賽瑞達(dá)智能電子裝備（無錫）有限公司2025-03-09

需要高溫?cái)U(kuò)散爐，該爐要能夠穩(wěn)定地達(dá)到并維持 800 - 1200℃的高溫,，且溫度控制精度高,，一般要求溫度波動(dòng)在 ±1℃以內(nèi),。氣體輸送系統(tǒng)要精確控制 POCl?蒸汽和攜帶氣體的流量，通常采用高精度的質(zhì)量流量控制器,。為了防止 POCl?及其分解產(chǎn)物對(duì)設(shè)備的腐蝕,，擴(kuò)散爐內(nèi)部與氣體接觸的部件,，如爐管、氣體管道等,，需采用耐腐蝕材料,，如石英、特種陶瓷等,。同時(shí),，設(shè)備應(yīng)配備良好的尾氣處理裝置，因?yàn)?POCl?及其分解產(chǎn)生的氯氣等都是有毒有害氣體,，必須經(jīng)過處理達(dá)標(biāo)后才能排放,，以保護(hù)環(huán)境和操作人員安全。?

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