微納加工是指制造特征尺寸以納米為單位的結構,，尤其是側面小于20納米的結構。目前的技術大多只允許在二維意義上進行微納加工,。納加工通常用于制造計算機芯片，傳統(tǒng)的光刻技術是計算機行業(yè)的支柱,，可用于創(chuàng)建尺寸小于22m的特征,，雖然這是非常昂貴的，而目且目前還不被認為是經濟有效的,。廣東省科學院半導體研究所微納加工平臺,，面向半導體光電子器件、功率電子器件,、MEMS,、生物芯片等前沿領域，致力于打造高級的公益性,、開放性,、支撐性樞紐中心。平臺擁有半導體制備工藝所需的整套儀器設備,，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線,，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸），同時形成了一支與硬件有機結合的專業(yè)人才隊伍,。平臺當前緊抓技術創(chuàng)新和公共服務,，面向國內外高校、科研院所以及企業(yè)提供開放共享,，為技術咨詢,、創(chuàng)新研發(fā)、技術驗證以及產品中試提供技術支持,。微納加工中,，材料濕法腐蝕是一個常用的工藝方法。紹興微納加工工藝

        微納加工技術的發(fā)展,，將促進納米光電子器件向更深更廣的方向發(fā)展,。微納加工的半導體納米結構在光電子領域帶來許多新的量子物理效應,，如量子點的庫侖阻塞效應和光子輔助隧穿效應，光子晶體的光子帶隙效應等,。對這些新的納米結構帶來的新現(xiàn)象的研究將為研制新原理基礎上的新器件打下基礎,。廣東省科學院半導體研究所微納加工平臺，面向半導體光電子器件,、功率電子器件,、MEMS、生物芯片等前沿領域,，致力于打造的公益性,、開放性、支撐性樞紐中心,。平臺擁有半導體制備工藝所需的整套儀器設備,，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸）,，同時形成了一支與硬件有機結合的專業(yè)人才隊伍,。平臺當前緊抓技術創(chuàng)新和公共服務，面向國內外高校,、科研院所以及企業(yè)提供開放共享,，為技術咨詢、創(chuàng)新研發(fā),、技術驗證以及產品中試提供技術支持,。荊門微納加工技術微納加工技術的特點：微型化！

     微納加工技術是先進制造的重要組成部分,，是衡量國家高級制造業(yè)水平的標志之一,，具有多學科交叉性和制造要素極端性的特點，在推動科技進步,、促進產業(yè)發(fā)展,、拉動科技進步、保障**安全等方面都發(fā)揮著關鍵作用,。微納加工技術的基本手段包括微納加工方法與材料科學方法兩種,。比較顯然，微納加工技術與微電子工藝技術有密切關系,。微納加工大致可以分為“自上而下”和“自下而上”兩類,。“自上而下”是從宏觀對象出發(fā),，以光刻工藝為基礎,，對材料或原料進行加工，較小結果尺寸和精度通常由光刻或刻蝕環(huán)節(jié)的分辨力決定,?！白韵露稀奔夹g則是從微觀世界出發(fā),，通過控制原子、分子和其他納米對象的相互作用力將各種單元構建在一起,，形成微納結構與器件,。

         微納加工技術也可分為機械加工、化學腐蝕,、能量束加工,、復合加工、隧道掃描顯微技術加工等方法,。機械加工方法包括單晶金剛石刀具的超精密切割,、金剛石砂輪和CBN砂輪的超精密磨削和鏡面磨削、磨削,、砂帶拋光等固定磨料工具的加工,、磨削、拋光等自由磨料的加工,。能束加工可以去除加工對象,、添加和表面改性。例如,，激光切割、鉆孔和表面硬化改性,。光刻,、焊接、微米和納米鉆孔,、切割,、離子和等離子體蝕刻等。能量束的加工方法還包括電火花加工,、電化學加工,、電解射流加工、分子束延伸等,。微納加工是的技術,，可以進行原子級操作和原子去除、添加和搬遷,。廣東省科學院半導體研究所微納加工平臺,，面向半導體光電子器件、功率電子器件,、MEMS,、生物芯片等前沿領域，致力于打造的公益性,、開放性,、支撐性樞紐中心,。平臺擁有半導體制備工藝所需的整套儀器設備，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線,，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸）,，同時形成了一支與硬件有機結合的專業(yè)人才隊伍。平臺當前緊抓技術創(chuàng)新和公共服務,，面向國內外高校,、科研院所以及企業(yè)提供開放共享，為技術咨詢,、創(chuàng)新研發(fā),、技術驗證以及產品中試提供技術支持。微納結構器件是系統(tǒng)重要的組成部分,，其制造的質量,、效率和成本直接影響著行業(yè)的發(fā)展。

