IC去除剝離液MSDS1.產品屬性產品形式：混合溶液產品名稱：ANS-908產品功能描述：用于COG重工,，使IC與玻璃無損傷分離2.組成成份化學名稱CASNo含量%(v)1-METHYL-2-PYRROLIDINONE872-50-445~90N,N-DIMETHYLACETAMIDE127-19-510~58Other12~45SurfactantThickener3.危險識別可燃性液體和蒸汽警示標識外觀：透明或微黃氣味：類氨對人類和環(huán)境的危害：對眼睛和皮膚有刺激性吸入：會引起呼吸道受刺激，肝臟,、腎受傷害,，對系統(tǒng)有影響攝取：會引起呼吸道和消化道刺激長期接觸：會引起皮膚傷害4.緊急處理吸入：移至空氣新鮮處,，呼吸困難時輸氧,、看醫(yī)生攝取：迅速嘔吐或者看醫(yī)生皮膚接觸：用大量水沖洗15分鐘以上,，更換衣服,、鞋，或者看醫(yī)生眼睛接觸：用大量水沖洗15分鐘以上,，嚴重時看醫(yī)生5.防火措施合適的滅火裝置：水槍,、泡沫滅火器、干粉滅火器,、CO2滅火器特別防護措施：穿戴防護面罩閃點：>110℃自燃溫度：>340℃6.意外泄漏注意事項人員:避免吸入,，避免皮膚、眼睛,、衣物的接觸,，霧狀時戴防護面罩環(huán)境:迅速移除火源，避免吸入和接觸清潔方法:大量泄漏應截流并泵入容器,，用吸附材料吸掉殘余物,；少量泄漏用水沖洗7.存儲和搬運搬運：遠離火源、煙霧,；不要吸入蒸汽,。剝離液的發(fā)展趨勢如何。南通什么剝離液聯系方式

    本實用新型涉及光刻膠生產設備,，具體是一種光刻膠廢剝離液回收裝置,。背景技術：光刻膠是微電子技術中微細圖形加工的關鍵材料之一，其是由溶劑,、感光樹脂,、光引發(fā)劑和添加劑四種成分組成的對光敏感的混合液體,。在紫外光、深紫外光,、電子束、離子束等光照或輻射下,，進行光化學反應,，經曝光、顯影等過程,，將所需要的微細圖形從掩模版轉移至待加工的襯底上,，然后進行蝕刻等工藝加工，終得到所需圖像,。其中,，溶劑使光刻膠具有流動性，易揮發(fā),，對于光刻膠的化學性質幾乎沒有影響,。感光樹脂是惰性的聚合物，用于把光刻膠中的不同材料聚在一起的粘合劑,，給予光刻膠其機械和化學性質,。光引發(fā)劑是光刻膠中的光敏成分，對光能發(fā)生光化學反應,。添加劑是控制光刻膠材料特殊方面的化學物質,，用來控制和改變光刻膠材料的特定化學性質或響應特性。在光刻工藝中,，一般步驟為勻膠—干燥—前烘--曝光—顯影—后烘—蝕刻—剝離,。在光刻膠剝離工序中會產生剝離廢液，光刻膠價格昂貴,，如不對廢液中的光刻膠成分回收利用,，會造成較大的資源浪費，因此企業(yè)通常將剝離廢液中的光刻膠樹脂進行有效回收并應用于再生產中,。哪家蝕刻液剝離液主要作用上海和輝光電用的哪家的剝離液,？

    光刻膠又稱光致抗蝕劑，主要由感光樹脂,、增感劑和溶劑三種成分組成,。感光樹脂經光照后，在曝光區(qū)能很快地發(fā)生光固化反應,，使得這種材料的物理性能,，特別是溶解性、親合性等發(fā)生明顯變化,。經曝光,、顯影,、刻蝕、擴散,、離子注入,、金屬沉積等工藝將所需的微細圖形從掩模版轉移至加工的基板上、***通過去膠剝離液將未曝光部分余下的光刻膠清洗掉,，從而完成整個圖形轉移過程,。在液晶面板和amoled生產中***使用。現有的剝離液主要有兩種,，分別是水性剝離液和有機剝離液,，由于有機剝離液只能用于具有mo/al/mo結構的制程中，無法用于ito/ag/ito,；且乙醇胺的含量高達60％以上,，有很強的腐蝕性，因此,，常用的剝離液是水性剝離液,，現有的水性剝離液主要成分為有機胺化合物、極性有機溶劑以及水,，但現有的水性剝離液大都存在腐蝕金屬配線,、光刻膠殘留、環(huán)境污染大,、影響操作人員的安全性,、剝離效果差等問題。

