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深圳市神州天柱科技有限公司2025-04-05
就等離子清洗機而言，氣體放電是常用的方式,。氣體放電分為多種類型，如自持放電,、火花放電,、輝光放電、高頻放電,、低頻放電,、微波放電、脈沖放電等,。以下就兩種等離子清洗機所采用的氣體放電方式展開介紹：
低頻放電
低頻放電的頻率一般在50～500KHz,，其原理是在電極間利用低頻電場激發(fā)產生等離子體，這種方式在材料表面改性中大量應用,。低頻放電由于交流電場作用,，其放電電壓遠低于直流放電，并且隨著頻率的提高放電電壓和維持電壓降低,，低頻放電的放電模式與頻率相關,，頻率較低時，和直流輝光放電類似,，此時電子和離子移動距離短,，電離度低,；當頻率提高到一定數值，電子和離子在電極間振蕩運動,，移動行程增大,，與氣體分子發(fā)生碰撞的機率增大，電離度提高,。目前市面所售的等離子清洗機有低頻放電方式，頻率為40KHz,，低頻放電符合輝光放電的特性,，與射頻放電相比，電流很小,，不存在阻抗匹配的問題,，結構簡單，多為電容耦合結構,，因此電極的二次污染問題仍然存在,。
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高頻放電 高頻放電又稱射頻放電,，其放電頻率通常在10-100MHz之間,。在放電過程中放電方向隨著電極極性的調換而調換。在電源放電頻率較低的時候放電會不穩(wěn)定,，隨著電源放電頻率的增大,，當頻率增大一定程度后就會開始穩(wěn)定放電。在高頻放電的過程中,，帶電粒子在高頻電場的作用下在兩極板間運動,。因為離子運動的軌跡很長，所以在較長的運動軌跡內分子互相碰撞概率會得到增大,，由此高頻放電的電離度相比于輝光放電會高很多,。目前射頻放電的國際通用標準頻率為13.56MHz。根據耦合方式分類,，大致可以分為兩種,，一種是電容耦合另一種是電感耦合,。電容耦合大多采用內置的平板電極模式，放電時在兩極板上加射頻電源,，在兩極板間氣體激發(fā)產生等離子體,。與之不同的是電感耦合大部分利用外電極放電，其原理是應用電磁感應將感應線圈纏繞在放電腔體外部激發(fā)出二次電場,，從而激發(fā)腔體內的氣體產生等離子體,。這兩種耦合方式各有優(yōu)劣。
