真空磁控濺射鍍膜技術(shù)所鍍玻璃多用于建筑玻璃和汽車玻璃這兩大用處,。一般來(lái)說(shuō)這些介質(zhì)膜多是氧化鋅,、二氧化錫,、二氧化鈦,、二氧化硅之類的可鍍于玻璃上。真空磁控濺射鍍膜技術(shù)在車窗玻璃上的用處,。用真空磁控濺射鍍膜設(shè)備可在車窗玻璃鍍涂二氧化鈦,,這個(gè)鍍層可以賦予車窗自清潔效果,有一定的防霧,、防露水的效用,。磁控濺射工藝的主要優(yōu)點(diǎn)是可以使用反應(yīng)性或非反應(yīng)性鍍膜工藝來(lái)沉積這些材料的膜層,并且可以很好地控制膜層成分,、膜厚,、膜厚均勻性和膜層機(jī)械性能等。磁控直流濺射法要求靶材能夠?qū)碾x子轟擊過(guò)程中得到的正電荷傳遞給與其緊密接觸的陰極,。深圳共濺射磁控濺射過(guò)程
磁控濺射的基本原理是利用Ar一O2混合氣體中的等離子體在電場(chǎng)和交變磁場(chǎng)的作用下,,被加速的高能粒子轟擊靶材表面,能量交換后,,靶材表面的原子脫離原晶格而逸出,,轉(zhuǎn)移到基體表面而成膜。磁控濺射的特點(diǎn)是成膜速率高,,基片溫度低,,膜的粘附性好,可實(shí)現(xiàn)大面積鍍膜,。該技術(shù)可以分為直流磁控濺射法和射頻磁控濺射法,。磁控濺射設(shè)備一般根據(jù)所采用的電源的不同又可分為直流濺射和射頻濺射兩種。直流磁控濺射的特點(diǎn)是在陽(yáng)極基片和陰極靶之間加一個(gè)直流電壓,,陽(yáng)離子在電場(chǎng)的作用下轟擊靶材,,它的濺射速率一般都比較大。但是直流濺射一般只能用于金屬靶材,,因?yàn)槿绻墙^緣體靶材,,則由于陽(yáng)粒子在靶表面積累,造成所謂的“靶中毒”,,濺射率越來(lái)越低,。黑龍江高溫磁控濺射設(shè)備磁控濺射鍍膜的適用范圍:高級(jí)產(chǎn)品零/部件表面的裝飾鍍中的應(yīng)用。
磁控濺射鍍膜注意事項(xiàng):1,、輻射:有些鍍膜要用到射頻電源,如功率大,需做好屏蔽處理.另外,歐洲標(biāo)準(zhǔn)在單室鍍膜機(jī)門框四周嵌裝金屬線屏蔽輻射;2,、金屬污染:鍍膜材料有些(如鉻、銦,、鋁)是對(duì)人體有害的,特別要注意真空室清理過(guò)程中出現(xiàn)的粉塵污染;3,、噪音污染:如特別是一些大的鍍膜設(shè)備,機(jī)械真空泵噪音很大,可以把泵隔離在墻外;4、光污染:離子鍍膜過(guò)程中,氣體電離發(fā)出強(qiáng)光,不宜透過(guò)觀察窗久看.磁控濺射鍍膜的產(chǎn)品特點(diǎn),。磁控濺射鍍膜的適用范圍:1,、建材及民用工業(yè)中;2,、在鋁合金制品裝飾中的應(yīng)用,;3、高級(jí)產(chǎn)品零/部件表面的裝飾鍍中的應(yīng)用,;4,、在不銹鋼刀片涂層技術(shù)中的應(yīng)用,;5、在玻璃深加工產(chǎn)業(yè)中的應(yīng)用,。
磁控濺射就是在外加電場(chǎng)的兩極之間引入一個(gè)磁場(chǎng),。這個(gè)磁場(chǎng)使得電子受到洛倫茲力的束縛作用,其運(yùn)動(dòng)路線受到控制,,因此大幅度增加了電子與Ar分子(原子)碰撞的幾率,,提高了氣體分子的電離程度,從而使濺射效率得到很大的提升,。濺射現(xiàn)象自發(fā)現(xiàn)以來(lái)己被普遍應(yīng)用在多種薄膜的制備中,,如制備金屬、半導(dǎo)體,、合金,、氧化物以及化合物半導(dǎo)體等。磁控濺射包括很多種類,。各有不同工作原理和應(yīng)用對(duì)象,。但有一共同點(diǎn):利用磁場(chǎng)與電場(chǎng)交互作用,使電子在靶表面附近成螺旋狀運(yùn)行,,從而增大電子撞擊氬氣產(chǎn)生離子的概率,。所產(chǎn)生的離子在電場(chǎng)作用下撞向靶面從而濺射出靶材。磁控濺射在技術(shù)上可以分為直流(DC)磁控濺射,、中頻(MF)磁控濺射,、射頻(RF)磁控濺射。磁控濺射的優(yōu)點(diǎn):基板有低溫性,。相對(duì)于二級(jí)濺射和熱蒸發(fā)來(lái)說(shuō),,磁控濺射加熱少。
