微納測試與表征技術(shù)是微納加工技術(shù)的基礎(chǔ)與前提,，它包括在微納器件的設(shè)計,、制造和系統(tǒng)集成過程中,，對各種參量進(jìn)行微米/納米檢測的技術(shù),。微米測量主要服務(wù)于精密制造和微加工技術(shù)，目標(biāo)是獲得微米級測量精度,，或表征微結(jié)構(gòu)的幾何、機(jī)械及力學(xué)特性；納米測量則主要服務(wù)于材料工程和納米科學(xué),，特別是納米材料，目標(biāo)是獲得材料的結(jié)構(gòu),、地貌和成分的信息,。在半導(dǎo)體領(lǐng)域人們所關(guān)心的與尺寸測量有關(guān)的參數(shù)主要包括：特征尺寸或線寬、重合度,、薄膜的厚度和表面的糙度等等,。未來，微納測試與表征技術(shù)正朝著從二維到三維,、從表面到內(nèi)部,、從靜態(tài)到動態(tài)、從單參量到多參量耦合,、從封裝前到封裝后的方向發(fā)展,。探索新的測量原理、測試方法和表征技術(shù),，發(fā)展微納加工及制造實時在線測試方法和微納器件質(zhì)量快速檢測系統(tǒng)已成為了微納測試與表征的主要發(fā)展趨勢,。微納加工平臺包括光刻、磁控濺射,、電子束蒸鍍,、濕法腐蝕、干法腐蝕,、表面形貌測量,。中山MEMS微納加工平臺

隨著聚合物精密擠出成型技術(shù)和現(xiàn)代納米技術(shù)的發(fā)展，聚合物制品逐漸向微型化發(fā)展,，傳統(tǒng)擠出成型也朝著微型化發(fā)展,，出現(xiàn)了微擠出成型技術(shù)。如今,，微擠出成型技術(shù)常應(yīng)用于納米介入導(dǎo)管,、微型光纖和微細(xì)齒輪等的制備。在聚合物熔體微擠出成型的過程中,，機(jī)頭流道結(jié)構(gòu)直接影響到熔體流動的流場分布與穩(wěn)定性,。不合理的機(jī)頭結(jié)構(gòu)參數(shù)，將導(dǎo)致制品尺寸誤差,、形狀誤差和機(jī)械性能不足等問題的出現(xiàn),，出現(xiàn)諸如壁厚不均、開裂,、蜜魚皮和翹曲等缺陷,。國內(nèi)外學(xué)者對基于微尺度條件下的聚合物流動行為進(jìn)行了大量有意義的嘗試和研究,，主要研究內(nèi)容包括微細(xì)流道聚合物溶體流動、表面張力,、壁面滑移現(xiàn)象,、微擠出機(jī)頭設(shè)計等。為更深入,、系統(tǒng)的微擠出成型研究奠定了理論基礎(chǔ),。廣東鍍膜微納加工技術(shù)微納制造技術(shù)是指尺度為毫米、微米和納米量級的零件,。

聚合物等溫微納米熱壓印技術(shù)同時適用于結(jié)晶型聚合物和非晶型聚合物,，研究人員分別選用PP和PMMA作為兩類聚合物的象征，對較優(yōu)加工工藝及其內(nèi)在成型機(jī)理展開探索,。結(jié)果表明,，對PMMA等非晶型聚合物而言，模具溫度設(shè)定在Tg附近即可獲得成型效果優(yōu)異的微納結(jié)構(gòu)制品,；在加工PP等結(jié)晶型聚合物時,，模具溫度則應(yīng)設(shè)置在Tm以下40~60℃的溫度區(qū)間內(nèi)。利用聚合物等溫微納米熱壓印技術(shù)制得的微納結(jié)構(gòu)制品結(jié)構(gòu)穩(wěn)定,，微納結(jié)構(gòu)一致性高且成型效率高,。目前，聚合物等溫微納米壓印方法的相關(guān)中心技術(shù)已申請國家發(fā)明專利和PCT國際專利,。相信在全球范圍內(nèi)的微納制造技術(shù)研發(fā)大潮中,，聚合物等溫微納米熱壓印技術(shù)的出現(xiàn)會為研究人員提供新的靈感和動力。

