該方法包括:步驟110、將多級腔室順序排列,,按照處于剝離制程的剝離基板的傳送方向逐級向剝離基板提供剝離液,;步驟120,、將來自于當(dāng)前級腔室經(jīng)歷剝離制程的剝離液收集和存儲于當(dāng)前級腔室相應(yīng)的存儲箱中,,所述剝離液中夾雜有薄膜碎屑,;步驟130、使用當(dāng)前級腔室相應(yīng)的過濾器過濾來自當(dāng)前級腔室的剝離液并將過濾后的剝離液傳輸至下一級腔室,;步驟140、若所述過濾器被所述薄膜碎屑阻塞,,則關(guān)閉連接被阻塞的所述過濾器的管道上的閥門開關(guān),;步驟150,、取出被阻塞的所述過濾器。若過濾器包括多個并列排布的子過濾器,,則可以關(guān)閉被阻塞的子過濾器的閥門,,因此,步驟140還可以包括:若所述過濾器包括多個并列排布的子過濾器,,則關(guān)閉連接被阻塞的所述子過濾器的管道上的閥門開關(guān),。在上述實施例中,對各個實施例的描述都各有側(cè)重,,某個實施例中沒有詳述的部分,,可以參見其他實施例的相關(guān)描述。以上對本申請實施例進行了詳細介紹,,本文中應(yīng)用了具體個例對本申請的原理及實施方式進行了闡述,,以上實施例的說明只是用于幫助理解本申請的技術(shù)方案及其思想;本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解:其依然可以對前述各實施例所記載的技術(shù)方案進行修改,,或者對其中部分技術(shù)特征進行等同替換,。剝離液的作用和使用場景。格林達剝離液銷售廠家
閥門開關(guān)60設(shè)置在每一子管道301上,。在一些實施例中,,閥門開關(guān)60設(shè)置在每一子管道401及每一所述第二子管道502上。在一些實施例中,,閥門開關(guān)60設(shè)置在每一第二子管道502上,。具體的,閥門開關(guān)60的設(shè)置位置可以設(shè)置在連接過濾器30的任意管道上,,在此不做贅述,。在一些實施例中,請參閱圖4,,圖4為本申請實施例提供的剝離液機臺100的第四種結(jié)構(gòu)示意圖,。第二管道50包括多個第三子管道503,每一所述第三子管道503與一子過濾器連通301,,且每一所述第三子管道503與所述下一級腔室連通102,。其中,閥門開關(guān)60設(shè)置在每一第三子管道503上,。本申請實施例提供的剝離液機臺,,包括:依次順序排列的多級腔室,、每一級所述腔室對應(yīng)連接一存儲箱,;過濾器,,所述過濾器的一端設(shè)置通過管道與當(dāng)前級腔室對應(yīng)的存儲箱連接,所述過濾器的另一端通過第二管道與下一級腔室連接,;其中,,至少在管道或所述第二管道上設(shè)置有閥門開關(guān)。通過閥門開關(guān)控制連接每一級腔室的過濾器相互獨立,,從而在過濾器被阻塞時通過閥門開關(guān)將被堵塞的過濾器取下并不影響整體的剝離進程,,提高生產(chǎn)效率。本申請實施例還提供一種剝離液機臺的工作方法,,請參閱圖5,,圖5為本申請實施例提供的剝離液機臺的工作方法的流程示意圖。上海市面上哪家剝離液銷售廠博洋剝離液供應(yīng)廠商,專業(yè)分離設(shè)備,智能研發(fā),工程項目,經(jīng)驗豐富,質(zhì)量可靠,歡迎隨時來電咨詢,!
