其中輸送裝置借由至少一呈順時針方向轉(zhuǎn)動的滾輪帶動基板由噴灑裝置的下端部朝向風(fēng)刀裝置的***風(fēng)刀的下端部的方向移動,。如上所述的蝕刻方法,,其中風(fēng)刀裝置分別借由一設(shè)置于該輸送裝置的上端部的***風(fēng)刀與一設(shè)置于該輸送裝置的下端部的第二風(fēng)刀朝向基板的上表面與下表面吹送氣體。借此,,本實用新型所產(chǎn)生的技術(shù)效果:本實用新型的擋液板結(jié)構(gòu)與以之制備的蝕刻設(shè)備主要借由具有復(fù)數(shù)個宣泄孔的擋液板結(jié)構(gòu)搭配風(fēng)刀裝置的硬體設(shè)計,,有效使風(fēng)刀裝置吹出的氣體得以經(jīng)由宣泄孔宣泄,并利用水滴的表面張力現(xiàn)象防止水滴由宣泄孔落下造成基板蝕刻不均等異?,F(xiàn)象,,確實達(dá)到保有原始擋液板的擋液效果,以及增加透氣性以破除真空以減少因真空吸板導(dǎo)致的基板刮傷或破片風(fēng)險等主要優(yōu)勢,。附圖說明圖1:傳統(tǒng)擋液板結(jié)構(gòu)的整體設(shè)置示意圖,。圖2:本實用新型擋液板結(jié)構(gòu)其一較佳實施例的整體結(jié)構(gòu)示意圖。圖3:本實用新型擋液板結(jié)構(gòu)其一較佳實施例的宣泄孔排列示意圖,。圖4:本實用新型擋液板結(jié)構(gòu)其二較佳實施例的宣泄孔排列示意圖,。圖5:本實用新型擋液板結(jié)構(gòu)其三較佳實施例的宣泄孔排列示意圖。圖6:本實用新型蝕刻設(shè)備其一較佳實施例的整體結(jié)構(gòu)示意圖,。哪家的蝕刻液價格比較低,?無錫鋁鉬鋁蝕刻液蝕刻液推薦廠家
本發(fā)明涉及蝕刻液組合物及選擇添加于該蝕刻液組合物的硅烷系偶聯(lián)劑的方法。背景技術(shù):參照圖1,可以確認(rèn)3dnand閃存(flashmemory)制造工序中的一部分,。3dnand閃存可以通過在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性去除氮化物膜的工序(wetremovalofnitride)來制造,。在不損傷氧化物膜的同時將氮化物膜完全去除是這樣的氮化物膜去除工序(wetremovalofnitride)的**技術(shù)之一。一般而言,,氮化物膜去除工序中所使用的蝕刻液組合物利用具有防蝕能力的添加劑以獲得在不損傷氧化物膜的同時*將氮化物膜完全去除的效果,。但是,想要在不損傷氧化物膜的范圍內(nèi)將氮化物膜完全去除時,,會使用防蝕能力強(qiáng)的添加劑,,由此可能發(fā)生氮化物膜沒有被完全去除的工序不良(參照圖2)。此外,,想要將氮化物膜完全去除時,會使用防蝕能力弱的添加劑,,由此雖然氮化物膜被完全去除,,但是可能發(fā)生對氧化物膜也造成損傷(damage)的工序不良(參照圖3)。以往,,為了在包含氧化物膜和氮化物膜的多層膜中*將氮化物膜選擇性完全去除而選擇具有適當(dāng)水平的防蝕能力的添加劑時,,按照添加劑的種類和濃度通過實驗進(jìn)行確認(rèn)。沒有這樣的實驗確認(rèn)就選擇添加劑實際上是不可能的,。無錫鋁鉬鋁蝕刻液蝕刻液推薦廠家哪家公司的蝕刻液的有售后,?
