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臥式爐在處理半導(dǎo)體材料時,，如何避免交叉污染？

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賽瑞達智能電子裝備（無錫）有限公司2025-04-19

每次處理不同材料或工藝前,，對爐腔,、石英舟等進行徹底清潔，使用專門清潔劑和無塵擦拭工具去除殘留雜質(zhì),。采用分區(qū)供氣和單獨排氣系統(tǒng),，不同工藝使用的反應(yīng)氣體管道相互單獨，防止氣體交叉混合,。在材料裝載區(qū)域設(shè)置潔凈隔離空間,，避免外界污染物接觸待處理材料，從多個環(huán)節(jié)杜絕交叉污染,。

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賽瑞達智能電子裝備（無錫）有限公司
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簡介：賽瑞達成立于2021年,，專注于半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售,。公司位于無錫,，致力于提供定制化解決方案。
簡介： 賽瑞達成立于2021年,，專注于半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā),、生產(chǎn)與銷售。公司位于無錫,，致力于提供定制化解決方案,。
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賽瑞達智能電子裝備（無錫）有限公司

聯(lián)系人： 盧華俊

手   機： 13401355060

網(wǎng)   址： http://www.sunred.cn/

地   址：
江蘇省無錫市錫山區(qū)無錫市錫山區(qū)精密機械產(chǎn)業(yè)園4號廠房一層南側(cè)廠房及辦公場地(一照多址)
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