磁控濺射的基本原理就是以磁場(chǎng)改變電子運(yùn)動(dòng)方向,,束縛和延長(zhǎng)運(yùn)動(dòng)路徑,,提高電子的電離概率和有效地利用了電子的能量。因此在形成高密度等離子體的異常輝光放電中,,正離子對(duì)靶材轟擊所引起的靶材濺射更加有效,,同時(shí)受正交電磁場(chǎng)的束縛的電子只能在其能量將要耗盡時(shí)才能沉積在基片上,這就是磁控濺射具有低溫高速兩大特點(diǎn)的機(jī)理,。磁控濺射的特點(diǎn)是成膜速率高,,基片溫度低,膜的粘附性好,,可實(shí)現(xiàn)大面積鍍膜,。該技術(shù)可以分為直流磁控濺射法和射頻磁控濺射法。磁控濺射的優(yōu)點(diǎn):操作易控,。深圳共濺射磁控濺射過(guò)程
磁控濺射是入射粒子和靶的碰撞過(guò)程,。深圳共濺射磁控濺射過(guò)程
電子元器件行業(yè)位于產(chǎn)業(yè)鏈的中游,,介于電子整機(jī)行業(yè)和電子原材料行業(yè)之間,其發(fā)展的快慢,,所達(dá)到的技術(shù)水平和生產(chǎn)規(guī)模,,不僅直接影響著整個(gè)電子信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,而且對(duì)發(fā)展信息技術(shù),,改造傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè),,提高現(xiàn)代化裝備水平,,促進(jìn)科技進(jìn)步都具有重要意義,。在市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力、市場(chǎng)影響力,、企業(yè)管理能力以及企業(yè)經(jīng)營(yíng)規(guī)模實(shí)力等方面,,繼續(xù)做大做強(qiáng),不斷強(qiáng)化公司在國(guó)內(nèi)面向半導(dǎo)體光電子器件,、功率電子器件,、MEMS、生物芯片等前沿領(lǐng)域,,致力于打造***的公益性,、開放性、支撐性樞紐中心,。平臺(tái)擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備,,建立了一條實(shí)驗(yàn)室研發(fā)線和一條中試線,加工尺寸覆蓋2-6英寸(部分8英寸),,同時(shí)形成了一支與硬件有機(jī)結(jié)合的專業(yè)人才隊(duì)伍,。平臺(tái)當(dāng)前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務(wù),面向國(guó)內(nèi)外高校,、科研院所以及企業(yè)提供開放共享,,為技術(shù)咨詢、創(chuàng)新研發(fā),、技術(shù)驗(yàn)證以及產(chǎn)品中試提供支持,。授權(quán)分銷行業(yè)的優(yōu)先地位。因?yàn)樾袠I(yè)產(chǎn)值的天花板仍很高,,在這個(gè)領(lǐng)域內(nèi)繼續(xù)整合的空間還很大,。而LED芯片領(lǐng)域,隨著產(chǎn)業(yè)從顯示端向照明端演進(jìn),,相應(yīng)的電子元器件廠商也需要優(yōu)化服務(wù)型,,才能為自身業(yè)務(wù)經(jīng)營(yíng)帶來(lái)確定性。因此,,從需求層面來(lái)看,,電子元器件市場(chǎng)的發(fā)展前景極為可觀,。目前國(guó)內(nèi)外面臨較為復(fù)雜的經(jīng)濟(jì)環(huán)境,傳統(tǒng)電子制造企業(yè)提升自身技術(shù)能力是破局轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵。通過(guò)推動(dòng)和支持傳統(tǒng)電子企業(yè)制造升級(jí)和自主創(chuàng)新,可以增強(qiáng)企業(yè)在產(chǎn)業(yè)鏈中的重點(diǎn)競(jìng)爭(zhēng)能力,。同時(shí)我國(guó)層面通過(guò)財(cái)稅政策的持續(xù)推進(jìn),從實(shí)質(zhì)上給予微納加工技術(shù)服務(wù),,真空鍍膜技術(shù)服務(wù),紫外光刻技術(shù)服務(wù),,材料刻蝕技術(shù)服務(wù)創(chuàng)新型企業(yè)以支持,亦將對(duì)產(chǎn)業(yè)進(jìn)步產(chǎn)生更深遠(yuǎn)的影響,。深圳共濺射磁控濺射過(guò)程