也不能在回收結(jié)束后對裝置內(nèi)部進(jìn)行清理的問題。為實現(xiàn)上述目的,,本發(fā)明提供如下技術(shù)方案:一種廢銅蝕刻液的回收處理裝置,,包括裝置主體,所述裝置主體內(nèi)部中間位置固定安裝有分隔板,,所述分隔板左端表面靠近中間位置固定安裝有承載板,,所述承載板上端表面放置有電解池,所述電解池內(nèi)部中間位置設(shè)置有隔膜,,所述裝置主體上端表面靠近右側(cè)安裝有進(jìn)液漏斗,,所述進(jìn)液漏斗上設(shè)置有過濾網(wǎng),所述裝置主體內(nèi)部靠近頂端設(shè)置有進(jìn)液管,,所述進(jìn)液管左端連接有伸縮管,,所述伸縮管下端安裝有噴頭,所述裝置主體上端表面靠近左側(cè)固定安裝有液壓缸,,所述液壓缸下端安裝有伸縮桿,,所述伸縮桿下端固定安裝有圓環(huán)塊,所述圓環(huán)塊與噴頭之間固定連接有連接桿,,所述分隔板右端表面靠近上端固定安裝有增壓泵,,所述增壓泵下端與電解池之間連接有回流管,所述增壓泵上端與進(jìn)液管之間連接有一號排液管,,所述回流管內(nèi)部左端設(shè)置有一號電磁閥,,所述裝置主體左端表面靠近上端固定安裝有抽氣泵,,所述抽氣泵下方設(shè)置有集氣箱,所述集氣箱與抽氣泵之間連接有排氣管,,所述電解池下端連接有二號排液管,,所述二號排液管內(nèi)部上端設(shè)置有二號電磁閥,所述裝置主體內(nèi)部底端靠近左側(cè)設(shè)置有傾斜板,。
以帶動該基板20由該噴灑裝置50下端部朝向該風(fēng)刀裝置40的該***風(fēng)刀41下端部的方向移動,。該風(fēng)刀裝置40設(shè)置于該擋液板結(jié)構(gòu)10的一端部,該風(fēng)刀裝置40包括有一設(shè)置于該基板20上方的***風(fēng)刀41,,以及一設(shè)置于該基板20下方的第二風(fēng)刀42,,其中該***風(fēng)刀41與該第二風(fēng)刀42分別吹出一氣體43至該基板20,以將該基板20上的一藥液51帶往與相反于該基板20的行進(jìn)方向,,以使該基板20上該藥液51減少,,其中該氣體43遠(yuǎn)離該***風(fēng)刀41與該第二風(fēng)刀42的方向分別與該基板20的法線方向夾設(shè)有一第三夾角θ3,且該第三夾角θ3介于20度至35度之間,。此外,,請一并參閱圖8與圖9所示,為本實用新型蝕刻設(shè)備其一較佳實施例的擋液板結(jié)構(gòu)結(jié)合風(fēng)刀裝置示意圖,,以及宣泄孔的表面張力局部放大圖,,其中該宣泄孔121為直通孔的態(tài)樣,當(dāng)該風(fēng)刀裝置40的***風(fēng)刀41與該第二風(fēng)刀42為了減少該基板(本圖式未標(biāo)示)上所殘留的藥液51而吹出該氣體43時,,該氣體43碰到該擋液板結(jié)構(gòu)10后部分會往該復(fù)數(shù)個宣泄孔121流動,,并朝向該第二擋板12的該上表面123宣泄而出(如圖8所示),除了保有原有擋液板的防止該藥液51噴濺而造成的蝕刻不均現(xiàn)象,,亦可達(dá)到以破真空的原理避免該氣體43在該基板20附近形成渦流而造成真空吸引問題,;此外。蝕刻液蝕刻后如何判斷好壞 ,?
