反應(yīng)離子刻蝕：這種刻蝕過程同時(shí)兼有物理和化學(xué)兩種作用,。輝光放電在零點(diǎn)幾到幾十帕的低真空下進(jìn)行,。硅片處于陰極電位,，放電時(shí)的電位大部分降落在陰極附近,。大量帶電粒子受垂直于硅片表面的電場加速，垂直入射到硅片表面上,以較大的動量進(jìn)行物理刻蝕,同時(shí)它們還與薄膜表面發(fā)生強(qiáng)烈的化學(xué)反應(yīng),，產(chǎn)生化學(xué)刻蝕作用,。選擇合適的氣體組分，不僅可以獲得理想的刻蝕選擇性和速度,，還可以使活性基團(tuán)的壽命短,，這就有效地阻止了因這些基團(tuán)在薄膜表面附近的擴(kuò)散所能造成的側(cè)向反應(yīng)，較大提高了刻蝕的各向異性特性,。反應(yīng)離子刻蝕是超大規(guī)模集成電路工藝中比較有發(fā)展前景的一種刻蝕方法等離子體刻蝕機(jī)就要求相同的元素：化學(xué)刻蝕劑和能量源,。吉林材料刻蝕外協(xié)

材料的濕法化學(xué)刻蝕，一般包括刻蝕劑到達(dá)材料表面和反應(yīng)產(chǎn)物離開表面的傳輸過程,，也包括表面本身的反應(yīng),。如果刻蝕劑的傳輸是限制加工的因素，則這種反應(yīng)受擴(kuò)散的限制,。吸附和解吸也影響濕法刻蝕的速率,，而且在整個(gè)加工過程中可能是一種限制因素。半導(dǎo)體技術(shù)中的許多刻蝕工藝是在相當(dāng)緩慢并受速率控制的情況下進(jìn)行的,，這是因?yàn)楦采w在表面上有一污染層,。因此,，刻蝕時(shí)受到反應(yīng)劑擴(kuò)散速率的限制。污染層厚度常有幾微米,，如果化學(xué)反應(yīng)有氣體逸出,，則此層就可能破裂。濕法刻蝕工藝常常有反應(yīng)物產(chǎn)生,，這種產(chǎn)物受溶液的溶解速率的限制,。為了使刻蝕速率提高，常常使溶液攪動,，因?yàn)閿噭釉鰪?qiáng)了外擴(kuò)散效應(yīng),。多晶和非晶材料的刻蝕是各向異性的。然而,，結(jié)晶材料的刻蝕可能是各向同性,，也可能是各向異性的，它取決于反應(yīng)動力學(xué)的性質(zhì),。晶體材料的各向同性刻蝕常被稱作拋光刻蝕,，因?yàn)樗鼈儺a(chǎn)生平滑的表面。各向異性刻蝕通常能顯示晶面,，或者使晶體產(chǎn)生缺陷,。因此，可用于化學(xué)加工,，也可作為結(jié)晶刻蝕劑,。福建GaN材料刻蝕外協(xié)在Si片上形成具有垂直側(cè)壁的高深寬比溝槽結(jié)構(gòu)是制備先進(jìn)MEMS器件的關(guān)鍵工藝，其各向異性刻蝕要求非常嚴(yán)格,。

工藝所用化學(xué)物質(zhì)取決于要刻蝕的薄膜類型,。介電刻蝕應(yīng)用中通常使用含氟的化學(xué)物質(zhì)。硅和金屬刻蝕使用含氯成分的化學(xué)物質(zhì),。在工藝中可能會對一個(gè)薄膜層或多個(gè)薄膜層執(zhí)行特定的刻蝕步驟,。當(dāng)需要處理多層薄膜時(shí)，以及刻蝕中必須精確停在某個(gè)特定薄膜層而不對其造成損傷時(shí),，刻蝕工藝的選擇比就變得非常重要,。選擇比是兩個(gè)刻蝕速率的比率：被去除層的刻蝕速率與被保護(hù)層的刻蝕速率（例如刻蝕掩膜或終止層）。掩?；蛲Ｖ箤樱┩ǔ６枷Ｍ懈叩倪x擇比,。

