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來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2024-02-29

    磁轉(zhuǎn)子12放置在待加工部件20的待加工表面上,用于通過(guò)旋轉(zhuǎn)對(duì)待加工部件20的待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨,,對(duì)待加工表面進(jìn)行減薄,。由于減薄過(guò)程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉(zhuǎn),,因此,可以降低拋光減薄過(guò)程中對(duì)待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應(yīng)力,,降低待加工部件20如inp基晶圓的機(jī)械加工損傷,。可選地,,本發(fā)明實(shí)施例中通過(guò)光刻膠鍵合固定待加工部件20和托盤(pán)10,。當(dāng)然,,本發(fā)明并不限于此,在其他實(shí)施例中,,待加工部件20和托盤(pán)10還可以采用其他膠體進(jìn)行鍵合固定,。基于此,,如圖2所示,,本發(fā)明實(shí)施例中的拋光減薄裝置還包括熱板14,該熱板14設(shè)置在托盤(pán)10底部,,用于對(duì)托盤(pán)10進(jìn)行加熱,,以使待加工部件20與托盤(pán)10鍵合固定。具體地,,將待加工部件20背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠21,,如az4620光刻膠,然后在托盤(pán)10表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠21,,如az4620光刻膠,,之后,將托盤(pán)10光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板14上,,將待加工部件20光刻膠面和托盤(pán)10光刻膠面貼合,,在2×10-2mabr真空下,施加1bar壓強(qiáng)于待加工部件20上進(jìn)行鍵合,,鍵合時(shí)間20min,。本發(fā)明實(shí)施例中,采用噴頭11向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110,,來(lái)對(duì)待加工部件20的待加工表面進(jìn)行拋光,。需要說(shuō)明的是。性價(jià)比高的減薄用清洗劑的公司,。嘉興哪家減薄用清洗劑銷售價(jià)格

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    圖2為所述蝕刻區(qū)的結(jié)構(gòu)示意圖,;圖3為所述玻璃加工治具的種結(jié)構(gòu)正視圖;圖4為所述玻璃加工治具的第二種結(jié)構(gòu)正視圖,;圖5為圖3中的局部放大圖,;圖6為所述玻璃加工治具的結(jié)構(gòu)俯視圖;圖7為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)正視圖,;圖8為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖,。圖中數(shù)字表示:1-轉(zhuǎn)換區(qū);2-沖洗區(qū),;3-蝕刻區(qū),;4-玻璃加工治具;31-腔室;32-主厚度測(cè)量?jī)x,;33-噴淋組件,;41-底座;42-支撐架,;43-底支撐件,;44-側(cè)支撐件;421-豎直平板,;422-側(cè)板,;423-固定板;424-水平槽,;425-豎直槽,;426-固定槽;427-固定卡塊,;428-定位槽,;429-定位孔;431-支撐條,;432-第二支撐條,;433-連接部;434-接觸部,;435-磁性件,;436-第二磁性件;437-限位孔,;438-限位塊,;439-第二限位塊。具體實(shí)施方式以下結(jié)合附圖,,對(duì)本發(fā)明上述的和另外的技術(shù)特征和優(yōu)點(diǎn)作更詳細(xì)的說(shuō)明,。實(shí)施例一如圖1所示,圖1為所述玻璃減薄設(shè)備的結(jié)構(gòu)視圖,;本發(fā)明中所述玻璃減薄設(shè)備包括轉(zhuǎn)換區(qū)1,、沖洗區(qū)2和蝕刻區(qū)3,所述沖洗區(qū)2設(shè)置于所述轉(zhuǎn)換區(qū)1和所述蝕刻區(qū)3之間,,豎直容納在玻璃加工治具4中的多個(gè)玻璃通過(guò)所述轉(zhuǎn)換區(qū)1被加載到所述沖洗區(qū)2中,,在所述沖洗區(qū)2中進(jìn)行減薄前清潔并且在所述蝕刻區(qū)3中經(jīng)歷減薄處理。廣州性價(jià)比高的減薄用清洗劑哪里買(mǎi)減薄清洗劑,,專業(yè)解決涂層過(guò)厚難題,,提高產(chǎn)品良率。

