磁控濺射技術是一門起源較早,，但至今仍能夠發(fā)揮很大作用的技術,。它的優(yōu)越性不只體現(xiàn)在鍍膜方面,，更滲透到各個行業(yè)領域,。時至如今，我國的濺射技術水平較之以前有了很大的突破,。隨著時代進步和現(xiàn)代工業(yè)化生產(chǎn)需求，社會對磁控濺射工藝的要求也越來越高，這就需要廣大科研人員不斷深入探究,，對這項技術進行進一步研究和改良，增強其精度和功能,，滿足日益增長的現(xiàn)代工業(yè)需求,，更好的為社會發(fā)展和科學進步貢獻力量。廣東省科學院半導體研究所,。磁控濺射鍍膜的適用范圍：建材及民用工業(yè)中,。廣東高溫磁控濺射鍍膜

為了解決陰極濺射的缺陷，人們在20世紀70年代的時候開發(fā)出了直流磁控濺射技術,，它有效地克服了陰極濺射速率低和電子使基片溫度升高的弱點,，因而獲得了迅速發(fā)展和普遍應用。其原理是：在磁控濺射中,，由于運動電子在磁場中受到洛侖茲力,，它們的運動軌跡會發(fā)生彎曲甚至產(chǎn)生螺旋運動，其運動路徑變長,，因而增加了與工作氣體分子碰撞的次數(shù),，使等離子體密度增大，從而磁控濺射速率得到很大的提高,，而且可以在較低的濺射電壓和氣壓下工作,，降低薄膜污染的傾向；另一方面也提高了入射到襯底表面的原子的能量,，因而可以在很大程度上改善薄膜的質(zhì)量,。同時，經(jīng)過多次碰撞而喪失能量的電子到達陽極時,，已變成低能電子,，從而不會使基片過熱。因此磁控濺射法具有“高速”,、“低溫”的優(yōu)點,。該方法的缺點是不能制備絕緣體膜，而且磁控電極中采用的不均勻磁場會使靶材產(chǎn)生明顯的不均勻刻蝕,，導致靶材利用率低,，一般只為20%-30%。江西脈沖磁控濺射流程真空磁控濺射鍍膜特別適用于反應沉積鍍膜,。

磁控濺射應用：（1）磁控濺射技術在光學薄膜(如增透膜),、低輻射玻璃和透明導電玻璃等方面也得到應用。在透明導電玻璃在玻璃基片或柔性襯底上,濺射制備SiO2薄膜和摻雜ZnO或InSn氧化物(ITO)薄膜,，使可見光范圍內(nèi)平均光透過率在90%以上,。（2）在現(xiàn)代機械加工工業(yè)中,利用磁控濺射技術制作表面功能膜,、超硬膜,自潤滑薄膜,能有效的提高表面硬度、復合韌性,、耐磨損性和抗高溫化學穩(wěn)定性能,從而大幅度地提高涂層產(chǎn)品的使用壽命,。磁控濺射除上述已被大量應用的領域,還在高溫超導薄膜、鐵電體薄膜,、巨磁阻薄膜,、薄膜發(fā)光材料、太陽能電池,、記憶合金薄膜研究方面發(fā)揮重要作用,。

相較于蒸發(fā)鍍膜，真空磁控濺射鍍膜的膜更均勻,，那么真空蒸發(fā)鍍膜所鍍出來的膜厚度在中心位置一般會薄一點,。因此，由于我們無法控制真空蒸發(fā)鍍膜的膜層的厚度,，而真空磁控濺射鍍膜的過程中可通過控制時間長短來控制鍍層厚度,，所以蒸鍍真空鍍膜不適應企業(yè)大規(guī)模的生產(chǎn)。反之,，濺射鍍膜在這方面就比較有優(yōu)勢了,。那么相對于蒸發(fā)鍍膜來說，真空磁控濺射鍍膜除了膜厚均勻與可控靈活的優(yōu)勢之外,，還有這些特點：磁控濺射鍍的膜層的純度高,，因此致密性好；膜層物料靈活,，薄膜可以由大多數(shù)材料構成,，包括常見的合金、化合物之類的,；濺射鍍膜的沉積速率較低,，整體設備相對復雜一些；真空濺射薄膜與作用基底之間的粘合,、附著力很好,。磁控濺射是物理中氣相沉積的一種。

磁控濺射生成的薄膜厚度的均勻性是成膜性質(zhì)的一項重要指標,，因此有必要研究影響磁控濺射均勻性的因素,，以更好的實現(xiàn)磁控濺射均勻鍍膜。簡單的說磁控濺射就是在正交的電磁場中,，閉合的磁場束縛電子圍繞靶面做螺線運動,，在運動過程中不斷撞擊工作氣體氬氣電離出大量的氬離子,，氬離子在電場作用下加速轟擊靶材,，濺射出呈中性的靶原子（或分子）沉積在基片上成膜,。所以要實現(xiàn)均勻的鍍膜，就需要均勻的濺射出靶原子（或分子）,，這就要求轟擊靶材的氬離子是均勻的且是均勻的轟擊的,。由于氬離子在電場作用下加速轟擊靶材，所以均勻轟擊很大程度上依賴電場的均勻,。磁控直流濺射法要求靶材能夠?qū)碾x子轟擊過程中得到的正電荷傳遞給與其緊密接觸的陰極,。廣東高溫磁控濺射鍍膜

真空磁控濺射鍍膜技術所鍍玻璃多用于建筑玻璃和汽車玻璃這兩大用處。廣東高溫磁控濺射鍍膜

磁控濺射屬于輝光放電范疇,，利用陰極濺射原理進行鍍膜,。膜層粒子來源于輝光放電中，氬離子對陰極靶材產(chǎn)生的陰極濺射作用,。氬離子將靶材原子濺射下來后,，沉積到元件表面形成所需膜層。磁控原理就是采用正交電磁場的特殊分布控制電場中的電子運動軌跡,，使得電子在正交電磁場中變成了擺線運動,，因而大幅度增加了與氣體分子碰撞的幾率。磁控濺射目前是一種應用十分普遍的薄膜沉積技術,濺射技術上的不斷發(fā)展和對新功能薄膜的探索研究,使磁控濺射應用延伸到許多生產(chǎn)和科研領域,。廣東高溫磁控濺射鍍膜