磁控濺射鍍膜注意事項：1,、輻射：有些鍍膜要用到射頻電源，如功率大,，需做好屏蔽處理,。另外，歐洲標準在單室鍍膜機門框四周嵌裝金屬線屏蔽輻射,；2,、金屬污染：鍍膜材料有些對人體有害的，特別要注意真空室清理過程中出現(xiàn)的粉塵污染,；3,、噪音污染：如特別是一些大的鍍膜設(shè)備，機械真空泵噪音很大,，可以把泵隔離在墻外；4,、光污染：離子鍍膜過程中,，氣體電離發(fā)出強光，不宜透過觀察窗久看,。適用范圍：1,、建材及民用工業(yè)中。2,、在鋁合金制品裝飾中的應(yīng)用,。3、高級產(chǎn)品零/部件表面的裝飾鍍中的應(yīng)用,。4,、在不銹鋼刀片涂層技術(shù)中的應(yīng)用。5,、在玻璃深加工產(chǎn)業(yè)中的應(yīng)用,。一般的濺射法可被用于制備金屬、半導(dǎo)體、絕緣體等多材料,，且具有設(shè)備簡單,、易于控制、附著力強等優(yōu)點,。廣東射頻磁控濺射儀器

磁控濺射是物相沉積的一種,。一般的濺射法可被用于制備金屬、半導(dǎo)體,、絕緣體等多材料,，且具有設(shè)備簡單、易于控制,、鍍膜面積大和附著力強等優(yōu)點,。上世紀70年代發(fā)展起來的磁控濺射法更是實現(xiàn)了高速、低溫,、低損傷,。因為是在低氣壓下進行高速濺射，必須有效地提高氣體的離化率,。磁控濺射通過在靶陰極表面引入磁場,，利用磁場對帶電粒子的約束來提高等離子體密度以增加濺射率。磁控濺射是入射粒子和靶的碰撞過程,。入射粒子在靶中經(jīng)歷復(fù)雜的散射過程,，和靶原子碰撞，把部分動量傳給靶原子,，此靶原子又和其他靶原子碰撞,，形成級聯(lián)過程。在這種級聯(lián)過程中某些表面附近的靶原子獲得向外運動的足夠動量,，離開靶被濺射出來,。北京反應(yīng)磁控濺射平臺電離原子更容易與薄膜工藝中涉及的其他粒子相互作用，因此更有可能在基底上沉積,。

非平衡磁控濺射的磁場有邊緣強,，也有中部強，導(dǎo)致濺射靶表面磁場的“非平衡”,。磁控濺射靶的非平衡磁場不只有通過改變內(nèi)外磁體的大小和強度的永磁體獲得,，也有由兩組電磁線圈產(chǎn)生，或采用電磁線圈與永磁體混合結(jié)構(gòu),，還有在陰極和基體之間增加附加的螺線管,，用來改變陰極和基體之間的磁場，并以它來控制沉積過程中離子和原子的比例,。非平衡磁控濺射系統(tǒng)有兩種結(jié)構(gòu),，一種是其芯部磁場強度比外環(huán)高,，磁力線沒有閉合，被引向真空室壁,，基體表面的等離子體密度低,，因此該方式很少被采用。另一種是外環(huán)磁場強度高于芯部磁場強度,，磁力線沒有完全形成閉合回路,，部分外環(huán)的磁力線延伸到基體表面，使得部分二次電子能夠沿著磁力線逃逸出靶材表面區(qū)域,，同時再與中性粒子發(fā)生碰撞電離,，等離子體不再被完全限制在靶材表面區(qū)域，而是能夠到達基體表面,，進一步增加鍍膜區(qū)域的離子濃度,，使襯底離子束流密度提高，通?？蛇_5mA/cm2以上,。這樣濺射源同時又是轟擊基體表面的離子源，基體離子束流密度與靶材電流密度成正比,，靶材電流密度提高,，沉積速率提高，同時基體離子束流密度提高,，對沉積膜層表面起到一定的轟擊作用,。

