微納制造包括微制造和納制造兩個方面,。(1)微制造有兩種不同的微制造工藝方式，一種是基于半導(dǎo)體制造工藝的光刻技術(shù),、LIGA技術(shù),、鍵合技術(shù),、封裝技術(shù)等,，這些工藝技術(shù)方法較為成熟,，但普遍存在加工材料單一、加工設(shè)備昂貴等問題,，且只能加工結(jié)構(gòu)簡單的二維或準(zhǔn)三維微機(jī)械零件,，無法進(jìn)行復(fù)雜的三維微機(jī)械零件的加工；另一種是機(jī)械微加工,，是指采用機(jī)械加工、特種加工及其他成形技術(shù)等傳統(tǒng)加工技術(shù)形成的微加工技術(shù),，可進(jìn)行三維復(fù)雜曲面零件的加工,，加工材料不受限制,，包括微細(xì)磨削,、微細(xì)車削,、微細(xì)銑削、微細(xì)鉆削,、微沖壓,、微成形等。(2)納制造納制造是指具有特定功能的納米尺度的結(jié)構(gòu),、器件和系統(tǒng)的制造技術(shù),，包括納米壓印技術(shù),、刻劃技術(shù),、原子操縱技術(shù)等。新一代微納制造系統(tǒng)應(yīng)滿足的要求：具有微納特性的組件的小型化連續(xù)生產(chǎn),。河北功率器件微納加工公司

仿生學(xué)是近年來發(fā)展起來的一門工程技術(shù)與生物科學(xué)相結(jié)合的交叉學(xué)科,。仿生學(xué)研究生物體的結(jié)構(gòu)、功能和工作原理,，并將這些原理移植于工程技術(shù)之中，試圖在技術(shù)上模仿植物和動物在自然中的功能,，發(fā)明性能優(yōu)越的儀器,、裝置和機(jī)器，創(chuàng)造新技術(shù),。就聚合物仿生功能材料而言,，在聚合物材料表面加工出不同形式的微納結(jié)構(gòu)就會賦予材料不同的性能。超疏水表面是指水滴在表面的接觸角大于150°,，同時滾動角小于10°的一種特殊表面。在過去的20年里,，超疏水表面誘人的潛在應(yīng)用價值已經(jīng)引起了科學(xué)家們極大的興趣,。自然界中，荷葉表面是超疏水的典型象征,，其表面的接觸角高達(dá)160°。展示了荷葉的超疏水效果及其表面微觀結(jié)構(gòu),。荷葉表面的這種超疏水特性是由微米乳突和低表面能的蠟狀晶體共同引起的,。通過在聚合物材料表面構(gòu)建類荷葉狀的周期性微納米結(jié)構(gòu)可以獲得具有優(yōu)異超疏水性能的聚合物制品，可用于汽車后視鏡等有防水防霧需求的場合,。湖南光電器件微納加工平臺在微納加工過程中,，蒸發(fā)沉積和濺射沉積是典型的物理方法,，主要用于沉積金屬單質(zhì)薄膜、合金薄膜,、化合物等,。

微納制造技術(shù)的發(fā)展，同樣涉及到科研體系問題,。嚴(yán)格意義上來說，科研分為三個領(lǐng)域，一個是基礎(chǔ)研究領(lǐng)域,，一個是工程化應(yīng)用領(lǐng)域,，一個是市場推廣領(lǐng)域。在發(fā)達(dá)國家的科研機(jī)制中,。幾乎所有的基礎(chǔ)研究領(lǐng)域都是由國家或機(jī)構(gòu)直接或間接支持的,。這種基礎(chǔ)研究較看重的是對于國家,、民生或**的長遠(yuǎn)意義．而不是短期內(nèi)的投入與產(chǎn)出。因而致力于基礎(chǔ)研究的機(jī)構(gòu)或者人員,。根本不用考慮研究的所謂“市場化”問題,。而只是進(jìn)行基礎(chǔ)、理論的研究,。另一方面,。工程化應(yīng)用領(lǐng)域由專門的機(jī)構(gòu)或職能部門負(fù)責(zé),，這些部門從應(yīng)用領(lǐng)域、生產(chǎn)領(lǐng)域,、制造領(lǐng)域抽調(diào)**,、學(xué)者及相關(guān)專業(yè)人員，對基礎(chǔ)研究的市場應(yīng)用前景進(jìn)行分析,，并提出可行性建議,，末尾由市場或企業(yè)來進(jìn)行工程化應(yīng)用研究,。末尾市場化推廣的問題自然是企業(yè)來做了,。中國的高校和研究機(jī)構(gòu),，做純理念和純基礎(chǔ)的并不多，中國大多是工程性項目研究,。其理想模式為高校,、研究所,、企業(yè)三結(jié)合狀態(tài),，各司其職,，各負(fù)其責(zé)。微納技術(shù)是繼JT,、生物之后,。21世紀(jì)較具發(fā)展?jié)摿Φ母咝录夹g(shù),，是未來十年高增長的新興產(chǎn)業(yè)。