很好的對注入量進(jìn)行精確控制,,提高了該裝置的制備純度。附圖說明圖1為本實用新型的整體示意圖,;圖2為本實用新型的a處放大示意圖,;圖3為本實用新型的b處放大示意圖;圖4為本實用新型翻折觀察板沿a-a方向的截面示意圖,。圖中:1,、制備裝置主體,2,、高效攪拌裝置,,3、過濾除雜裝置,4,、翻折觀察板,,401、觀察窗翻折滾輪,,402,、內(nèi)嵌觀察窗,5,、裝置底座,,6、成品罐,,7,、鹽酸裝罐,8,、硝酸裝罐,,9、熱水流入漏斗,,10、加固支架,,11,、防燙隔膜,12,、旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤,,13、運(yùn)轉(zhuǎn)電機(jī)組,,14,、震蕩彈簧件,15,、控制面板,,16、致密防腐桿,,17,、攪動孔,18,、注入量控制容器,,19、注入量觀察刻度線,,20,、限流銷,21、負(fù)壓引流器,,22,、嵌入引流口。具體實施方式下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖,,對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚,、完整地描述,顯然,,所描述的實施例**是本實用新型一部分實施例,,而不是全部的實施例,基于本實用新型中的實施例,,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,,都屬于本實用新型保護(hù)的范圍。請參閱圖1-4,,本實用新型提供一種技術(shù)方案:一種ito蝕刻液制備裝置,,包括制備裝置主體1、高效攪拌裝置2和過濾除雜裝置3,。如何挑選一款適合公司的蝕刻液,?蘇州銅鈦蝕刻液蝕刻液供應(yīng)商
蝕刻液應(yīng)用于什么樣的場合?無錫鋁鉬鋁蝕刻液蝕刻液推薦廠家
故仍舊會有少量的藥液51噴灑在擋液板結(jié)構(gòu)10上而留下該藥液51的水滴,,而該藥液51的水滴亦不能落入該基板20上,,以避免基板20的蝕刻不均的現(xiàn)象產(chǎn)生;此外,,該輸送裝置30用以承載并運(yùn)送至少一該基板20于該濕式蝕刻機(jī)內(nèi)運(yùn)行,,并接受濕式蝕刻的噴灑裝置50的制程運(yùn)作,故該輸送裝置30具有一驅(qū)動機(jī)構(gòu)以驅(qū)動該滾輪31轉(zhuǎn)動,,以帶動該基板20由該噴灑裝置50下端部朝向該風(fēng)刀裝置40的該***風(fēng)刀41下端部的方向移動,。步驟三s3:使用一設(shè)置于該擋液板結(jié)構(gòu)10下方的風(fēng)刀裝置40對該基板20吹出一氣體43,以使該基板20干燥,;在本實用新型其一較佳實施例中,,該風(fēng)刀裝置40設(shè)置于該擋液板結(jié)構(gòu)10的一端部,該風(fēng)刀裝置40包括有一設(shè)置于該基板20上方的***風(fēng)刀41,,以及一設(shè)置于該基板20下方的第二風(fēng)刀42,,其中該***風(fēng)刀41與該第二風(fēng)刀42分別吹出一氣體43至該基板20,以將該基板20上的該藥液51帶往與相反于該基板20的行進(jìn)方向,,以使該基板20降低該藥液51殘留,,其中該氣體43遠(yuǎn)離該***風(fēng)刀41與該第二風(fēng)刀42的方向分別與該基板20的法線方向夾設(shè)有一第三夾角θ3,且該第三夾角θ3介于20度至35度之間,。步驟四s4:該氣體43經(jīng)由該復(fù)數(shù)個宣泄孔121宣泄,;在本實用新型其一較佳實施例中,。無錫鋁鉬鋁蝕刻液蝕刻液推薦廠家
蘇州博洋化學(xué)股份有限公司是一家危險化學(xué)品生產(chǎn)(按《安全生產(chǎn)許可證》所列范圍明細(xì)生產(chǎn));化學(xué)品銷售(涉及危險化學(xué)品的按《危險化學(xué)品經(jīng)營許可》核定許可范圍經(jīng)營),;自營和代理各類商品及技術(shù)的進(jìn)出口業(yè)務(wù)(國家限定企業(yè)經(jīng)營或禁止進(jìn)出口的商品和技術(shù)除外),。用于傳染病防治的消毒產(chǎn)品生產(chǎn)(依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動)的公司,,致力于發(fā)展為創(chuàng)新務(wù)實,、誠實可信的企業(yè)。博洋化學(xué)擁有一支經(jīng)驗豐富,、技術(shù)創(chuàng)新的專業(yè)研發(fā)團(tuán)隊,,以高度的專注和執(zhí)著為客戶提供高純雙氧水,高純異丙醇,,蝕刻液,,剝離液。博洋化學(xué)始終以本分踏實的精神和必勝的信念,,影響并帶動團(tuán)隊取得成功,。博洋化學(xué)創(chuàng)始人王潤杰,始終關(guān)注客戶,,創(chuàng)新科技,,竭誠為客戶提供良好的服務(wù)。