ICP（感應(yīng)耦合等離子）刻蝕GaN是物料濺射和化學(xué)反應(yīng)相結(jié)合的復(fù)雜過程,?？涛gGaN主要使用到氯氣和三氯化硼,，刻蝕過程中材料表面表面的Ga-N鍵在離子轟擊下破裂,，此為物理濺射,，產(chǎn)生活性的Ga和N原子,，氮原子相互結(jié)合容易析出氮氣,，Ga原子和Cl離子生成容易揮發(fā)的GaCl2或者GaCl3,。光刻（Photolithography)是一種圖形轉(zhuǎn)移的方法，在微納加工當(dāng)中不可或缺的技術(shù),。光刻是一個比較大的概念,，其實它是有多步工序所組成的。1.清洗：清洗襯底表面的有機物,。2.旋涂：將光刻膠旋涂在襯底表面,。3.曝光。將光刻版與襯底對準,，在紫外光下曝光一定的時間,。4.顯影：將曝光后的襯底在顯影液下顯影一定的時間，受過紫外線曝光的地方會溶解在顯影液當(dāng)中,。5.后烘,。將顯影后的襯底放置熱板上后烘，以增強光刻膠與襯底之前的粘附力,。未來幾年微納制造系統(tǒng)和平臺的發(fā)展前景包括的方面：智能的,、可升級的和適應(yīng)性強的微納制造系統(tǒng)。宜春半導(dǎo)體微納加工

在光刻圖案化工藝中,，首先將光刻膠涂在硅片上形成一層薄膜,。接著在復(fù)雜的曝光裝置中，光線通過一個具有特定圖案的掩模投射到光刻膠上,。曝光區(qū)域的光刻膠發(fā)生化學(xué)變化,，在隨后的化學(xué)顯影過程中被去除。較后掩模的圖案就被轉(zhuǎn)移到了光刻膠膜上,。而在隨后的蝕刻 或離子注入工藝中,，會對沒有光刻膠保護的硅片部分進行刻蝕，較后洗去剩余光刻膠,。這時光刻膠的圖案就被轉(zhuǎn)移到下層的薄膜上,，這種薄膜圖案化的過程經(jīng)過多次迭代,，聯(lián)同其他多個物理過程，便產(chǎn)生集成電路,。宜春半導(dǎo)體微納加工微納加工設(shè)備主要有：光刻,、刻蝕、鍍膜,、濕法腐蝕,、絕緣層鍍膜等。

平臺目前已配備各類微納加工和表征測試設(shè)備50余臺套,，擁有一條相對完整的微納加工工藝線,，可制成2-6英寸樣品，涵蓋了圖形發(fā)生,、薄膜制備,、材料刻蝕、表征測試等常見的工藝段,，可以進行常見微納米結(jié)構(gòu)和器件的加工,，極限線寬達到600納米，材料種類包括硅基,、化合物半導(dǎo)體等多種類型材料,，可以有力支撐多學(xué)科領(lǐng)域的半導(dǎo)體器件加工以及微納米結(jié)構(gòu)的表征測試需求。微納加工平臺支持基礎(chǔ)信息器件與系統(tǒng)等多領(lǐng)域,、交叉學(xué)科,，開展前沿信息科學(xué)研究和技術(shù)開發(fā)。作為開放共享服務(wù)平臺,，支撐的研究領(lǐng)域包括新型器件,、柔性電子器件、微流體,、發(fā)光芯片,、化合物半導(dǎo)體、微機電器件與系統(tǒng)（MEMS）等,。以高效,、創(chuàng)新、穩(wěn)定,、合作共贏的合作理念,，歡迎社會各界前來合作。

