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遼寧自主研發(fā)超快激光玻璃晶圓切割設備應用范圍

來源: 發(fā)布時間:2023-08-14

激光劃片在晶圓加工方面具備以下優(yōu)勢:1.激光劃片采用的高光束質(zhì)量的光纖激光器,,對芯片的電性影響較小,,可以提供更高的劃片成品率。2.激光劃片速度為150mm/s,。劃片速度較**.激光可以切割厚度較薄的晶圓,,可以勝任不同厚度的晶圓劃片??梢郧懈钜恍┹^復雜的晶圓芯片,,如六邊形管芯等。4.激光劃片不用去離子水,,可24小時連續(xù)作業(yè)5.激光劃片具有更好的兼容性和通用性,。超通智能在激光晶圓處理上就具備豐富的經(jīng)驗,如刀輪切割設備,,外觀尺寸小型化,,占地面積小,切割行程**功率主軸,,高速高精度電機,,閉環(huán)運動控制,確保生產(chǎn)效率,。無錫超通智能的超快激光玻璃晶圓切割設備是否結(jié)實耐用,?遼寧自主研發(fā)超快激光玻璃晶圓切割設備應用范圍

由于以往我國半導體芯片產(chǎn)業(yè)薄弱,激光加工芯片的研究和應用偏少,,而是首先在下游消費電子產(chǎn)品終端組裝得到了一些應用,。未來我國的精密激光加工主要市場將會從一般電子零部件加工逐漸往上游材料和**元件移動,尤其是半導體材料,、生物醫(yī)療,、高分子聚合物材料等制備。半導體芯片產(chǎn)業(yè)的激光應用工藝將會越來越多被發(fā)明出來,,對于高精密的芯片產(chǎn)品,,非接觸的光加工是**合適的方式,。憑著龐大的需求量,芯片產(chǎn)業(yè)極有可能將會托起下一輪精密激光加工設備的需求熱潮,。遼寧自主研發(fā)超快激光玻璃晶圓切割設備應用范圍無錫超快激光玻璃晶圓切割設備廠家直銷優(yōu)勢,。

晶圓是半導體產(chǎn)品與芯片的基礎材料,晶圓生長后需要經(jīng)過機械拋光,,后期尤為重要的是晶圓切割加工,,也叫晶圓劃片。早期短脈沖DPSS激光器切割晶圓技術已經(jīng)在歐洲,、美國發(fā)展成熟,。隨著超快激光器的快速發(fā)展和功率提升,超快激光切割晶圓未來將會逐漸成為主流,,特別在晶圓切割,、微鉆孔、封測等工序上,,設備需求潛力較大,。目前國內(nèi)已經(jīng)有精密激光設備廠家能夠提供晶圓開槽設備,可應用于28nm制程以下12寸晶圓的表面開槽,,以及激光晶圓隱切設備應用于MEMS傳感器芯片,存儲芯片等**芯片制造領域,。

晶圓精密劃片切割中,,總會遇到各種情況,而**常見的就是工件的崩邊問題,,崩邊包括:正崩,,背崩,掉角及裂痕等,。而有很多種不同因素都會導致崩邊的產(chǎn)生,,比如工件表面情況、粘膜情況,、冷卻水,、刀片等。如何提高切割品質(zhì),,盡可能減少崩邊產(chǎn)生對劃片機來說是至關重要的,,超通智能針對這一行業(yè)狀況,也一直在不斷的摸索各種激光切割工藝,,以提高切割品質(zhì)并為客戶提供質(zhì)量服務為己任,。超通智能通過不斷開拓創(chuàng)新,提高劃片機切割不同材質(zhì)的效率,。晶圓精密劃片切割已有比較完善的解決方案,。無錫超通智能超快激光玻璃晶圓切割設備品質(zhì)保障,。

激光功率是影響劃片深度和劃片寬度的主要因素,在其他參數(shù)固定不變時,,劃片寬度和劃片深度隨著激光功率的增加而增大,,這是因為,紫外激光雖然屬于“冷切割”,,但還是存在一定的熱效應,,熱量會積累在切割處。當激光功率一定時,,晶圓受到照射的時間越長,,獲得的能量就越多,燒蝕現(xiàn)象就越嚴重,。頻率會影響激光脈沖的峰值功率和平均功率,,從而對劃片深度、劃片寬度和劃片質(zhì)量均產(chǎn)生影響,。增大頻率,,脈沖峰值功率會下降,但整體平均功率會上升,,這相當于在劃片過程中提供了更高的能量,,又避免了激光功率持續(xù)輸出產(chǎn)生的熱效應累積,給熱量的耗散預留了空間,。超快激光玻璃晶圓切割設備有什么特點,?無錫超通智能告訴您。江西自動化超快激光玻璃晶圓切割設備解決方案

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激光隱形切割是一種全新的激光切割工藝,,具有切割速度快、切割不產(chǎn)生粉塵,、無切割基材耗損,、所需切割道小、完全干制程等諸多優(yōu)勢,。激光隱形切割**早起源于激光內(nèi)雕,,其原理是將短脈沖激光光束透過材料表面聚焦在材料中間,由于短脈沖激光瞬時能量極高,,在材料中間形成小的變質(zhì)點,。將激光在聚焦在物質(zhì)內(nèi)部應用到切割領域,由日本的光學**企業(yè)濱松光學率先發(fā)明了隱形切割(steal dicing),,多年來濱松一直持有這項技術的多項**,。幾年前德龍激光通過**技術團隊技術攻關,成功研發(fā)出了區(qū)別于濱松光學的隱形切割技術,并申請了自己的**,,并將該技術應用于藍寶石,、玻璃、硅,、SiC等多種材料的切割,。隱切切割主要原理是將短脈沖激光光束透過材料表面聚焦在材料中間,在材料中間形成改質(zhì)層,,然后通過外部施加壓力使芯片分開遼寧自主研發(fā)超快激光玻璃晶圓切割設備應用范圍

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