、膜結(jié)構(gòu)和性能獨特等優(yōu)點。所謂濺射鍍膜是指在真空室中,，利用荷能粒子（如正離子）轟擊靶材,，使靶材表面原子或原子團逸出，逸出的原子在工件的表面形成與靶材成分相同的薄膜，這種制備薄膜的方法稱為濺射鍍膜,。目前,，濺射法主要用于形成金屬或合金薄膜，特別是用于制作電子元件的電極和玻璃表面紅外線反射薄膜,。 寧波高精度微納加工在我國,，微納制造技術(shù)同樣是重點發(fā)展方向之一!

皮秒激光精密微孔加工應用作為一種激光精密加工技術(shù)，皮秒激光在對高硬度金屬微孔加工方面的應用早在20世紀90年代初就有報道,。1996年德國學者Chichkov等研究了納秒,、皮秒以及飛秒激光與材料的作用機理，并在真空靶室中對厚度100μm的不銹鋼進行了打孔實驗,，建立了激光微納加工的理論模型,，為后續(xù)的激光微納加工實驗研究奠定了堅實的理論基礎。1998年Jandeleit等對厚度為250nm的銅膜進行了精密制孔實驗,，實驗指出使用同一脈寬的皮秒激光器對厚度較薄的金屬材料制孔時,，采用高峰值功率更有可能獲得高質(zhì)量的的制孔效果。然而,，優(yōu)異的加工效果不僅取決于脈沖寬度以及峰值功率,，制孔方式也是一個至關重要的因素，針對這一問題,，F(xiàn)ohl等采用納秒激光與飛秒激光對制孔方式進行了深入研究,，實驗結(jié)果顯示納秒激光采用螺旋制孔方式所加工的微孔整潔干凈，而飛秒激光采用一般的沖擊制孔方式所加工的微孔邊緣有明顯的再鑄層,。

2012年北京工業(yè)大學Duan等使用課題組自行研制的皮秒激光器對金屬鉬,、鈦和不銹鋼進行了精密制孔研究，并利用旋切制孔方式對厚度為0.3mm的金屬鉬實現(xiàn)了孔徑?小于200μm的微孔加工,，利用螺旋制孔方式在厚度為1mm不銹鋼上實現(xiàn)了孔徑為200μm的制孔效果,。實驗指出大口徑微孔加工應采用旋切制孔方式，而加工較小口徑時則更宜選用螺旋制孔方式,。皮秒激光精密微孔加工過程中,，對于厚度較小的材料(d<1μm)，由于激光與材料作用的時間較短,，以采用高峰值功率,、窄脈寬的激光為宜，而對于厚度在百微米甚至超過1mm的金屬材料的微孔加工,，除了要考慮激光峰值功率以及脈沖寬度外,，選擇合適的制孔方式是必要的。此外,，根據(jù)材料結(jié)構(gòu)的不同還應該選擇是否采用偏振輸出等因素,。我造技術(shù)的研究從其誕生之初就一直牢據(jù)行國的微納制造技術(shù)的研究與世界先進水平業(yè)的杰出位置,！

      刻蝕工藝：是在半導體工藝，按照掩模圖形或設計要求對半導體襯底表面或表面覆蓋薄膜進行選擇性腐蝕或剝離的技術(shù),?？涛g技術(shù)不僅是半導體器件和集成電路的基本制造工藝，而且還應用于薄膜電路,、印刷電路和其他微細圖形的加工,。刻蝕還可分為濕法刻蝕和干法刻蝕,。廣東省科學院半導體研究所微納加工平臺,，面向半導體光電子器件、功率電子器件,、MEMS,、生物芯片等前沿領域，致力于打造高質(zhì)量檔次的公益性,、開放性,、支撐性樞紐中心。平臺擁有半導體制備工藝所需的整套儀器設備,，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線,，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸），同時形成了一支與硬件有機結(jié)合的專業(yè)人才隊伍,。平臺當前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務,，面向國內(nèi)外高校、科研院所以及企業(yè)提供開放共享,，為技術(shù)咨詢,、創(chuàng)新研發(fā)、技術(shù)驗證以及產(chǎn)品中試提供技術(shù)支持,。微納加工技術(shù)的特點：微型化,。南京微納加工平臺

微納加工技術(shù)具有高精度、科技含量高,、產(chǎn)品附加值高等特點,！撫順量子微納加工

    微納加工技術(shù)指尺度為亞毫米、微米和納米量級元件以及由這些元件構(gòu)成的部件或系統(tǒng)的優(yōu)化設計,、加工、組裝,、系統(tǒng)集成與應用技術(shù),。微納加工按技術(shù)分類，主要分為平面工藝,、探針工藝,、模型工藝,。本文主要介紹微納加工的平面工藝，平面工藝主要可分為薄膜工藝,、圖形化工藝（光刻）,、刻蝕工藝。廣東省科學院半導體研究所微納加工平臺,，面向半導體光電子器件,、功率電子器件、MEMS,、生物芯片等前沿領域,，致力于打造的公益性、開放性,、支撐性樞紐中心,。平臺擁有半導體制備工藝所需的整套儀器設備，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線,，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸）,，同時形成了一支與硬件有機結(jié)合的專業(yè)人才隊伍。平臺當前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務,，面向國內(nèi)外高校,、科研院所以及企業(yè)提供開放共享，為技術(shù)咨詢,、創(chuàng)新研發(fā),、技術(shù)驗證以及產(chǎn)品中試提供技術(shù)支持。 撫順量子微納加工

廣東省科學院半導體研究所是一家服務型類企業(yè),，積極探索行業(yè)發(fā)展,，努力實現(xiàn)產(chǎn)品創(chuàng)新。公司致力于為客戶提供安全,、質(zhì)量有保證的良好產(chǎn)品及服務,，是一家****企業(yè)。以滿足顧客要求為己任,；以顧客永遠滿意為標準,；以保持行業(yè)優(yōu)先為目標，提供***的微納加工技術(shù)服務,，真空鍍膜技術(shù)服務,，紫外光刻技術(shù)服務，材料刻蝕技術(shù)服務,。廣東省半導體所順應時代發(fā)展和市場需求,，通過**技術(shù)，力圖保證高規(guī)格高質(zhì)量的微納加工技術(shù)服務,，真空鍍膜技術(shù)服務,，紫外光刻技術(shù)服務,，材料刻蝕技術(shù)服務。