納米壓印技術(shù)分為三個步驟。第一步是模板的加工,。一般使用電子束刻蝕等手段,，在硅或其他襯底上加工出所需要的結(jié)構(gòu)作為模板。由于電子的衍射極限遠(yuǎn)小于光子,，因此可以達(dá)到遠(yuǎn)高于光刻的分辨率,。第二步是圖樣的轉(zhuǎn)移。在待加工的材料表面涂上光刻膠,，然后將模板壓在其表面,，采用加壓的方式使圖案轉(zhuǎn)移到光刻膠上。注意光刻膠不能被全部去除,，防止模板與材料直接接觸,，損壞模板。第三步是襯底的加工,。用紫外光使光刻膠固化,，移開模板后，用刻蝕液將上一步未完全去除的光刻膠刻蝕掉,，露出待加工材料表面,，然后使用化學(xué)刻蝕的方法進(jìn)行加工，完成后去除全部光刻膠,，然后得到高精度加工的材料,。微納加工涉及領(lǐng)域廣、多學(xué)科交叉融合,，其較主要的發(fā)展方向是微納器件與系統(tǒng)（MEMS）,。攀枝花電子微納加工

ICP刻蝕GaN是物料濺射和化學(xué)反應(yīng)相結(jié)合的復(fù)雜過程?？涛gGaN主要使用到氯氣和三氯化硼,，刻蝕過程中材料表面表面的Ga-N鍵在離子轟擊下破裂，此為物理濺射,，產(chǎn)生活性的Ga和N原子,，氮原子相互結(jié)合容易析出氮氣，Ga原子和Cl離子生成容易揮發(fā)的GaCl2或者GaCl3。光刻（Photolithography)是一種圖形轉(zhuǎn)移的方法,，在微納加工當(dāng)中不可或缺的技術(shù),。光刻是一個比較大的概念，其實它是有多步工序所組成的,。1.清洗：清洗襯底表面的有機(jī)物,。2.旋涂：將光刻膠旋涂在襯底表面。3.曝光,。將光刻版與襯底對準(zhǔn),，在紫外光下曝光一定的時間。4.顯影：將曝光后的襯底在顯影液下顯影一定的時間,，受過紫外線曝光的地方會溶解在顯影液當(dāng)中,。5.后烘。將顯影后的襯底放置熱板上后烘,，以增強(qiáng)光刻膠與襯底之前的粘附力,。雅安半導(dǎo)體微納加工微納加工設(shè)備主要有：光刻、刻蝕,、鍍膜,、濕法腐蝕、絕緣層鍍膜等,！

微納測試與表征技術(shù)是微納加工技術(shù)的基礎(chǔ)與前提,，微納測試包括在微納器件的設(shè)計、制造和系統(tǒng)集成過程中,，對各種參量進(jìn)行微米/納米檢測的技術(shù)。微米測量主要服務(wù)于精密制造和微加工技術(shù),，目標(biāo)是獲得微米級測量精度,，或表征微結(jié)構(gòu)的幾何、機(jī)械及力學(xué)特性,；納米測量則主要服務(wù)于材料工程和納米科學(xué),，特別是納米材料，目標(biāo)是獲得材料的結(jié)構(gòu),、地貌和成分的信息,。在半導(dǎo)體領(lǐng)域人們所關(guān)心的與尺寸測量有關(guān)的參數(shù)主要包括：特征尺寸或線寬、重合度,、薄膜的厚度和表面的糙度等等,。未來，微納測試與表征技術(shù)正朝著從二維到三維,、從表面到內(nèi)部,、從靜態(tài)到動態(tài)、從單參量到多參量耦合,、從封裝前到封裝后的方向發(fā)展,。探索新的測量原理,、測試方法和表征技術(shù)，發(fā)展微納加工及制造實時在線測試方法和微納器件質(zhì)量快速檢測系統(tǒng)已成為了微納測試與表征的主要發(fā)展趨勢,。

由于納米壓印技術(shù)的加工過程不使用可見光或紫外光加工圖案,，而是使用機(jī)械手段進(jìn)行圖案轉(zhuǎn)移，這種方法能達(dá)到很高的分辨率,。報道的很高分辨率可達(dá)2納米,。此外，模板可以反復(fù)使用,，無疑極大降低了加工成本,，也有效縮短了加工時間。因此,，納米壓印技術(shù)具有超高分辨率,、易量產(chǎn)、低成本,、一致性高的技術(shù)優(yōu)點,，被認(rèn)為是一種有望代替現(xiàn)有光刻技術(shù)的加工手段。納米壓印技術(shù)已經(jīng)有了許多方面的進(jìn)展,。起初的納米壓印技術(shù)是使用熱固性材料作為轉(zhuǎn)印介質(zhì)填充在模板與待加工材料之間,，轉(zhuǎn)移時需要加高壓并加熱來使其固化。微納加工可以實現(xiàn)對微小尺寸物體的加工和制造,。

什么是微納加工,？微納加工技術(shù)的應(yīng)用非常普遍。在電子領(lǐng)域,，微納加工技術(shù)可以用于制造集成電路,、傳感器、光電器件等,。在光學(xué)領(lǐng)域,，微納加工技術(shù)可以用于制造光學(xué)器件、光纖等,。在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域,，微納加工技術(shù)可以用于制造生物芯片、藥物傳遞系統(tǒng)等,。在能源領(lǐng)域,，微納加工技術(shù)可以用于制造太陽能電池、燃料電池等,。微納加工技術(shù)的發(fā)展對科學(xué)研究和工業(yè)生產(chǎn)都有重要意義,。在科學(xué)研究方面，微納加工技術(shù)可以幫助科學(xué)家們研究材料的微觀結(jié)構(gòu)和性質(zhì)，揭示微觀世界的奧秘,。在工業(yè)生產(chǎn)方面,，微納加工技術(shù)可以幫助企業(yè)提高產(chǎn)品的性能和質(zhì)量，降低生產(chǎn)成本,，提高競爭力,。在硅材料刻蝕當(dāng)中，硅針的刻蝕需要用到各向同性刻蝕,，硅柱的刻蝕需要用到各項異性刻蝕,！雅安半導(dǎo)體微納加工

微納加工可以實現(xiàn)對微觀結(jié)構(gòu)的制造和調(diào)控。攀枝花電子微納加工

真空鍍膜技術(shù)一般分為兩大類,，即物理的氣相沉積技術(shù)和化學(xué)氣相沉積技術(shù),。物理的氣相沉積技術(shù)是指在真空條件下，利用各種物理方法,，將鍍料氣化成原子,、分子或使其離化為離子，直接沉積到基體表面上的方法,。制備硬質(zhì)反應(yīng)膜大多以物理的氣相沉積方法制得,，它利用某種物理過程，如物質(zhì)的熱蒸發(fā),，或受到離子轟擊時物質(zhì)表面原子的濺射等現(xiàn)象,，實現(xiàn)物質(zhì)原子從源物質(zhì)到薄膜的可控轉(zhuǎn)移過程。物理的氣相沉積技術(shù)具有膜/基結(jié)合力好,、薄膜均勻致密,、薄膜厚度可控性好、應(yīng)用的靶材普遍,、濺射范圍寬,、可沉積厚膜、可制取成分穩(wěn)定的合金膜和重復(fù)性好等優(yōu)點,。攀枝花電子微納加工