磁控濺射應(yīng)用：（1）磁控濺射技術(shù)在光學(xué)薄膜(如增透膜)、低輻射玻璃和透明導(dǎo)電玻璃等方面也得到應(yīng)用,。在透明導(dǎo)電玻璃在玻璃基片或柔性襯底上,濺射制備SiO2薄膜和摻雜ZnO或InSn氧化物(ITO)薄膜,，使可見光范圍內(nèi)平均光透過率在90%以上。（2）在現(xiàn)代機械加工工業(yè)中,利用磁控濺射技術(shù)制作表面功能膜,、超硬膜,自潤滑薄膜,能有效的提高表面硬度,、復(fù)合韌性、耐磨損性和抗高溫化學(xué)穩(wěn)定性能,從而大幅度地提高涂層產(chǎn)品的使用壽命,。磁控濺射除上述已被大量應(yīng)用的領(lǐng)域,還在高溫超導(dǎo)薄膜、鐵電體薄膜,、巨磁阻薄膜,、薄膜發(fā)光材料、太陽能電池,、記憶合金薄膜研究方面發(fā)揮重要作用,。磁控濺射是在陰極靶的表面上方形成一個正交電磁。

磁控濺射技術(shù)是一門起源較早,，但至今仍能夠發(fā)揮很大作用的技術(shù),。它的優(yōu)越性不只體現(xiàn)在鍍膜方面，更滲透到各個行業(yè)領(lǐng)域,。時至如今,，我國的濺射技術(shù)水平較之以前有了很大的突破。隨著時代進步和現(xiàn)代工業(yè)化生產(chǎn)需求,，社會對磁控濺射工藝的要求也越來越高,，這就需要廣大科研人員不斷深入探究,，對這項技術(shù)進行進一步研究和改良,，增強其精度和功能,，滿足日益增長的現(xiàn)代工業(yè)需求，更好的為社會發(fā)展和科學(xué)進步貢獻力量,。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所,。磁控濺射在技術(shù)上可以分為直流(DC)磁控濺射,、中頻(MF)磁控濺射,、射頻(RF)磁控濺射。貴州單靶磁控濺射平臺

磁控濺射可以分為直流磁控濺射法和射頻磁控濺射法,。廣東射頻磁控濺射儀器

磁控濺射的材料性能：如果靶材是磁性材料，磁力線被靶材屏蔽,，磁力線難以穿透靶材在靶材表面上方形成磁場,，磁控的作用將大幅度降低,。因此,，濺射磁性材料時,，一方面要求磁控靶的磁場要強一些，另一方面靶材也要制備的薄一些,，以便磁力線能穿過靶材，在靶面上方產(chǎn)生磁控作用,。磁控濺射設(shè)備一般根據(jù)所采用的電源的不同又可分為直流濺射和射頻濺射兩種,。直流磁控濺射的特點是在陽極基片和陰極靶之間加一個直流電壓,，陽離子在電場的作用下轟擊靶材，它的濺射速率一般都比較大,。廣東射頻磁控濺射儀器

廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所專注技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品研發(fā),，發(fā)展規(guī)模團隊不斷壯大,。一批專業(yè)的技術(shù)團隊,，是實現(xiàn)企業(yè)戰(zhàn)略目標的基礎(chǔ),，是企業(yè)持續(xù)發(fā)展的動力,。誠實,、守信是對企業(yè)的經(jīng)營要求,，也是我們做人的基本準則。公司致力于打造***的微納加工技術(shù)服務(wù),，真空鍍膜技術(shù)服務(wù),，紫外光刻技術(shù)服務(wù),，材料刻蝕技術(shù)服務(wù)。一直以來公司堅持以客戶為中心,、微納加工技術(shù)服務(wù)，真空鍍膜技術(shù)服務(wù),，紫外光刻技術(shù)服務(wù),，材料刻蝕技術(shù)服務(wù)市場為導(dǎo)向,，重信譽,，保質(zhì)量,，想客戶之所想，急用戶之所急,，全力以赴滿足客戶的一切需要。