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    潔普士?zepoos致力于開(kāi)發(fā)高效,、環(huán)保的清洗劑產(chǎn)品,是幕阜科技公司旗下的清洗劑品牌。是全球的工業(yè)清洗劑產(chǎn)品生產(chǎn)商和服務(wù)商,,公司通過(guò)zepoos?(潔普士)品牌提供了230多種清洗劑產(chǎn)品和清洗工藝解決方案,。從推出工業(yè)清洗劑產(chǎn)品銷售以來(lái),“潔普士”產(chǎn)品在全世界所開(kāi)展的清洗劑產(chǎn)品的研究和生產(chǎn)業(yè)務(wù)中取得了巨大的成功,。為了更進(jìn)一步服務(wù)好廣大的客戶,,“潔普士清洗劑”在中國(guó)江蘇、浙江和上海建立了生產(chǎn)基地和銷售網(wǎng)絡(luò),,以較低的成本向客戶提供的產(chǎn)品和高效率的服務(wù),。“潔普士”清洗產(chǎn)品目前有:環(huán)保電子清洗劑,、松香清洗劑,、噴淋超聲波清洗劑,松香錫膏助焊劑清潔劑,、強(qiáng)油污清洗劑,、錫膏清洗劑、助焊劑清洗劑,、回流焊清洗劑,、波峰焊清洗劑、鋼網(wǎng)清洗劑,、絲網(wǎng)印刷清洗劑,、電子清洗劑、表面活性清洗劑,、爐膛清洗劑,、硅片清洗劑、夾具清洗劑,、貼片元器件清洗劑,、LED清洗劑、精密儀器清洗劑,、水基清洗劑,、半水基清洗劑、溶劑清洗劑,、電子儀器清洗劑,、電氣設(shè)備清洗劑、IC清洗劑,、多功能水基清洗,、電容電阻清洗劑、二極管清洗劑,、大功率封裝器件清洗劑,、植球BGA清洗劑,、誤印鋼網(wǎng)/絲網(wǎng)清洗劑、半導(dǎo)體清洗劑機(jī)械零件清洗劑,、電子元器件清洗劑,、環(huán)保溶劑清洗劑、環(huán)保水基清洗,。

    從而在玻璃側(cè)部提供支撐效果,,通過(guò)所述底支撐件43和所述側(cè)支撐件44實(shí)現(xiàn)玻璃在所述玻璃加工治具4上的支撐穩(wěn)定效果。較佳的,,所述底支撐件43和所述側(cè)支撐件44可均采用ptfe材質(zhì),。較佳的,所述側(cè)支撐件44設(shè)置為叉狀型結(jié)構(gòu),,即所述側(cè)支撐件44包括兩叉腳,,所述玻璃側(cè)邊邊緣設(shè)置于兩所述叉腳間,兩所述叉腳在一端連接,,兩所述叉腳間距離從連接端向非連接端的方向逐漸增大,,兩所述叉腳間的大距離大于玻璃的厚度,限制玻璃兩對(duì)應(yīng)側(cè)部邊緣的兩所述側(cè)支撐件44之間的水平距離大于玻璃兩側(cè)部邊緣之間的水平距離,,即當(dāng)玻璃通過(guò)兩側(cè)的所述側(cè)支撐件44進(jìn)行支撐限制時(shí),,玻璃的兩側(cè)部邊緣在兩所述叉腳間空間內(nèi)均具有一定的調(diào)整間隙,從而在所述玻璃加工治具4在所述腔室31內(nèi)往復(fù)運(yùn)動(dòng),,玻璃的兩側(cè)部邊緣相較于所述側(cè)支撐件44進(jìn)行一定的位置移動(dòng),,從而避免所述側(cè)支撐件44長(zhǎng)期于玻璃的同一位置接觸緊貼。所述側(cè)支撐件44的結(jié)構(gòu)設(shè)置,,使所述玻璃加工治具4在所述腔室31內(nèi)沿直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)的過(guò)程中,,所述側(cè)支撐件44與玻璃之間的接觸點(diǎn)發(fā)生變化,從而避免所述側(cè)支撐件44與玻璃之間的接觸點(diǎn)因所述側(cè)支撐件44的長(zhǎng)期接觸造成接觸點(diǎn)無(wú)法被噴淋液噴淋,,若接觸點(diǎn)無(wú)法被噴淋,,易造成玻璃的減薄缺陷。蘇州哪家公司的減薄用清洗劑的口碑比較好,?

