真空鍍膜：等離子體鍍膜：在物理的氣相沉積中通常采用冷陰極電弧蒸發(fā),，以固體鍍料作為陰極，采用水冷使冷陰極表面形成許多亮斑,，即陰極弧斑,。弧斑就是電弧在陰極附近的弧根,。在真空條件下,，用引弧針引弧，使真空金壁(陽極)和鍍材(陰極)之間進(jìn)行弧光放電,，陰極表面快速移動(dòng)著多個(gè)陰極弧斑,，不斷迅速蒸發(fā)甚至“異華”鍍料，使之電離成以鍍料為主要成分的電弧等離子體,，并能迅速將鍍料沉積于基體,。在極小空間的電流密度極高，弧斑尺寸極小,，估計(jì)約為1μm～100μm,，電流密度高達(dá)105A/cm2～107A/cm2。真空鍍膜技術(shù)有真空束流沉積鍍膜,。重慶UV真空鍍膜

真空鍍膜：隨著沉積方法和技術(shù)的提升,，物理的氣相沉積技術(shù)不僅可沉積金屬膜,、合金膜、還可以沉積化合物,、陶瓷,、半導(dǎo)體、聚合物膜等,。物理的氣相沉積技術(shù)早在20世紀(jì)初已有些應(yīng)用,，但30年迅速發(fā)展成為一門極具廣闊應(yīng)用前景的新技術(shù)，并向著環(huán)保型,、清潔型趨勢(shì)發(fā)展,。在鐘表行業(yè)，尤其是較好手表金屬外觀件的表面處理方面達(dá)到越來越為普遍的應(yīng)用,。物理的氣相沉積技術(shù)基本原理可分三個(gè)工藝步驟：鍍料的氣化：即使鍍料蒸發(fā),，升華或被濺射，也就是通過鍍料的氣化源,。鍍料原子、分子或離子的遷移：由氣化源供出原子,、分子或離子經(jīng)過碰撞后,，產(chǎn)生多種反應(yīng)。鍍料原子,、分子或離子在基體上沉積,。石家莊真空鍍膜技術(shù)真空鍍膜是指在高真空的條件下加熱金屬或非金屬材料，使其蒸發(fā)并凝結(jié)于鍍件表面而形成薄膜的一種方法,。

真空鍍膜的方法：濺射鍍膜：濺射鍍膜是指在真空室中,利用荷能粒子轟擊靶表面,使靶材的原子或分子從表面發(fā)射出來,進(jìn)而在基片上沉積的技術(shù),。在濺射鍍鈦的實(shí)驗(yàn)中,電子、離子或中性粒子均可作為轟擊靶的荷能粒子,而由于離子在電場(chǎng)下易于加速并獲得較大動(dòng)能,所以一般是用Ar+作為轟擊粒子,。與傳統(tǒng)的蒸發(fā)鍍膜相比,濺射鍍膜可以在低溫,、低損傷的條件下實(shí)現(xiàn)高速沉積、附著力較強(qiáng),、制取高熔點(diǎn)物質(zhì)的薄膜,在大面積連續(xù)基板上可以制取均勻的膜層,。濺射鍍膜被稱為可以在任何基板上沉積任何材料的薄膜技術(shù),因此應(yīng)用十分普遍。

真空蒸發(fā)鍍膜是在真空室中,，加熱蒸發(fā)容器待形成薄膜的原材料,，使其原子或者分子從表面氣化逸出，形成蒸汽流,，入射到襯底或者基片表面,，凝結(jié)形成固態(tài)薄膜的方法。真空蒸發(fā)鍍膜法,，設(shè)備比較簡(jiǎn)單,、容易操作,、制成的薄膜純度高、質(zhì)量好,、膜厚容易控制,，成膜速率快，效果高,。在一定溫度下,，在真空當(dāng)中，蒸發(fā)物質(zhì)的蒸氣與固體或液體平衡過程中所表現(xiàn)出的壓力,， 稱為該物質(zhì)的飽和蒸氣壓,。此時(shí)蒸發(fā)物表面液相、氣相處于動(dòng)態(tài)平衡,，即到達(dá)液相表面的分子全部粘接而不離開,，并與從液相都?xì)庀嗟姆肿訑?shù)相等。物質(zhì)的飽和蒸氣壓隨溫度的上升而增大,，在一定溫度下,，各種物質(zhì)的飽和蒸氣壓不相同，且具有恒定的數(shù)值,。相反,，一定的飽和蒸氣壓必定對(duì)應(yīng)一定的物質(zhì)的溫度。真空鍍膜技術(shù)有真空離子鍍膜,。

磁控濺射的工作原理是指電子在電場(chǎng)E的作用下,，在飛向基片過程中與氬原子發(fā)生碰撞，使其電離產(chǎn)生出Ar正離子和新的電子,；新電子飛向基片,，Ar離子在電場(chǎng)作用下加速飛向陰極靶，并以高能量轟擊靶表面,，使靶材發(fā)生濺射,。在濺射粒子中，中性的靶原子或分子沉積在基片上形成薄膜,，而產(chǎn)生的二次電子會(huì)受到電場(chǎng)和磁場(chǎng)作用,，產(chǎn)生E（電場(chǎng)）×B（磁場(chǎng)）所指的方向漂移，簡(jiǎn)稱E×B漂移,，其運(yùn)動(dòng)軌跡近似于一條擺線,。若為環(huán)形磁場(chǎng)，則電子就以近似擺線形式在靶表面做圓周運(yùn)動(dòng),，它們的運(yùn)動(dòng)路徑不僅很長(zhǎng),，而且被束縛在靠近靶表面的等離子體區(qū)域內(nèi)，并且在該區(qū)域中電離出大量的Ar 來轟擊靶材，從而實(shí)現(xiàn)了高的沉積速率,。真空鍍膜鍍層繞鍍能力強(qiáng),。宜賓新型真空鍍膜

真空鍍膜機(jī)真空壓鑄鈦鑄件的方法與標(biāo)準(zhǔn)的壓鑄工藝一樣。重慶UV真空鍍膜

PECVD( Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積,，等離子體是物質(zhì)分子熱運(yùn)動(dòng)加劇,，相互間的碰撞會(huì)導(dǎo)致氣體分子產(chǎn)生電離，物質(zhì)就會(huì)變成自由運(yùn)動(dòng)并由相互作用的正離子,、電子和中性粒子組成的混合物,。使用等離子體增強(qiáng)氣相沉積法（PECVD）可在低溫（200-350℃）沉積出良好的氧化硅薄膜，已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體器件工藝當(dāng)中,。在LED工藝當(dāng)中,，因?yàn)镻ECVD生長(zhǎng)出的氧化硅薄膜具有結(jié)構(gòu)致密，介電強(qiáng)度高,、硬度大等優(yōu)點(diǎn),，而且氧化硅薄膜對(duì)可見光波段吸收系數(shù)很小，所以氧化硅被用于芯片的絕緣層和鈍化層,。重慶UV真空鍍膜