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RPS遠(yuǎn)程等離子源-用于半導(dǎo)體設(shè)備工藝腔體原子級(jí)別的清潔
RPS遠(yuǎn)程等離子源-用于半導(dǎo)體設(shè)備工藝腔體原子級(jí)別的清潔
薄膜沉積技術(shù)通過在基底上沉積特定材料形成薄膜，以實(shí)現(xiàn)表面功能化與性能優(yōu)化,。
在半導(dǎo)體制造中,，用于沉積絕緣層、導(dǎo)電層及介質(zhì)層,，構(gòu)成集成電路結(jié)構(gòu),；在光伏產(chǎn)業(yè)中，通過制備透明導(dǎo)電層與光吸收層,，優(yōu)化太陽能電池的轉(zhuǎn)化效率與穩(wěn)定性,。
然而，薄膜沉積后的腔室,、石墨舟及石英管等組件容易因殘留膜層導(dǎo)致工藝異常與安全隱患,，直接影響薄膜均勻性、設(shè)備穩(wěn)定性及產(chǎn)品良率,。
RPS遠(yuǎn)程等離子源解決方案
RPS遠(yuǎn)程等離子源是基于電感耦合等離子體技術(shù)的自成一體的原子發(fā)生器,，利用原子的高活性強(qiáng)氧化特性,，達(dá)到清洗CVD或其他腔室后生產(chǎn)工藝的目的。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
1.自研PEO表面處理工藝,，可提升腔體內(nèi)部潔凈度，增加PEO膜層使用壽命,，降低維護(hù)成本
2.晟鼎P L A SMA BLOCK更耐腐蝕,，可提高使用壽命
3.高可靠點(diǎn)火方式,，確保點(diǎn)火能量穩(wěn)定
4.氣體解離率高，效果可媲美進(jìn)口設(shè)備
應(yīng)用案例
1.薄膜設(shè)備腔室清洗
薄膜設(shè)備腔室通常材質(zhì)包括不銹鋼,、鋁合金,、鈦合金等金屬材料,，以及石英等非金屬材料。在薄膜沉積過程中,，腔室內(nèi)壁易附著殘留膜層,，引發(fā)顆粒污染或膜層不均勻,，需通過定期清洗以維護(hù)工藝穩(wěn)定性。
腔體處理效果
RPS通過高活性的自由基和粒子轟擊,，處理腔室內(nèi)壁表面膜層,，且不損傷內(nèi)壁鍍層,，可延長(zhǎng)設(shè)備壽命、降低維護(hù)頻率,，保障穩(wěn)定性,。
*石英腔體處理效果對(duì)比
2.石墨舟膜層處理
石墨舟在LPCVD、擴(kuò)散工藝中作為承載晶圓的工具,，其表面覆蓋的膜層會(huì)隨著工藝次數(shù)的增加逐漸增厚,，導(dǎo)致熱導(dǎo)率降低，影響溫度均勻性,，造成薄膜厚度不均勻,。
處理效果
RPS遠(yuǎn)程等離子可去除膜層，同時(shí)避免高溫氧化腐蝕石墨材料,，確保舟體結(jié)構(gòu)完整,，減少批次間交叉污染，提升承載重復(fù)性,。
*石墨舟處理效果對(duì)比
3.光伏石英管膜層處理
石英管在長(zhǎng)期沉積工藝中會(huì)持續(xù)附著薄膜。隨著膜層增厚,，易引發(fā)以下問題：
①應(yīng)力導(dǎo)致硅裂產(chǎn)生顆粒污染
②引發(fā)石英管端部下垂,，影響膜厚均勻性
處理效果
RPS遠(yuǎn)程等離子源可剝離石英管孔隙內(nèi)的膜層,，恢復(fù)其光學(xué)和熱穩(wěn)定性，保障工藝穩(wěn)定性并提高使用壽命,，降低維護(hù)成本,。
*光伏石英管膜層處理效果對(duì)比
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