在半導(dǎo)體制造中有兩種基本的刻蝕工藝：干法刻蝕和濕法腐蝕。干法刻蝕是把硅片表面曝露于氣態(tài)中產(chǎn)生的等離子體,，等離子體通過光刻膠中開出的窗口,，在與硅片發(fā)生物理或化學(xué)反應(yīng)（或這兩種反應(yīng)），從而去掉曝露的表面材料。干法刻蝕是亞微米尺寸下刻蝕器件的較重要方法,。而在濕法腐蝕中,，液體化學(xué)試劑（如酸、堿和溶劑等）以化學(xué)方式去除硅片表面的材料,。濕法腐蝕一般只是用在尺寸較大的情況下（大于3微米）,。濕法腐蝕仍然用來腐蝕硅片上某些層或用來去除干法刻蝕后的殘留物。濕法刻蝕特點(diǎn)是：濕法刻蝕在半導(dǎo)體工藝中有著普遍應(yīng)用：磨片,、拋光,、清洗、腐蝕,。干法刻蝕優(yōu)點(diǎn)是：易實(shí)現(xiàn)自動化,。

刻蝕是按照掩模圖形或設(shè)計(jì)要求對半導(dǎo)體襯底表面或表面覆蓋薄膜進(jìn)行選擇性刻蝕的技術(shù)，它是半導(dǎo)體制造工藝,，微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中的一種相當(dāng)重要的步驟,。是與光刻相聯(lián)系的圖形化處理的一種主要工藝?？涛g分為干法刻蝕和濕法腐蝕,。原位芯片目前掌握多種刻蝕工藝，并會根據(jù)客戶的需求,，設(shè)計(jì)刻蝕效果好且性價(jià)比高的刻蝕解決方案,。刻蝕技術(shù)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體器件,，集成電路制造,，薄膜電路，印刷電路和其他微細(xì)圖形的加工等,。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所,。等離子刻蝕是將電磁能量（通常為射頻（RF））施加到含有化學(xué)反應(yīng)成分的氣體中實(shí)現(xiàn),。甘肅材料刻蝕廠商

光刻噴嘴噴霧模式和硅片旋轉(zhuǎn)速度是實(shí)現(xiàn)硅片間溶解率和均勻性的可重復(fù)性的關(guān)鍵調(diào)節(jié)參數(shù),。吉林材料刻蝕外協(xié)

溫度越高刻蝕效率就越高，但是溫度過高工藝方面波動就越大,，只要通過設(shè)備自帶溫控器和點(diǎn)檢確認(rèn),。刻蝕流片的速度與刻蝕速率密切相關(guān)噴淋流量的大小決定了基板表面藥液置換速度的快慢,，流量控制可保證基板表面藥液濃度均勻,。過刻量即測蝕量，適當(dāng)增加測試量可有效控制刻蝕中的點(diǎn)狀不良作業(yè)數(shù)量管控：每天對生產(chǎn)數(shù)量及時(shí)記錄,，達(dá)到規(guī)定作業(yè)片數(shù)及時(shí)更換,。作業(yè)時(shí)間管控：由于藥液的揮發(fā)，所以如果在規(guī)定更換時(shí)間未達(dá)到相應(yīng)的生產(chǎn)片數(shù)藥液也需更換。首片和抽檢管控：作業(yè)時(shí)需先進(jìn)行首片確認(rèn),，且在作業(yè)過程中每批次進(jìn)行抽檢（時(shí)間間隔約25min）,。1、大面積刻蝕不干凈：刻蝕液濃度下降,、刻蝕溫度變化,。2、刻蝕不均勻：噴淋流量異常,、藥液未及時(shí)沖洗干凈等,。3、過刻蝕：刻蝕速度異常,、刻蝕溫度異常等,。吉林材料刻蝕外協(xié)