微流控芯片是在普通毛細(xì)管電泳的基本原理和技術(shù)的基礎(chǔ)上,，利用微加工技術(shù)在硅、石英,、玻璃或高分子聚合物基質(zhì)材料上加工出各種微細(xì)結(jié)構(gòu),，如管道、反應(yīng)池,、電極之類的功能單元,，完成生物和化學(xué)等領(lǐng)域中所涉及的樣品制備,、生化反應(yīng)、處理（混合,、過濾,、稀釋）、分離檢測等一系列任務(wù),，具有快速,、高效,、低耗,、分析過程自動化和應(yīng)用范圍廣等特點的微型分析實驗裝置,。目前已成為微全分析系統(tǒng)（micrototalanalysissystems,μ-TAS）和芯片實驗室（labonachip）的發(fā)展重點和前沿領(lǐng)域。為常見的聚合物微流控芯片形式,。近年來,，由于生化分析的復(fù)雜性和多樣性需求，微流控芯片技術(shù)的發(fā)展愈發(fā)趨于組合化和集成化,，在一塊芯片基片上集成多種功能單元成為一種常見形式,，普遍應(yīng)用于醫(yī)學(xué)診斷、醫(yī)學(xué)分析,、藥物篩選,、環(huán)境監(jiān)測和燃料電池技術(shù)等諸多領(lǐng)域?；诟咄靠焖俜蛛x的需要，多通道陣列并行操作是微流控芯片的發(fā)展的趨勢，芯片微通道數(shù)量已從較初的12通道,、96通道,，發(fā)展到現(xiàn)在的384通道。微納加工包括光刻,、磁控濺射,、電子束蒸鍍,、濕法腐蝕,、干法腐蝕,、表面形貌測量等。

無論是大批量還是小規(guī)模生產(chǎn)定制產(chǎn)品,，都需要開發(fā)新一代的模塊化,、知識密集的、可升級的和可快速配置的生產(chǎn)系統(tǒng),。而這將用到那些新近涌現(xiàn)出來的微納技術(shù)研究成果以及新的工業(yè)生產(chǎn)理論體系。給出了微納制造系統(tǒng)與平臺的發(fā)展前景,。未來幾年微納制造系統(tǒng)和平臺的發(fā)展前景包括以下幾個方面：（1）微納制造系統(tǒng)的設(shè)計,、建模和仿真；（2）智能的,、可升級的和適應(yīng)性強(qiáng)的微納制造系統(tǒng)（工藝,、設(shè)備和工具集成）,；（3）新型靈活的、模塊化的和網(wǎng)絡(luò)化的系統(tǒng)結(jié)構(gòu),，以構(gòu)筑基于制造的知識,。提高微納加工技術(shù)的加工能力和效率是未來微納結(jié)構(gòu)及器件研究的重點方向。山西MEMS微納加工技術(shù)

高精度的微細(xì)結(jié)構(gòu)通過控制聚焦電子束（光束）移動書寫圖案進(jìn)行曝光,。河北功率器件微納加工公司

在過去的幾年中,，全球各地的研究機(jī)構(gòu)和大學(xué)已開始集中研究微觀和納米尺度現(xiàn)象,、器件和系統(tǒng)。雖然這一領(lǐng)域的研究產(chǎn)生了微納制造方面的先進(jìn)知識,，但比較顯然,，這些知識的產(chǎn)業(yè)應(yīng)用將是增強(qiáng)這些技術(shù)未來增長的關(guān)鍵,。雖然在這些領(lǐng)域的大規(guī)模生產(chǎn)方面已經(jīng)取得了進(jìn)步,，但微納制造技術(shù)的主要生產(chǎn)環(huán)境仍然是停留在實驗室中，在企業(yè)的大規(guī)模生產(chǎn)環(huán)境中難得一見,。這就導(dǎo)致企業(yè)在是否采用這些技術(shù)方面猶豫不決,，擔(dān)心它們可能引入未知因素，影響制造鏈的性能與質(zhì)量,。就這一點而言,，投資于基礎(chǔ)設(shè)施的發(fā)展，如更高的模塊化,、靈活性和可擴(kuò)展性可能會有助于生產(chǎn)成本的減少，對于新生產(chǎn)平臺成功推廣至關(guān)重要,。這將有助于吸引產(chǎn)業(yè)界的積極參與,，與率先的研究實驗室一起推動微納產(chǎn)品的不斷升級換代。河北功率器件微納加工公司