    避免接觸皮膚,、眼睛和衣服,；存儲：密閉存放在陰涼干燥的地方8.防燥和人員保護極限N-Methyl-2-pyrrolidone80mg/m3(19ml/m3)DFGMAK(peaklimitationcategory-II,2)(Vapour)(skin)10ppmAIHA,TWAN,N-DIMETHYLACETAMIDE-TWA:10ppm,35mg/m3通風：良好的通風措施，保持良好通風人員保護設備：橡膠手套,、防護目鏡,，避免接觸皮膚、眼睛,、衣服,、避免吸入蒸汽壓；9.物理和化學性能物理測試：液體顏色：微黃氣味:類氨熔點:-24~-23℃沸點：165~204℃閃點:110℃蒸汽壓mmHg@20℃蒸汽壓密度(空氣=1):密度(水=1):粘度：10~200cps水中溶解性:任意比例混溶其它溶劑：溶于部分有機溶劑PH值：10.穩(wěn)定性與活性穩(wěn)定性:穩(wěn)定危險反應:有機和無機酸,、強氧化劑,、堿金屬、強酸混溶性:強氧化劑和酸不能混溶,，在高溫氣壓下可與二硫化碳反應避免條件：熱,、火、火源及混溶11.毒性N-Methyl-2-pyrrolidone實際毒性LD50/口服:3600mg/kgLD50/皮膚接觸（兔）:8000mg/kgLC50/吸入（鼠）:>mg/1/4hN,N-DIMETHYLACETAMIDELD50/口服/鼠:>2000mg/kgLD50/皮膚接觸/兔:>,。剝離液的技術指標哪家比較好,？

    常在印刷電路板,，液晶顯示面板，半導體集成電路等工藝制造過程中,，需要通過多次圖形掩膜照射曝光及蝕刻等工序在硅晶圓或玻璃基片上形成多層精密的微電路,，形成微電路之后，進一步用剝離液將涂覆在微電路保護區(qū)域上作為掩膜的光刻膠除去,。比如光電TFT-LCD生產工藝主要包含光阻涂布,、顯影、去光阻,、相關清洗作業(yè)四大階段，其中在去光阻階段會產生部分剝離液,。印制電路板生產工藝相當復雜,。不僅設備和制造工藝的科技含量高，工藝流程長,，用水量大,，而且所用的化學藥品（包括各種添加劑）種類多、用量大,。因此,，在用減成法生產印刷線路板的過程中，產污環(huán)節(jié)多,，種類繁雜,，物料損耗大?？煞譃楦煞庸?設計和布線,、模版制作、鉆孔,、貼膜,、曝光和外形加工等)和濕法加工(內層板黑膜氧化、去孔壁樹脂膩污,、沉銅,、電鍍、顯影,、蝕刻,、脫膜、絲印,、熱風整平等)過程,。其中在脫模（剝膜）工序為了脫除廢舊電路板表面殘留焊錫，需用硝酸為氧化劑,氨基磺酸為穩(wěn)定劑,苯并三氮唑為銅的緩蝕劑進行操作,，整個工序中會產生大量的剝離液,，有機溶劑成分較大,。 剝離液的大概費用大概是多少？惠州剝離液銷售公司

剝離液分為溶劑型和水系兩種類別,；南通什么剝離液聯系方式

    可選擇的,，旋涂光刻膠厚度范圍為1000埃～10000埃,。s3,，執(zhí)行離子注入：可選擇的，離子注入劑量范圍為1×1013cm-2～1×1016cm-2,。s4,，采用氮氫混合氣體執(zhí)行等離子刻蝕，對光刻膠進行干法剝離,；如背景技術中所述,，經過高劑量或大分子量的源種注入后，會在光刻膠的外層形成一層硬殼即為主要光刻膠層,，主要光刻膠層包裹在第二光刻膠層外,。使氮氫混合氣體與光刻膠反應生成含氨揮發(fā)性化合物氣體，反應速率平穩(wěn),，等離子體氮氫混合氣體與主要光刻膠層,、第二光刻膠層的反應速率相等。等離子體氮氫混合氣體先剝離去除主要光刻膠層,，參考圖8所示,。再逐步剝離去除第二光刻膠層，參考圖9和圖10所示,?？蛇x的，等離子刻蝕氣體是氮氫混合氣體,，氫氮混合比例范圍為4:96～30:70,。s5，對襯底表面進行清洗,?？蛇x擇的，對硅片執(zhí)行單片排序清洗,。單片清洗時,，清洗液噴淋到硅片正面，單片清洗工藝結束后殘液被回收,，下一面硅片清洗時再重新噴淋清洗液,，清洗工藝結束后殘液再被回收，如此重復。現有的多片硅片同時放置在一個清洗槽里清洗的批處理清洗工藝,，在清洗過程中同批次不同硅片的反應殘余物可能會污染其他硅片,，或者上一批次硅片留在清洗槽的反應殘余物可能會污染下一批次硅片。相比而言,。南通什么剝離液聯系方式