隨著微電子,、微機械,、微光學(xué)、介入醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域的發(fā)展，微型零件的需求量不斷增加,。微注射成形作為一種微成型工藝,，具有制品材料、幾何形狀和尺寸適應(yīng)性好,、成本低,、效率高，以及可連續(xù)化,、自動化生產(chǎn)等一系列優(yōu)點,，因此越來越受到人們的重視，成為當(dāng)前研究的熱門課題,。1985年，世界上第1臺專門用于加工微型塑件的注射裝置Micromelt在德國問世,，其它國家緊隨其后,，先后開發(fā)出了各種不同類型的微注塑成型機，這為發(fā)展微注塑成型技術(shù)以及實際生產(chǎn)微小塑件都提供了強有力的支持和較有效的保證,，微注塑成型技術(shù)進入了發(fā)展的黃金時期,。高精度的微細結(jié)構(gòu)具有比較高的曝光精度，但這兩種方法制作效率極低,。

微納制造可以應(yīng)用在什么哪些領(lǐng)域,？微納制造作為國家新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重大關(guān)鍵技術(shù)之一，對國家裝備實力和國民經(jīng)濟技術(shù)的發(fā)展起到重要作用,。微納制造技術(shù)的進步,，推動著三大前沿科技的發(fā)展：生物技術(shù)、信息技術(shù),、納米技術(shù),。由于微納制造技術(shù)產(chǎn)品有體積小、集成度高,、重量輕,、智能化程度高等諸多優(yōu)點，在信息科學(xué),、生物醫(yī)療,、航空航天等領(lǐng)域廣的應(yīng)用。微納加工技術(shù)是先進制造的重要組成部分,，是衡量國家高質(zhì)量的制造業(yè)水平的標(biāo)志之一,，具有多學(xué)科交叉性和制造要素極端性的特點，在推動科技進步,、促進產(chǎn)業(yè)發(fā)展,、拉動科技進步、保障**安全等方面都發(fā)揮著關(guān)鍵作用。微納加工技術(shù)的基本手段包括微納加工方法與材料科學(xué)方法兩種,。很顯然,，微納加工技術(shù)與微電子工藝技術(shù)有密切關(guān)系。微納加工平臺支持基礎(chǔ)信息器件與系統(tǒng)等多領(lǐng)域,、交叉學(xué)科,，開展前沿信息科學(xué)研究和技術(shù)開發(fā)。宜春半導(dǎo)體微納加工

提高微納加工技術(shù)的加工能力和效率是未來微納結(jié)構(gòu)及器件研究的重點方向,。宜春半導(dǎo)體微納加工

微納制造技術(shù)的發(fā)展,，同樣涉及到科研體系問題。嚴格意義上來說,，科研分為三個領(lǐng)域,，一個是基礎(chǔ)研究領(lǐng)域，一個是工程化應(yīng)用領(lǐng)域,，一個是市場推廣領(lǐng)域,。在發(fā)達國家的科研機制中。幾乎所有的基礎(chǔ)研究領(lǐng)域都是由國家或機構(gòu)直接或間接支持的,。這種基礎(chǔ)研究較看重的是對于國家,、民生或**的長遠意義．而不是短期內(nèi)的投入與產(chǎn)出。因而致力于基礎(chǔ)研究的機構(gòu)或者人員,。根本不用考慮研究的所謂“市場化”問題,。而只是進行基礎(chǔ)、理論的研究,。另一方面,。工程化應(yīng)用領(lǐng)域由專門的機構(gòu)或職能部門負責(zé)，這些部門從應(yīng)用領(lǐng)域,、生產(chǎn)領(lǐng)域,、制造領(lǐng)域抽調(diào)**、學(xué)者及相關(guān)專業(yè)人員,，對基礎(chǔ)研究的市場應(yīng)用前景進行分析,，并提出可行性建議，末尾由市場或企業(yè)來進行工程化應(yīng)用研究,。末尾市場化推廣的問題自然是企業(yè)來做了,。中國的高校和研究機構(gòu)，做純理念和純基礎(chǔ)的并不多,，中國大多是工程性項目研究,。其理想模式為高校、研究所,、企業(yè)三結(jié)合狀態(tài),，各司其職，各負其責(zé)。微納技術(shù)是繼JT,、生物之后,。21世紀較具發(fā)展?jié)摿Φ母咝录夹g(shù)，是未來十年高增長的新興產(chǎn)業(yè),。宜春半導(dǎo)體微納加工