所述的鏈胺為乙醇胺,、二乙醇胺、三乙醇胺,、二甘醇胺,、異丙醇胺、甲基二乙醇胺,、amp-95中的任意一種或多種,。技術(shù)方案中,所述的環(huán)胺為氨乙基哌嗪,、羥乙基哌嗪,、氨乙基嗎啉中的任意一種或多種。技術(shù)方案中,,所述的緩蝕劑為三唑類物質(zhì),。的技術(shù)方案中,所述的緩蝕劑為苯并三氮唑,、甲基苯并三氮唑中的任意一種,。技術(shù)方案中,所述的潤濕劑含有羥基,。技術(shù)方案中,,所述的潤濕劑為聚乙二醇、甘油中的任意一種,。經(jīng)由上述的技術(shù)方案可知,,與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明具有以下有益效果:本發(fā)明中加入環(huán)胺與鏈胺,,能夠滲透,、斷開光刻膠分子間弱結(jié)合力,能夠快速、有效地溶解光刻膠,,而配方中加入潤濕劑,,能夠有效地減少接觸角,增強親水性,,使得剝離液親水性良好,,能快速高效地剝離溶解光刻膠。附圖說明:圖1為配方一和配方二的剝離液滴落在平面時兩者的接觸角對比圖,。圖2為配方一和配方二的剝離液應(yīng)用是光刻膠的殘留量對比圖,。具體實施方式現(xiàn)有技術(shù)中的剝離液其水置換能力較差,容易造成面板邊緣光刻膠殘留,,本申請經(jīng)過大量的試驗,,創(chuàng)造性的發(fā)現(xiàn),在剝離液中加入潤濕劑,,能夠使固體物料(高世代面板)更易被水浸濕的物質(zhì),,通過降低其表面張力或界面張力,使水能展開在固體物料,。
圖2為本申請實施例提供的剝離液機臺的第二種結(jié)構(gòu)示意圖,。圖3為本申請實施例提供的剝離液機臺的第三種結(jié)構(gòu)示意圖。圖4為本申請實施例提供的剝離液機臺的第四種結(jié)構(gòu)示意圖,。圖5為本申請實施例提供的剝離液機臺的工作方法的流程示意圖,。具體實施方式目前剝離液機臺在工作時,如果過濾剝離光阻時產(chǎn)生的薄膜碎屑的過濾器被阻塞,,則需要剝離液機臺內(nèi)的所有工作單元,,待被阻塞的過濾器被清理后,才能重新進行剝離制程,,使得機臺需頻繁停線以更換過濾器,,極大的降低了生產(chǎn)效率。請參閱圖1,,圖1為本申請實施例提供的過濾液機臺100的種結(jié)構(gòu)示意圖,。本申請實施例提供一種剝離液機臺100,包括:依次順序排列的多級腔室10,、每一級所述腔室10對應(yīng)連接一存儲箱20,;過濾器30,所述過濾器30的一端設(shè)置通過管道40與當(dāng)前級腔室101對應(yīng)的存儲箱20連接,,所述過濾器30的另一端通過第二管道50與下一級腔室102連接,;其中,至少在管道40或所述第二管道50上設(shè)置有閥門開關(guān)60,。具體的,,圖1所示出的是閥門開關(guān)60設(shè)置在管道40上的示例圖。當(dāng)當(dāng)前級別腔室101對應(yīng)的過濾器30被薄膜碎屑阻塞后,通過閥門開關(guān)60關(guān)閉當(dāng)前級別腔室101對應(yīng)的存儲箱20與過濾器30之間的液體流通,。剝離液的技術(shù)指標(biāo)哪家比較好,?
本發(fā)明涉及化學(xué)制劑技術(shù)領(lǐng)域:,特別涉及一種用于疊層晶圓的光刻膠剝離液,。背景技術(shù)::隨著半導(dǎo)體制造技術(shù)以及立體封裝技術(shù)的不斷發(fā)展,,電子器件和電子產(chǎn)品對多功能化和微型化的要求越來越高,。在這種小型化趨勢的推動下,,要求芯片的封裝尺寸不斷減小。3d疊層粉妝技術(shù)的封裝體積小,,立體空間大,,引線距離短,信號傳輸快,,所以能夠更好地實現(xiàn)封裝的微型化,。晶圓疊層是3d疊層封裝的一種形式。疊層晶圓在制造的過程中會對**外層的晶圓表面進行顯影蝕刻,,當(dāng)中會用到光刻膠剝離液,。蘇州口碑好的剝離液公司。上海市面上哪家剝離液銷售廠
剝離液的類別一般有哪些,。格林達剝離液銷售廠家
按照組成成分和應(yīng)用工藝不同,,濕電子化學(xué)品可分為通用性和功能性濕電子化學(xué)品。通用濕電子化學(xué)品以超凈高純試劑為主,,一般為單組份,、單功能、被大量使用的液體化學(xué)品,,按照性質(zhì)劃分可分為:酸類,、堿類、有機溶劑類和其他類,。酸類包括氫氟酸,、硝酸、鹽酸,、硫酸,、磷酸等;堿類包括氨水,、氫氧化鈉,、氫氧化鉀等;有機溶劑類包括甲醇,、乙醇,、異丙醇、**、乙酸乙酯等,;其他類包括雙氧水等,。功能濕電子化學(xué)品指通過復(fù)配手段達到特殊功能、滿足制造中特殊工藝需求的復(fù)配類化學(xué)品,,即在單一的超凈高純試劑(或多種超凈高純試劑的配合)基礎(chǔ)上,,加入水、有機溶劑,、螯合劑,、表面活性劑混合而成的化學(xué)品。例如剝離液,、顯影液,、蝕刻液、清洗液等,。由于多數(shù)功能濕電子化學(xué)品是復(fù)配的化學(xué)品,,是混合物,它的理化指標(biāo)很難通過普通儀器定量檢測,,只能通過應(yīng)用手段來評價其有效性,。 格林達剝離液銷售廠家