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    7保質(zhì)期24主營(yíng)產(chǎn)品:工業(yè)清洗劑空調(diào)清洗劑水處理藥劑除銹除油劑¥所在地:四川眉山在線詢價(jià)供應(yīng)鋁材防氧劑,、銅保護(hù)劑、銅清洗劑產(chǎn)品名稱銅保護(hù)劑品牌FABLE/福邦系列36是否危險(xiǎn)化學(xué)品否是否進(jìn)口否主營(yíng)產(chǎn)品:工業(yè)潤(rùn)滑油自行車潤(rùn)滑油鐘表加工潤(rùn)滑油防水油食品級(jí)油格林潤(rùn)滑科技(惠州)有限公司所在地:廣東惠州在線詢價(jià)KRB-206環(huán)保鋁,、銅清洗劑鋁制品清洗劑強(qiáng)除油無(wú)腐蝕不變色類別堿性清洗液型號(hào)KRB-206主要用途金屬表面除油脫脂執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)國(guó)標(biāo)企標(biāo)CAS略主營(yíng)產(chǎn)品:切削液除銹劑防銹油防銹劑清洗劑除油粉中性除油除銹劑¥武漢科瑞博科技有限公司所在地:湖北武漢在線詢價(jià)生產(chǎn)廠家提供銅及其合金高效清洗劑1分鐘快速油污清洗劑分類銅清洗劑型號(hào)HWJ-781品牌輝煒佳PH值8-9保質(zhì)期18CAS無(wú)主營(yíng)產(chǎn)品:陶化劑硅烷處理劑脫漆劑鈍化劑¥東莞市輝煒佳金屬科技有限公司所在地:廣東東莞在線詢價(jià)供應(yīng)銷售環(huán)保型銅化學(xué)拋光劑如銅化學(xué)拋光劑,,銅酸洗工藝,銅拋光劑,,銅清洗劑,,銅本色清洗,銅氧化皮清洗分類精密電子儀器清洗劑型號(hào)Q810PH值保質(zhì)期,。減薄用清洗劑的人概費(fèi)用是多少,?臺(tái)州顯示面板用減薄用清洗劑主要作用

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    圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種拋光減薄裝置的結(jié)構(gòu)示意圖,;圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種托盤(pán)和待加工部件的鍵合固定方式示意圖,;圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種磁轉(zhuǎn)子的結(jié)構(gòu)示意圖,;圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供一種磁轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)方式的示意圖;圖5為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種拋光減薄方法的流程示意圖,。具體實(shí)施方式以上是本發(fā)明的思想,,為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂,,下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖,,對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,,顯然,,所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例,?;诒景l(fā)明中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,,都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍,。本發(fā)明實(shí)施例提供了一種拋光減薄裝置,用于對(duì)inp基晶圓等部件進(jìn)行拋光減薄,,如圖1所示,,包括托盤(pán)10、噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12,,當(dāng)然,,本發(fā)明實(shí)施例中的拋光減薄裝置還包括反應(yīng)室13等,托盤(pán)10,、噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12等在反應(yīng)室13內(nèi)進(jìn)行拋光和減薄反應(yīng),。其中,托盤(pán)10,,可選為石英托盤(pán),,用于固定待加工部件20,待加工部件20包括inp基晶圓,。噴頭11用于向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110,,以對(duì)待加工表面進(jìn)行拋光。嘉興哪家減薄用清洗劑銷售價(jià)格