微納米科技發(fā)展迅速,，是多學(xué)科交叉應(yīng)用的前沿科學(xué)技術(shù),。微機(jī)電系統(tǒng)、微光電系統(tǒng),、生物微機(jī)電系統(tǒng)等是微納米技術(shù)的重要應(yīng)用領(lǐng)域,。微納結(jié)構(gòu)器件是系統(tǒng)重要的組成部分，其制造的質(zhì)量,、效率和成本直接影響著行業(yè)的發(fā)展,。在微納結(jié)構(gòu)器件制造中，聚合物材料具有成本低,、機(jī)械性能優(yōu),、加工效率高，生物兼容性好等明顯優(yōu)勢,，以熱塑性聚合物為基材開發(fā)微納結(jié)構(gòu)器件是微納米技術(shù)的研究熱點和重要發(fā)展方向之一,。聚合物微納制造技術(shù)，集現(xiàn)代超精密加工,、MEMS技術(shù),、NAMS技術(shù)、微納測量技術(shù),、智能控制技術(shù)等杰出技術(shù)之大成,，賦予人類在微納米尺度對聚合物制件進(jìn)行設(shè)計，并批量制備特征尺寸在數(shù)十納米到數(shù)十微米的微納幾何結(jié)構(gòu)及其陣列的能力,。聚合物微納米制造技術(shù),，不僅是對傳統(tǒng)塑料加工方法的挑戰(zhàn)，也是對傳統(tǒng)機(jī)械加工方法和測控技術(shù)極限的挑戰(zhàn),，屬聚合物加工領(lǐng)域的技術(shù)前沿,，值得廣大從事聚合物加工的科研人員共同付出努力。在過去的幾年中,，全球各地的研究機(jī)構(gòu)和大學(xué)已開始集中研究微觀和納米尺度現(xiàn)象,、器件和系統(tǒng)。

在微納加工過程中,，薄膜的形成方法主要為物理沉積,、化學(xué)沉積和混合方法沉積。蒸發(fā)沉積（熱蒸發(fā),、電子束蒸發(fā)）和濺射沉積是典型的物理方法,，主要用于沉積金屬單質(zhì)薄膜、合金薄膜,、化合物等,。熱蒸發(fā)是在高真空下，利用電阻加熱至材料的熔化溫度,，使其蒸發(fā)至基底表面形成薄膜,，而電子束蒸發(fā)為使用電子束加熱；磁控濺射在高真空,，在電場的作用下,，Ar氣被電離為Ar離子高能量轟擊靶材，使靶材發(fā)生濺射并沉積于基底,；磁控濺射方法沉積的薄膜純度高,、致密性好，熱蒸發(fā)主要用于沉積低熔點金屬薄膜或者厚膜,；化學(xué)氣相沉積（CVD）是典型的化學(xué)方法而等離子體增強化學(xué)氣相沉積（PECVD）是物理與化學(xué)相結(jié)合的混合方法,，CVD和PECVD主要用于生長氮化硅、氧化硅等介質(zhì)膜,。微納加工按技術(shù)分類,，主要分為平面工藝、探針工藝,、模型工藝,。江蘇刻蝕微納加工多少錢

微納加工平臺主要提供微納加工技術(shù)工藝,。中山MEMS微納加工平臺

聚合物微納系統(tǒng)是較具應(yīng)用前景的微納機(jī)電系統(tǒng)之一，按照微納制品的空間結(jié)構(gòu)形式可以分為一維,、二維和三維微納制造,。一維微納制造：微流控芯片、導(dǎo)光板,、納米薄膜,、微納過濾材料、微納復(fù)合材料及器件等,；二維微納制造：納米纖維,、納米中空纖維等；三維微納制造：微泵,、微換熱器,、微型減速器、微型按插件等,。聚合物是許多微納米系統(tǒng)的基礎(chǔ)材料,，聚合物微納系統(tǒng)是較有希望在近期實現(xiàn)實際應(yīng)用的系統(tǒng)之一，聚合物微納尺度制造科學(xué)與技術(shù)在微納制造技術(shù)中占有極其重要的地位,。聚合物微加工工藝除了LIGA加工,、準(zhǔn)LIGA加工、小機(jī)械加工,、超聲波加工,、等離子體加工、激光加工,、離子束加工,、電子束加工和快速成形等工藝外，還包括微注塑成型,、微擠出成型以及微壓印成型等,。中山MEMS微納加工平臺