電子束的能量越高,，束斑的直徑就越小,，比如10keV的電子束斑直徑為4nm，20keV時就減小到2nm,。電子束的掃描步長由束斑直徑所限制,。步長過大，不能實現(xiàn)緊密地平面束掃描;步長過小,，電子束掃描區(qū)域會受到過多的電子散射作用,。電子束流劑量由電子束電流強度和駐留時間所決定。電子束流劑量過小,，抗蝕劑不能完全感光;電子束流劑量過大,，圖形邊緣的抗蝕劑會受到過多的電子散射作用。由于高能量的電子波長要比光波長短成百上千倍,，因此限制分辨率的不是電子的衍射,，而是各種電子像散和電子在抗蝕劑中的散射。電子散射會使圖形邊緣內側的電子能量和劑量降低,，產生內鄰近效應;同時散射的電子會使圖形邊緣外側的抗蝕劑感光,，產生外鄰近效應。內鄰近效應使垂直的圖形拐角圓弧化,，而外鄰近效應使相鄰的圖形邊緣趨近和模糊,。新一代微納制造系統(tǒng)應滿足的要求：能生產多種多樣高度復雜的微納產品！嘉興微納加工中心

在硅材料刻蝕當中,，硅針的刻蝕需要用到各向同性刻蝕,，硅柱的刻蝕需要用到各項異性刻蝕。紹興微納加工工藝

          美國在微納加工技術的發(fā)展中發(fā)揮著主導作用,。由于電子技術,、計算機技術,、航空航天技術和激光技術的需要，美國于1962年開發(fā)了金剛石刀具超精細切割機床,，解決了激光核聚變反射鏡,、天體望遠鏡等光學部件和計算機磁盤加工，奠定了微加工技術的基礎,，隨后西歐和日本微加工技術發(fā)展迅速,。微納加工技術是一種新興的綜合加工技術。它整合了現(xiàn)代機械,、光學,、電子、計算機,、測量和材料等先進技術成果,，使加工精度從20世紀60年代初的微米水平提高到目前的10m水平，在幾十年內提高了1～2個數(shù)量級,，很大程度提高了產品的性能和可靠性,。目前，微納加工技術已成為國家科技發(fā)展水平的重要標志,。隨著各種新型功能陶瓷材料的成功開發(fā)和以這些材料為關鍵部件的各種裝置的高性能,，功能陶瓷元件的加工精度達到納米級甚至更高，有效地促進了微納加工技術的進步,。近年來,，納米技術的出現(xiàn)挑戰(zhàn)了微納加工的極限加工精度一一原子級加工。紹興微納加工工藝

廣東省科學院半導體研究所位于長興路363號,，交通便利，環(huán)境優(yōu)美,，是一家服務型企業(yè),。公司是一家****企業(yè)，以誠信務實的創(chuàng)業(yè)精神,、專業(yè)的管理團隊,、踏實的職工隊伍，努力為廣大用戶提供***的產品,。以滿足顧客要求為己任,；以顧客永遠滿意為標準；以保持行業(yè)優(yōu)先為目標,，提供***的微納加工技術服務,，真空鍍膜技術服務，紫外光刻技術服務,，材料刻蝕技術服務,。廣東省半導體所自成立以來,，一直堅持走正規(guī)化、專業(yè)化路線,，得到了廣大客戶及社會各界的普遍認可與大力支持,。