上海泰晟與您分享半導(dǎo)體行業(yè)用FM4910認(rèn)證PVC
泰晟供三菱PVC板與您分享CVD設(shè)備在半導(dǎo)體中的應(yīng)用
化學(xué)氣相沉積(CVD)是利用氣相化合物或含有薄膜元素的簡單物質(zhì)在基體表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)形成薄膜涂層的技術(shù)?;瘜W(xué)氣相沉積(CVD)是制備高性能薄膜的一項重要技術(shù),,它具有均勻性好、薄膜覆蓋率高,、薄膜質(zhì)量好,、涂層純度可控、混合涂層,、基體復(fù)雜,、涂層粉末、大氣壓或真空條件等特點,,而低溫合成化學(xué)氣相沉積(CVD)技術(shù)的材料可以是氣相化合物或單質(zhì),,也可以是幾種氣相化合物或單質(zhì)混合物。常見的材料主要有金屬,、合金,、碳化物、硅化物,、氮化物,、氧化物、硫化物,、硼化物等,。有很多種材料可以使用?;瘜W(xué)氣相沉積技術(shù)可廣闊應(yīng)用于集成電路,、半導(dǎo)離體、金屬精煉,、光伏電池,、高科技陶瓷等制造領(lǐng)域,其中集成電路和半導(dǎo)體是主要的應(yīng)用領(lǐng)域,,化學(xué)氣相沉積可分為大氣壓化學(xué)氣相沉積(APCVD),、亞大氣壓化學(xué)氣相沉積(sacvd)、低壓化學(xué)氣相沉積(LPCVD),、超高真空化學(xué)氣相沉積(uhcvd),、快速熱化學(xué)氣相沉積(RTCVD)、等子體增強化學(xué)氣相沉積(PECVD),、高密度等離子體化學(xué)氣相沉積(HDPCVD),、金屬有機化合物化學(xué)氣相沉積(MOCVD)等,,PECVD是應(yīng)用非常廣的化學(xué)氣相沉積技術(shù),在成膜速度,、臺階覆蓋率,、間隙填充、溫度要求等方面綜合性能突出,,隨著我國集成電路和半導(dǎo)體工業(yè)的迅速發(fā)展,,其市場占比達(dá)到36%左右,規(guī)模在擴(kuò)大,,技術(shù)在進(jìn)步,。薄膜沉積相關(guān)設(shè)備的需求正在迅速增長?;瘜W(xué)氣相沉積是集成電路和半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用非常廣闊的薄膜沉積技術(shù),。因此,我國對CVD設(shè)備的需求正在迅速上升,。在此背景下,,我國CVD裝備制造企業(yè)開始增多,代表性企業(yè)主要有北華創(chuàng),、沈陽拓景、捷佳偉創(chuàng),、無錫松宇等,,我國CVD裝備產(chǎn)業(yè)技術(shù)實力薄弱,市場占比低,,而外資企業(yè)占據(jù)主導(dǎo)地位,。
業(yè)內(nèi)人士分析,隨著物聯(lián)網(wǎng),、人工智能,、工業(yè)自動化的日益普及,我國集成電路,、半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)仍在蓬勃發(fā)展,對化學(xué)氣相沉積技術(shù)的需求將繼續(xù)增長,。CVD設(shè)備產(chǎn)業(yè)發(fā)展前景良好?,F(xiàn)階段,我國CVD設(shè)備市場主要被國外企業(yè)占領(lǐng),。在未來的發(fā)展中,,我國企業(yè)需要不斷提高自己的競爭力,以實現(xiàn)本土化替代,。
上海泰晟所供三菱PVC板除了在CVD設(shè)備上的應(yīng)用外,,其他應(yīng)用場景為:
半導(dǎo)體液晶制造設(shè)備:氣流室、自動化潔凈設(shè)備、晶圓處理設(shè)備,、石英管潔凈設(shè)備,、計量器面板等;無塵室設(shè)備:各種窺視窗材,、門材,、無塵室隔墻、無塵洞,、隔板,、風(fēng)道等;
電鍍設(shè)備:金屬電解槽,、電鍍槽,、滾鍍、酸洗凈槽,、腐蝕液業(yè)槽,、廢液處理槽、槽襯,、排氣處理設(shè)備,、化骨工風(fēng)機,、泵,、中和槽、滌氣機等,;礦業(yè)、化工設(shè)備:反響吸收設(shè)備,、稀土萃取槽、電解槽,、貯藏槽、廢液處理設(shè)備,、機器外罩等,;
腐蝕設(shè)備:無菌灌裝設(shè)備視窗,、腐蝕設(shè)備圍欄,、腐蝕槽等;
工業(yè)容器:腸衣槽,、水槽,、化工用立式/臥式儲罐等,;
PCB設(shè)備:蝕刻機、火山灰磨板機,、脫模烘干機等,;
自動化設(shè)備:硅片清洗機、電子玻璃清洗機,;
印刷行業(yè):廣告絲印,、警示牌及其他標(biāo)志背板等;
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